一种可控匀胶机注胶系统的制作方法

本实用新型涉及匀胶设备领域，具体涉及一种可控匀胶机注胶系统。

背景技术：

通常，在制造半导体器件时，半导体衬底上光刻胶的均匀性是非常关键的质量参数。如果所述光刻胶没有被均匀涂覆，则在后续工艺中会导致分辨率差等问题，从而直接影响光刻效果。

用来均匀涂覆光刻胶的方法包括旋涂(spincoating)法，旋涂法是在圆盘形支撑体上放置晶圆，并在所述晶圆中央滴落光刻胶之后使基板旋转，从而在离心力的作用下使光刻胶平铺晶圆表面。

现有技术中，通常采用两种涂胶方式，静态涂胶和动态涂胶。其中，静态涂胶是指，光刻胶在硅片静止时被滴在硅片中央，静止滴胶后，硅片首先低速旋转，使光刻胶均匀铺开，一旦光刻胶到达硅片边缘，转速被加速到设定的转动速度。另一种方法，动态涂胶是在硅片慢速旋转(例如100-200rpm)时滴胶，这是为了均匀覆盖硅片，然后加速到设定的转速。

目前现有涂胶设备要么结构简陋，自动化程度低，工人劳动强度大；要么结构复杂，成本高昂，不利于推广。并且在涂胶过程中往往产生胶液未涂满衬底、涂胶四周呈现放射状条纹和厚度不均等缺陷，直接影响涂胶质量。以上缺陷从注胶系统方面分析得出：胶液未涂满衬底和厚度不均的原因主要为注胶量不足和注胶量不合适造成；涂胶四周呈现放射状条纹原因主要为胶液喷射速度过高和涂胶中有颗粒。

中国专利(cn205436197u)公开了一种自动硅片匀胶机用涂胶装置，包括包括胶管、点胶机、真空吸盘、调速电机、升降气缸、主轴套管、升降板、导轨和滑块，硅片放置后，通过气道抽真空，从而起到真空吸附作用，调速电机可以使涂胶工位高速旋转硅片，从而使胶液均匀覆盖整个硅片，控制调速电机速度即可控制涂胶厚度和均匀度，升降气缸控制涂胶工位的升降从而完成取片任务。此专利自动化程度较高，但是此专利无法自动控制注胶量，并且未对胶液内的颗粒等杂质做出处理。

因此，本专利设计一种能够自动控制注胶量、注胶速度和过滤胶液内杂质，并且能够检测注胶量是否符合要求的一种可控匀胶机注胶系统。

技术实现要素：

为了克服上述缺陷，本实用新型提供一种可控匀胶机注胶系统，具体采用如下的技术方案：

一种可控匀胶机注胶系统，具有机架和固定在所述机架上的注胶系统，所述注胶系统包括：

驱动部，所述驱动部包括电动推杆和计算机，所述电动推杆与所述计算机连接。

注胶部，所述注胶部与所述驱动部连接，所述注胶部包括注胶筒、活塞、出胶管、过滤器和注胶管，所述活塞设置在所述注胶筒内，所述出胶管设置在所述注胶筒上，所述过滤器分别与所述出胶管和所述注胶管连接。

储胶部，所述储胶部与所述注胶部连接，所述储胶部包括储气囊、储胶箱和连通管，所述储气囊与所述储胶箱连接，所述连通管与所述储胶箱连接。

优选地，所述注胶筒呈筒状，所述注胶筒一端开放，另一端封闭，所述注胶筒由透明耐高压材质构成。

优选地，所述活塞为橡胶材质，所述活塞直径大于所述注胶筒内径；所述活塞一端与所述电动推杆固定连接。

优选地，所述注胶筒外壁上设置有多条等间距刻度线。

优选地，所述过滤器包括外壳和滤芯，所述滤芯设置在所述外壳内，所述外壳包括上部外壳和下部外壳，所述下部外壳设置在所述上部外壳上。

优选地，所述注胶管上设置有第一电磁阀，所述第一电磁阀与所述计算机电连接。

优选地，所述储气囊为橡胶囊，所述储气囊内充有惰性气体，所述储气囊通过胶管连通在所述储胶箱顶部。

优选地，所述储胶箱为密闭箱，所述储胶箱通过所述连通管与所述注胶筒连通。

优选地，所述储胶部还包括第二电磁阀和电子压力计，所述第二电磁阀和所述电子压力计设置在所述连通管上；所述第二电磁阀靠近所述储胶箱设置，所述电子压力计靠近所述注胶筒设置，并且所述第二电磁阀和所述电子压力计均与所述计算机电连接。

