一种HMDS涂胶机的制作方法

本实用新型涉及涂胶技术领域，尤其涉及一种HMDS涂胶机。

背景技术：

HMDS又叫六甲基二硅胺，是无色透明液体，无悬浮物及机械杂质的化学物质，沸点为126度，在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况，将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物，它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。

经检索公开号为CN207021236U的一种HMDS涂布设备，包括壳体，所述壳体内构成涂布腔，所述涂布腔内设置有加热件，还包括用于向涂布腔内输送氮气的第一管道，用于向涂布腔内输送HMDS蒸汽与氮气混合气体的第二管道，用于向涂布腔内输送空气的第三管道，用于从涂布腔向外排气的排气管道和用于对涂布腔抽真空的抽真空管道，所述抽真空管道上设置有真空泵，所述第一管道、第二管道、第三管道、排气管道和抽真空管道分别与涂布腔连通。其保证涂布效果的同时，有效减少HMDS的使用量，避免了废气中HMDS对环境的危害。

但是，其进气速度较慢，导致气体与晶片反应不及时，反应效率低，且不具备温度控制系统，导致温度过高损坏晶片的问题，为此，提出一种HMDS涂胶机。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种HMDS涂胶机。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种HMDS涂胶机，包括第一箱体，所述第一箱体的底部内壁上固定安装有第二箱体，所述第二箱体的顶部固定安装有氮气箱，所述氮气箱的一侧固定安装有第一连接管，所述第一连接管远离氮气箱的一端固定安装有第一气泵，所述第一气泵远离氮气箱的一侧固定安装有第一进气管，且第一进气管与第二箱体相连通，所述第二箱体的顶部固定安装有真空泵，所述真空泵靠近第一气泵的一侧固定安装有第一出气管，所述第一出气管远离真空泵的一端与第二箱体相连通，所述真空泵远离第一出气管的一侧固定安装有第二出气管，且第二出气管远离真空泵的一端延伸至第一箱体外，所述第一箱体的底部内壁上固定安装有第三箱体，所述第三箱体的顶部内壁上固定安装有两个连接杆，两个连接杆的底端固定安装有同一个加热棒，所述第三箱体的顶部固定安装有第二气泵，所述第二气泵远离第二箱体的一侧固定安装有第二连接管，且第二连接管远离第二气泵的一端与第三箱体相连通，所述第二气泵远离第二连接管的一侧固定安装有第二进气管，所述第二进气管远离第二气泵的一端与第二箱体相连通，所述第二箱体的两侧内壁上均固定安装有第一加热板，所述第二箱体的顶部内壁上固定安装有第二加热板，所述第二箱体的底部内壁上固定安装有两个支撑杆，两个支撑杆的顶端放置有晶片。

优选的，所述第一进气管内设有第一单向阀，所述第一出气管内设有第二单向阀，所述第二进气管内设有第三单向阀，防止气体回流。

优选的，所述第一箱体的底部四角位置均固定安装有万向轮，便于第一箱体的移动。

优选的，所述第一箱体的一侧铰接有第一安全门，所述第一安全门上设有观察窗口和门把手，所述第二箱体靠近第一安全门的一侧铰接有第二安全门，所述第二安全门上设有第二门把手，提高了安全性。

优选的，所述第一箱体靠近第一安全门的一侧设有显示屏，所述显示屏位于第一安全门的正上方，便于读取数据。

优选的，所述第一箱体靠近显示屏的一侧设有第一气泵开关、第二气泵开关、真空泵开关、第一加热开关和第二加热开关，使装置控制起来更加便捷。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：首先，该装置通过第一箱体、第二箱体、氮气箱、第一连接管、第一气泵、第一进气管、真空泵、第一出气管、第二出气管、支撑杆、晶片相配合，使用时，首先打开第二加热开关，设定好第一加热板与第二加热板的温度，对第二箱体内进行预热，然后关闭第二加热开关，然后打开真空泵开关，使真空泵工作，抽出第二箱体内的气体，然后关闭真空泵开关，打开第一气泵开关，通入氮气，通入一段时间后，停止第一气泵开关，再次打开真空泵开关，抽出第二箱体内的气体，此时晶片表面的水分有所蒸发；

