一种提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的装置的制作方法

本实用新型涉及金属有机物化学气相淀积生产领域，具体涉及一种提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的装置。

背景技术：

德国金属有机物化学气相淀积设备生产厂商爱思强（aixtron）生产的criusii型金属有机物化学气相淀积（mocvd）系统，该系统的核心工作主要是在反应室内完成，也就是在特定的压力和温度下，在反应室腔体内发生化学反应，形成化合物，再沉积到蓝宝石（al2o3）衬底上，就产生外延的产品-外延片。

反应室是整个criusii型金属有机物化学气相淀积（mocvd）系统的核心，所有外围的准备都是为核心服务，反应室内发生化学反应后会有残留的废弃物产生，主要成分是碳（c），碳通过反应室底部的y形管路进入原装尾气收集器ct500，通过尾气收集器后，80%的碳被原装尾气收集器收集，但还有20%的碳进入后边的主抽泵，由于有碳粉进入主抽泵，大大缩短主抽泵的维护周期，增加主抽泵维护时间和维修成本，降低产量，由于原装尾气收集器ct500随着收集的碳粉越来越多，其内部过滤滤芯必然容易形成堵塞，这样就需要经常拆下原装尾气收集器进行清理，更换其内部过滤滤芯，耽误生产，降低产量，增加人工成本，增加工作量。

目前，德国金属有机物化学气相淀积设备生产厂商爱思强（aixtron）生产的criusii型金属有机物化学气相淀积（mocvd）系统，还都是使用单个尾气收集器即原装尾气收集器，这种办法会降低产量，增加维修和维护成本。

技术实现要素：

本实用新型为了克服以上技术的不足，提供了一种提高金属有机物化学气相淀积系统生产产量、延长设备主抽泵寿命的提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的装置。

本实用新型克服其技术问题所采用的技术方案是：

一种提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的装置，包括：

筒体，其四周密闭，筒体内设置有圆锥形的导流罩，导流罩将筒体隔离形成处于下端的进气腔和处于上端的净化腔；

过滤滤芯，竖直设置于净化腔中，所述过滤滤芯下端的进气口与导流罩上端相连接；

螺旋换热管，自上而下盘绕设置于过滤滤芯和导流罩的外围，螺旋换热管一端通过冷却水入水管连接于冷却水泵的出口端，其另一端通过冷却水出水管连接于冷却水泵的入口端；

尾气进气管，连接于进气腔，所述尾气进气管上安装有球阀ⅰ，尾气进气管的另一端连接于金属有机化学气相沉积设备的出气口；

以及尾气出气管，连接于净化腔，所述尾气出气管上安装有球阀ⅱ，所述尾气出气管的另一端连接于金属有机化学气相沉积设备的尾气收集器的进气口。

还包括旁通管路，所述旁通管路的上端与尾气出气管相连，其下端与尾气进气管相连，所述旁通管路上设置有球阀ⅲ。

还包括连接于净化腔的泄压管，所述泄压管上安装有泄压阀。

还包括设置于筒体底部且与进气腔相连的排灰口，所述排灰口的头端扣装有端盖。

本实用新型的有益效果是：尾气通过导流罩向上流动进入过滤滤芯中进行过滤，导流罩呈圆锥形结构，因此气流上升时由于减速，从而容易使灰尘向下掉落，增加了螺旋换热管，因此冷却水泵将冷却水通过冷却水入水管输入螺旋换热管中将过滤滤芯和导流罩处冷却降温，增加尾气中灰的脱落几率，保证过滤滤芯不容易被堵塞，从而延长维护周期，冷却水吸热后通过冷去睡出水管流回冷却水泵中实现循环。经过过滤滤芯过滤后的气体通过尾气出气管进入原有的金属有机化学气相沉积设备的尾气收集器中实现二次过滤，通过两次过滤可以使98%的碳粉被收集吸收，以至于进入主抽泵的碳粉非常少，保证了主抽泵良好的运行环境，大大延长主抽泵的维护周期，降低维修成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图中，1.筒体2.导流罩3.过滤滤芯4.进气腔5.净化腔6.尾气进气管7.球阀ⅰ8.尾气出气管9.球阀ⅱ10.旁通管路11.球阀ⅲ12.螺旋换热管13.冷却水入水管14.冷却水出水管15.泄压管16.泄压阀17.排灰口18.端盖。

具体实施方式

下面结合附图1对本实用新型做进一步说明。

一种提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的装置，包括：筒体1，其四周密闭，筒体1内设置有圆锥形的导流罩2，导流罩2将筒体1隔离形成处于下端的进气腔4和处于上端的净化腔5；过滤滤芯3，竖直设置于净化腔5中，过滤滤芯3下端的进气口与导流罩2上端相连接；螺旋换热管12，自上而下盘绕设置于过滤滤芯3和导流罩2的外围，螺旋换热管12一端通过冷却水入水管13连接于冷却水泵的出口端，其另一端通过冷却水出水管14连接于冷却水泵的入口端；尾气进气管6，连接于进气腔4，尾气进气管6上安装有球阀ⅰ7，尾气进气管6的另一端连接于金属有机化学气相沉积设备的出气口；以及尾气出气管8，连接于净化腔5，尾气出气管8上安装有球阀ⅱ9，尾气出气管8的另一端连接于金属有机化学气相沉积设备的尾气收集器的进气口。由于金属有机物化学气相沉积设备生成的尾气先通过尾气进气管6进入到筒体1中的进气腔4中，由于设置有有导流罩2，因此尾气通过导流罩向上流动进入过滤滤芯3中进行过滤，导流罩2呈圆锥形结构，因此气流上升时由于减速，从而容易使灰尘向下掉落，增加了螺旋换热管12，因此冷却水泵将冷却水通过冷却水入水管13输入螺旋换热管12中将过滤滤芯3和导流罩2处冷却降温，增加尾气中灰的脱落几率，保证过滤滤芯3不容易被堵塞，从而延长维护周期，冷却水吸热后通过冷去睡出水管14流回冷却水泵中实现循环。经过过滤滤芯3过滤后的气体通过尾气出气管8进入原有的金属有机化学气相沉积设备的尾气收集器中实现二次过滤，通过两次过滤可以使98%的碳粉被收集吸收，以至于进入主抽泵的碳粉非常少，保证了主抽泵良好的运行环境，大大延长主抽泵的维护周期，降低维修成本。

实施例1：

进一步的，还包括旁通管路10，旁通管路10的上端与尾气出气管8相连，其下端与尾气进气管6相连，旁通管路10上设置有球阀ⅲ11。当过滤滤芯3到达使用寿命时，将球阀ⅰ7和球阀ⅱ9关闭，将球阀ⅲ11打开，从而尾气进气管6中输入的尾气可以不经过本装置直接通过尾气出气管8送入原有的金属有机化学气相沉积设备的尾气收集器，在不影响尾气处理的同时可以方便更换过滤滤芯3.

实施例2：

优选的，还包括连接于净化腔5的泄压管15，泄压管15上安装有泄压阀16一旦净化腔5内的气压过高时，泄压阀16开启，通过泄压管15泄压，从而提高了使用的安全性。

实施例3：

进一步的，还包括设置于筒体1底部且与进气腔4相连的排灰口17，排灰口17的头端扣装有端盖18。当滤芯被堵时或者筒体1内的灰已满时，打开端盖18，利用吸尘器插入通过排灰口17内将筒体1内的灰尘吸出。