本实用新型所获得的有益技术效果：

1)本实用新型的可控匀胶机注胶系统能够自动控制注胶量、注胶速度和过滤胶液内杂质，并且能够实时监测注胶筒内压力，确保注胶过程安全；

2)本实用新型的可控匀胶机注胶系统设置有驱动部和注胶部，驱动部能够准确控制驱动量，进而有效控制注胶部的注胶量和注胶速度；

3)本实用新型的可控匀胶机注胶系统的注胶筒上设置有刻度线，该设计能够使注胶人员实时检测实际注胶量是否与设计注胶量一致，确保注胶量准确性；

4)本实用新型的可控匀胶机注胶系统中设置了过滤器，该过滤器能够过滤胶液中杂质和沉淀，确保旋涂质量。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：

图1为本实用新型可控匀胶机注胶系统结构示意图；

图2为本实用新型可控匀胶机注胶系统的过滤器示意图；

图3为本实用新型可控匀胶机注胶系统的过滤器删除锥形外壳后示意图；

图4为本实用新型可控匀胶机注胶系统的过滤器删除下部外壳后示意图。

其中：1-电动推杆，2-推杆，3-活塞，4-注胶筒，5-刻度线，6-出胶管，7-连通管，8-过滤器，9-注胶管，10-储胶箱，11-第一电磁阀，12-电子压力计，13-储气囊，14-第二电磁阀，15-桶状外壳，16-第一环状外壳，17-锥形外壳，18-第二环状外壳，19-连通片，20-滤芯，21-第一贯穿孔，22-第二贯穿孔。

具体实施方式

以下将参照附图，通过实施例方式详细地描述本实用新型的技术方案。在此需要说明的是，对于这些实施例方式的说明用于帮助理解本实用新型，但并不构成对本实用新型的限定。

本文中术语“和/或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，a和/或b，可以表示：单独存在a，单独存在b，同时存在a和b三种情况，本文中术语“/和”是描述另一种关联对象关系，表示可以存在两种关系，例如，a/和b，可以表示：单独存在a，单独存在a和b两种情况，另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”关系。

根据图1所示，一种可控匀胶机注胶系统，具有机架(图中未示出)和固定在机架上的注胶系统。

该注胶系统包括驱动部、注胶部和储胶部，该驱动部设置在该机架上，该注胶部与该驱动部连接，该储胶部与该注胶部连接。

该驱动部包括电动推杆1和计算机，该电动推杆1与该计算机连接。该电动推杆1包括推杆2，该推杆2与该注胶部连接。该电动推杆1也可由该液压缸替代。

该注胶部包括注胶筒4、活塞3、出胶管6、过滤器8和注胶管9，该活塞3设置在该注胶筒4内，该出胶管6设置在该注胶筒4上，该过滤器8分别与该出胶管6和该注胶管9连接。

该注胶筒4呈圆筒状，该注胶筒4一端开放，另一端封闭，该注胶筒4由透明耐高压材质构成。该注胶筒4材质包括石英玻璃和帕姆级特种聚碳。

该活塞3呈一定厚度饼状，该活塞3为橡胶材质，该活塞3直径大于该注胶筒4内径。该活塞3一端与该推杆2固定连接，该推杆2能够驱动该活塞3在注胶筒4内滑动。当该推杆2向前推时能够将注胶筒4内胶液推向注胶管9，当该推杆2向后拉时能够将储胶部内的胶液吸进注胶筒4。由于注胶筒4内径始终相同，通过计算活塞3向前推移量即可确定注胶量；通过控制活塞3向前推移速度即可控制注胶速度。

