一种三甲基铟回收设备的制作方法

本实用新型涉及三甲基铟回收储存技术，尤其是一种三甲基铟回收设备。

背景技术：

mo源也就是高纯金属有机化合物，是现代化合物半导体产业的支撑源材料，是半导体照明(led)产业链的源头材料。从全球市场来看，mo源主要的应用领域是移动设备的背光源、液晶显示器背光源、液晶大屏幕背光源、半导体激光器及航天高效太阳能电池等高端军品技术领域、信号灯、汽车照明和半导体照明等光电子技术领域。高纯三甲基铟广泛应用于生长铟镓磷、铟镓砷氮、铟镓砷等化合物半导体薄膜材料，是金属有机化学气相沉积技术(mocvd)、化学束外延(cbe)过程中生长光电子材料的最重要、也是目前用量最大的原料，是led外延片生产中的关键mo源材料。纯净的三甲基铟在室温下为无色透明具有特殊臭味的升华性无色结晶，通常封装在钢瓶内，在使用时通过控制钢瓶的温度使其蒸气压到达一定值，再通过持续流动的载气将气相中的三甲基铟带入光电子材料生长系统。

公告号为cn205034817u的中国专利文件公开了一种“三甲基铟接收装置”，包括解配釜、真空缓冲罐和手套箱，手套箱中设有粗品接收罐和冷阱，粗品接收罐设置在冷阱中，粗品接收罐通过料管连接解配釜并通过抽气管连接真空缓冲罐，料管的靠近粗品接收罐的一端设有接收阀，料管的靠近解配釜的一端设有出料阀，抽气管与粗品接收罐之间设有抽气阀，并且料管和抽气管中均设有加热丝，该文件公开的方案通过在料管和抽气管中设置加热丝，并使用真空缓冲罐抽吸粗品接收罐中的尾气，避免三甲基铟接收装置的料管堵塞，但是，由于真空缓冲罐与粗品接收罐直接相连，部分气态三甲基铟会随载气进入真空缓冲罐，不能回收尾气中的三甲基铟，且三甲基铟及其分解物为有毒物质，处理不当容易造成环境污染及安全事故。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种三甲基铟回收设备，可对尾气中的气态三甲基铟进行回收。

为了解决上述问题，本实用新型提供一种三甲基铟回收设备，包括回收钢瓶，所述回收钢瓶上设有尾气进气口和尾气出气口，所述回收钢瓶包括下球部、圆柱状的直立部和上球部，所述尾气进气口和所述尾气出气口设置在所述上球部上；所述回收钢瓶内还设有内支撑网板，所述支撑网板位于所述直立部和所述下球部的交接处，所述支撑网板的上侧还固定有呈锥台状的竖向隔板，所述竖向隔板的下部开口直径大于所述竖向隔板的上部开口直径，所述竖向隔板的上部通过管道与所述尾气进气口连通；所述直立部内还设有多个位于所述直立部的内壁与所述竖向隔板的外壁之间的水平导热隔板，所述水平导热隔板分别与所述直立部的内壁、所述竖向隔板的外壁固定相连，所述水平导热隔板上还设有连通所述水平导热隔板上、下两侧的通气孔，所述下球部内的空间通过所述支撑网板、所述通气孔与所述上球部的所述尾气出口连通。