通过第一箱体、第二箱体、氮气箱、第一连接管、第一气泵、第一进气管、真空泵、第一出气管、第二出气管、第三箱体、连接杆、加热棒、第二连接管、第二气泵、第二进气管、加热板、第二加热板、支撑杆、晶片相配合，打开第一加热开关，使加热棒开始加热，加热棒对HMDS液体进行加热，达到直到达到其沸点度，HMDS开始汽化，然后打开第二气泵开关，使HMDS气体进入第二箱体内，此时打开第二加热开关，直到温度达到度，PLC控制器会关闭第一加热开关与第二加热开关，保持一段时间，使晶片与HMDS充分反映，然后再打开真空泵开关，抽出第二箱体内的气体，再打开第一气泵，充入氮气，即可完成整个操作，由于第一气泵、第二气泵与第一单向阀与第三单向阀和第二单向阀的配合，可以加速气体的流动，加快操作流程，提高反应效率，且温度组件也有效避免了过热现象的发生；

本实用新型实用性强，进气速度快，气体与晶片反应及时，反应效率高，可有效防止过热，对晶片进行有效保护。

附图说明

图1为本实用新型的剖视结构示意图；

图2为本实用新型的外部结构示意图；

图3为本实用新型中温度组件的原理框图图；

图中：1、第一箱体；2、第二箱体；3、氮气箱；4、第一连接管；5、第一气泵；6、第一进气管；7、真空泵；8、第一出气管；9、第二出气管；10、第三箱体；11、连接杆；12、加热棒；13、第二连接管；14、第二气泵；15、第二进气管；16、加热板；17、第二加热板；18、支撑杆；19、晶片。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参照图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种HMDS涂胶机，包括第一箱体1，第一箱体1的底部内壁上固定安装有第二箱体2，第二箱体2的顶部固定安装有氮气箱3，氮气箱3的一侧固定安装有第一连接管4，第一连接管4远离氮气箱3的一端固定安装有第一气泵5，第一气泵5远离氮气箱3的一侧固定安装有第一进气管6，且第一进气管6与第二箱体2相连通，第二箱体2的顶部固定安装有真空泵7，真空泵7靠近第一气泵5的一侧固定安装有第一出气管8，第一出气管8远离真空泵7的一端与第二箱体2相连通，真空泵7远离第一出气管8的一侧固定安装有第二出气管9，且第二出气管9远离真空泵7的一端延伸至第一箱体1外，第一箱体1的底部内壁上固定安装有第三箱体10，第三箱体10的顶部内壁上固定安装有两个连接杆11，两个连接杆11的底端固定安装有同一个加热棒12，第三箱体10的顶部固定安装有第二气泵14，第二气泵14远离第二箱体2的一侧固定安装有第二连接管13，且第二连接管13远离第二气泵14的一端与第三箱体10相连通，第二气泵14远离第二连接管13的一侧固定安装有第二进气管15，第二进气管15远离第二气泵14的一端与第二箱体2相连通，第二箱体2的两侧内壁上均固定安装有第一加热板16，第二箱体2的顶部内壁上固定安装有第二加热板17，第二箱体2的底部内壁上固定安装有两个支撑杆18，两个支撑杆18的顶端放置有晶片19；