该注胶筒4外壁上设置有多条等间距刻度线5，每个刻度线5代表注胶筒4内相应容积。注胶时工作人员能够通过观察活塞3实际向前推移刻度线5数确定此次注胶量与自动设定的注胶量是否一致，进而更加有效控制注胶量和注胶速度。

根据图2～4所示，该出胶管6设置在该注胶筒4封闭端面上，并且与该注胶筒4贯通。该过滤器8包括外壳和滤芯20，该滤芯20设置在该外壳内，该外壳包括上部外壳和下部外壳，该下部外壳设置在该上部外壳上。该上部外壳由桶状外壳15和第一环状外壳16构成，该第一环状外壳16固定设置在该桶状外壳15底部，该桶状外壳15底部中心设置有第一贯穿孔21，该第一贯穿孔21用于连通桶状外壳15和第一环状外壳16。

该下部外壳包括锥形外壳17、第二环状外壳18和连通片19，该第二环状外壳18固定设置在该锥形外壳17顶端，该连通片19设置在该锥形外壳17底侧。该下部外壳通过第一螺钉与该上部外壳紧密连接。

该连通片19呈圆形片状，该连通片19边缘等间距设置有多个第二贯穿孔22。该连通片19通过第二螺钉紧密固定在该滤芯20上。该滤芯20呈管状，该滤芯20结构与机油滤芯20相同。

该过滤器8上端与该出胶管6紧密连接，该过滤器8与该出胶管6的连接方式为螺纹连接、丝扣连接和法兰连接中的一种。

该过滤器8下端与该注胶管9连接，该过滤器8与该注胶管9连接方式为螺纹连接、丝扣连接和法兰连接中的一种。此种连接方式易于更换过滤器8。胶液由出胶管6经第一贯穿孔21进入滤芯20，胶液在滤芯20内由内向外过滤后经第二贯穿孔22流出，即完成胶液的过滤过程。

该注胶管9上设置有第一电磁阀11，该第一电磁阀11与该计算机电连接。当该活塞3向前推移时第一电磁阀11处于开启状态，当该活塞3向后移动时该电磁阀处于关闭状态。

该储胶部包括储气囊13、储胶箱10、连通管7、第二电磁阀14和电子压力计12，该储气囊13与该储胶箱10连接，该连通管7与该储胶箱10连接，该第二电磁阀14和该电子压力计12设置在该连通管7上。

该储气囊13为橡胶囊，该储气囊13内充有足量的惰性气体，该储气囊13容积大于该储胶箱10容积。该储气囊13通过胶管连接在该储胶箱10顶部，并且与该储胶箱10贯通。当注胶筒4向储胶箱10内吸取胶液时，储气囊13能够向储胶箱10内注入惰性气体，以保持注胶箱与注胶筒4压力平衡，便于胶液流向注胶筒4。又由于惰性气体与胶液不发生化学反应，能够有效长期保持胶液性能。

该储胶箱10为密闭箱，该储胶箱10通过该连通管7与该注胶筒4连通。该第二电磁阀14靠近该储胶箱10设置，该电子压力计12靠近该注胶筒4设置。该第二电磁阀14和该电子压力计12均与该计算机电连接。

当活塞3向前推移时该第二电磁阀14关闭；当活塞3向后移动时该电磁阀开启，胶液将由储胶箱10吸入该注胶筒4内。该电子压力计12实时监测该注胶筒4内压力并传输入计算机，当监测到压力异常升高时即发出压力异常警报，提示工作人员及时更换过滤器8或检查其他压力异常原因，提高该注胶系统注胶质量和注胶过程安全性。

如上所述，可较好地实现本实用新型，对于本领域的技术人员而言，在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下对这些实施例进行变化、修改、替换、整合和变型仍落入本实用新型的保护范围内。本实用新型中未进行特殊说明或限定的部分，均采用现有技术。