本实用新型提供的三甲基铟回收设备还具有以下技术特征：

进一步地，还包括冷却箱，所述回收钢瓶固定在所述冷却箱内且所述尾气进气口、所述尾气出气口位于所述冷却箱外，所述冷却箱上还设有进液口和出液口。

进一步地，所述冷却箱内还设有位于所述下球部下侧的支撑架，所述支撑架包括支撑腿和具有球形凹槽的支撑块。

进一步地，所述竖向隔板的上端与所述直立部的上端平齐。

进一步地，所述竖向隔板的下部开口的直径等于所述直立部的直径的四分之三。

进一步地，所述竖向隔板的上部开口的直径等于所述直立部的直径的四分之一。

本实用新型具有如下有益效果：该回收钢瓶内通过设置支撑网板和竖向隔板，可有效增大含有气态三甲基铟的尾气在回收钢瓶内的流动路程，可使得尾气在回收钢瓶内充分冷却将尾气中的气态三甲基铟冷凝为固态晶体颗粒；设置在直立部的内壁与竖向隔板的外壁之间的多个水平导热隔板可实现直立部与竖向隔板之间的热量传导，当该回收钢瓶置于冷凝水或液氮中冷却时，通过水平导热隔板的传导可有效降低竖向隔板的温度，使得尾气中的气态三甲基铟冷凝更充分，实现尾气中的三甲基铟的回收储存。

附图说明

图1为本实用新型实施例的三甲基铟回收设备的结构示意图。

具体实施方式

下文中将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

如图1所示的本实用新型的三甲基铟回收设备的一个实施例中，包括回收钢瓶10，回收钢瓶10上设有尾气进气口101和尾气出气口102，回收钢瓶10包括下球部11、圆柱状的直立部12和上球部13，尾气进气口101和尾气出气口102设置在上球部13上；回收钢瓶10内还设有内支撑网板30，支撑网板30位于直立部12和下球部13的交接处，支撑网板30的上侧还固定有呈锥台状的竖向隔板20，竖向隔板20的下部开口直径大于竖向隔板20的上部开口直径，竖向隔板20的上部通过管道与尾气进气口101连通；直立部12内还设有多个位于直立部12的内壁与竖向隔板20的外壁之间的水平导热隔板40，水平导热隔板40分别与直立部12的内壁、竖向隔板20的外壁固定相连，水平导热隔板40上还设有连通水平导热隔板40上、下两侧的通气孔41，下球部11内的空间通过支撑网板30、通气孔41与上球部13的尾气出口102连通。本申请通过在回收钢瓶内设置支撑网板和竖向隔板，可有效增大含有气态三甲基铟的尾气在回收钢瓶内的流动路程，可使得尾气在回收钢瓶内充分冷却将尾气中的气态三甲基铟冷凝为固态晶体颗粒；设置在直立部的内壁与竖向隔板的外壁之间的多个水平导热隔板可实现直立部与竖向隔板之间的热量传导，当该回收钢瓶置于冷凝水或液氮中冷却时，通过水平导热隔板的传导可有效降低竖向隔板的温度，使得尾气中的气态三甲基铟冷凝更充分，实现尾气中的三甲基铟的回收储存。具体而言，含有气态三甲基铟的尾气通过尾气进气口首先进入竖向隔板的内腔，在竖向隔板的内腔中自上向下运动过程中通流面积增大使得尾气膨胀放热，竖向隔板可对尾气进行冷却，尾气再通过竖向隔板下侧的支撑网板进入下球部冷却，然后通过支撑网板进入直立部与竖向隔板之间的空腔内再次冷却，水平导热隔板可增大导热面积使得尾气冷却更充分以利于气态三甲基铟冷凝为固态晶体颗粒。

在本申请的一个实施例中，优选地，还包括冷却箱50，回收钢瓶10固定在冷却箱50内且尾气进气口101、尾气出气口102位于冷却箱50外，冷却箱50上还设有进液口51和出液口52，优选地，进液口51位于冷却箱的上部，出液口52位于冷却箱的下部。优选地，冷却箱50内还设有位于下球部11下侧的支撑架，所述支撑架包括支撑腿61和具有球形凹槽的支撑块62，由此使得回收钢瓶可靠地固定在冷却箱内，且回收钢瓶能充分地与冷却箱内的冷却液或液氮接触。

在本申请的一个实施例中，优选地，竖向隔板20的上端与所述直立部的上端平齐，使得钢瓶内的空间划分更佳合理。优选地，竖向隔板20的下部开口的直径等于直立部12的直径的四分之三，竖向隔板20的上部开口的直径等于直立部12的直径的四分之一，由此使得尾气在回收钢瓶内流动顺畅且与钢瓶具有较大的散热接触面积，使得尾气可以在回收钢瓶内充分冷却。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。