第一进气管6内设有第一单向阀，第一出气管8内设有第二单向阀，第二进气管15内设有第三单向阀，防止气体回流，第一箱体1的底部四角位置均固定安装有万向轮，便于第一箱体1的移动，第一箱体1的一侧铰接有第一安全门，第一安全门上设有观察窗口和门把手，第二箱体2靠近第一安全门的一侧铰接有第二安全门，第二安全门上设有第二门把手，提高了安全性，第一箱体1靠近第一安全门的一侧设有显示屏，显示屏位于第一安全门的正上方，便于读取数据，第一箱体1靠近显示屏的一侧设有第一气泵开关、第二气泵开关、真空泵开关、第一加热开关和第二加热开关，使装置控制起来更加便捷，通过第一箱体1、第二箱体2、氮气箱3、第一连接管4、第一气泵5、第一进气管6、真空泵7、第一出气管8、第二出气管9、支撑杆18、晶片19相配合，使用时，首先打开第二加热开关，设定好第一加热板16与第二加热板17的温度，对第二箱体2内进行预热，然后关闭第二加热开关，然后打开真空泵开关，使真空泵7工作，抽出第二箱体2内的气体，然后关闭真空泵开关，打开第一气泵开关，通入氮气，通入一段时间后，停止第一气泵开关，再次打开真空泵开关，抽出第二箱体2内的气体，此时晶片19表面的水分有所蒸发，通过第一箱体1、第二箱体2、氮气箱3、第一连接管4、第一气泵5、第一进气管6、真空泵7、第一出气管8、第二出气管9、第三箱体10、连接杆11、加热棒12、第二连接管13、第二气泵14、第二进气管15、加热板16、第二加热板17、支撑杆18、晶片19相配合，打开第一加热开关，使加热棒12开始加热，加热棒12对HMDS液体进行加热，达到直到达到其沸点126度，HMDS开始汽化，然后打开第二气泵开关，使HMDS气体进入第二箱体2内，此时打开第二加热开关，直到温度达到150度，PLC控制器会关闭第一加热开关与第二加热开关，保持一段时间，使晶片19与HMDS充分反映，然后再打开真空泵开关，抽出第二箱体2内的气体，再打开第一气泵5，充入氮气，即可完成整个操作，由于第一气泵5、第二气泵14与第一单向阀与第三单向阀和第二单向阀的配合，可以加速气体的流动，加快操作流程，提高反应效率，且温度组件也有效避免了过热现象的发生，本实用新型实用性强，进气速度快，气体与晶片19反应及时，反应效率高，可有效防止过热，对晶片19进行有效保护。

工作原理：第一气泵开关、第一气泵5与外部电源通过导线依次电性连接构成闭合回路，第二气泵开关、第二气泵14与外部电源通过导线依次电性连接构成闭合回路，真空泵泵开关、真空泵7与外部电源通过导线依次电性连接构成闭合回路，第二箱体2与第三箱体10内均设有温度探头，第一箱体1内设有温度组件，温度组件包括温度感应模块、PLC模块、温度控制模块、电源模块，其中，温度探头与温度感应模块相连接，温度感应模块、温度控制模块、电源模块、显示屏均与PLC模块相连接，温度控制模块与第一加热开关第二加热开关相连接，第一加热开关与加热棒12相连接，第一加热板16与第二加热板17均与第二加热开关相连接，当温度探头探测到第二箱体2与第三箱体10内的温度给温度感应模块，温度感应模块将数据传递给给PLC模块，PLC模块参考设定值，高出了设定值一般为150度左右，会控制温度控制模块断开第一加热开关与第二加热开关，从而停止继续加热，第二箱体2与第三箱体10内设有保温层，温度会在一段时间内保持一个稳定值，使用时，首先打开第二加热开关，设定好第一加热板16与第二加热板17的温度，对第二箱体2内进行预热，然后关闭第二加热开关，然后打开真空泵开关，使真空泵7工作，抽出第二箱体2内的气体，然后关闭真空泵开关，打开第一气泵开关，通入氮气，通入一段时间后，停止第一气泵开关，再次打开真空泵开关，抽出第二箱体2内的气体，此时晶片19表面的水分有所蒸发，充分受热后，打开第一加热开关，使加热棒12开始加热，加热棒12对HMDS液体进行加热，达到直到达到其沸点126度，HMDS开始汽化，然后打开第二气泵开关，使HMDS气体进入第二箱体2内，此时打开第二加热开关，直到温度达到150度，PLC控制器会关闭第一加热开关与第二加热开关，保持一段时间，使晶片19与HMDS充分反映，然后再打开真空泵开关，抽出第二箱体2内的气体，再打开第一气泵5，充入氮气，即可完成整个操作，由于第一气泵5,与第二气泵14与第一单向阀与第三单向阀和第二单向阀的配合，可以加速气体的流动，加快操作流程，提高反应效率，且温度组件也有效避免了过热现象的发生。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。