一种超薄的高效过滤器的制作方法

本实用新型属于高效过滤器领域，尤其涉及一种超薄的高效过滤器。

背景技术：

高效过滤器是ffu(fanfilterunits)净化空气的核心器件，可高效去除末端颗粒，去除颗粒粒径达到0.1um，效率≥99.99995％，将空气中的颗粒物吸附在过滤器中，已达到净化空气的效果，目前广泛用于半导体、液晶制造业、电子、生物制药等行业。

但是现有的如图1所示的高效过滤器受限于传统工艺，体积较大，导致ffu的整体体积偏大，随着半导体等产业的生产设备精密化发展，大体积的ffu已然无法满足设备器件的要求。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供超薄的高效过滤器，通过以下技术方案来实现：包括：过滤网、框架和防护网，所述过滤网安装在框架内，所述防护网固定于框架的下面，框架的上下两端为水平结构，框架内部有一个水平的平台，过滤网安装在该平台上，平台与下端之间构成中空腔体，中空腔体的侧面设置有螺栓孔。

优选的，所述过滤网由ptfe、聚酯纤维组成，所述过滤网底部涂覆有粘合剂。

优选的，所述框架采用铝型材框架，框架外部设置有垫片。

优选的，垫片设置在中空腔体的外部。

优选的，中空腔体内部还设置有平行于平台的凸起。

优选的，所述防护网采用喷涂ptfe的不锈钢材料。

本实用新型的有益效果：框架两端采用水平结构，同样可以承重高效过滤网，将用于连接框架与其他设备的螺栓孔调整至框架侧面，将框架的高度降低，体积缩小的同时，重量也减轻了，并保持了原有的颗粒去除性能。

附图说明

图1是现有技术的结构示意图；

图2为本专利申请的结构示意图；

图3为本专利申请内部的结构示意图；

1、过滤网；2、框架；3、防护网；4、粘合剂；5、垫片；6、螺栓孔。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

图1所示，传统的框架在两端会有卡槽结构，用于加固粘合剂，承重过滤网，这一设计通常应用于大型设备。

如图2、图3所示，提供一种超薄的高效过滤器，包括：过滤网、框架和防护网，所述过滤网安装在框架内，所述防护网固定于框架的下面，框架的上下两端为水平结构，框架内部有一个水平的平台，过滤网安装在该平台上，平台与下端之间构成中空腔体，中空腔体的侧面设置有螺栓孔。

优选的，所述过滤网由ptfe、聚酯纤维组成，主要用来吸收空气中的颗粒，所述过滤网底部涂覆有粘合剂。

优选的，所述防护网采用喷涂ptfe的不锈钢材料，主要起到保护高效颗粒过滤网的作用。

优选的，所述框架采用铝型材框架，框架外部设置有垫片。

优选的，垫片设置在中空腔体的外部。

优选的，中空腔体内部还设置有平行于平台的凸起。

框架两端采用水平结构，同样可以承重高效过滤网，将用于连接框架与其他设备的螺栓孔调整至框架侧面，将框架的高度降低，体积缩小的同时，重量也减轻了，并保持了原有的颗粒去除性能。

需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明而非限制本实用新型的技术方案，尽管参照上述实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解：依然可以对本实用新型进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型的精神和范围，而所附权利要求意在涵盖落入本实用新型精神和范围中的这些修改或者等同替换。

技术特征：

1.一种超薄的高效过滤器，包括：过滤网、框架和防护网，所述过滤网安装在框架内，所述防护网固定于框架的下端，其特征在于：框架的上下两端为水平结构，框架内部有一个水平的平台，过滤网安装在该平台上，平台与下端之间构成中空腔体，中空腔体的侧面设置有螺栓孔。

2.根据权利要求1所述的一种超薄的高效过滤器，其特征在于：所述过滤网由ptfe、聚酯纤维组成，所述过滤网底部涂覆有粘合剂。

3.根据权利要求1所述的一种超薄的高效过滤器，其特征在于：所述框架采用铝型材框架，框架外部设置有垫片。

4.根据权利要求3所述的一种超薄的高效过滤器，其特征在于：垫片设置在中空腔体的外部。

5.根据权利要求3所述的一种超薄的高效过滤器，其特征在于：中空腔体内部还设置有平行于平台的凸起。

6.根据权利要求1所述的一种超薄的高效过滤器，其特征在于：所述防护网采用喷涂ptfe的不锈钢材料。

技术总结
本实用新型提供一种超薄的高效过滤器，包括：过滤网、框架和防护网，所述过滤网安装在框架内，所述防护网固定于框架的下端，其特征在于：框架的上下两端为水平结构，框架内部有一个水平的平台，过滤网安装在该平台上，平台与下端之间构成中空腔体，中空腔体的侧面设置有螺栓孔；框架两端采用水平结构，同样可以承重高效过滤网，将用于连接框架与其他设备的螺栓孔调整至框架侧面，将框架的高度降低，体积缩小的同时，重量也减轻了，并保持了原有的颗粒去除性能。

技术研发人员：孙涛
受保护的技术使用者：盛奕半导体科技(无锡)有限公司
技术研发日：2019.11.04
技术公布日：2020.08.04