液滴释放装置的制作方法

本发明涉及一种液滴释放装置。

背景技术：

专利文献1公开了一种技术，其对检查薄膜释放功能液的液滴，通过检查摄像机拍摄被释放到检查薄膜的液滴，检查液滴的释放状态。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2018-8231号公报

技术实现要素：

发明要解决的技术问题

本发明提供高效地进行液滴的释放状态的调整的技术。

用于解决技术问题的技术方案

本发明的一个方式的液滴释放装置包括输送机构、释放头、第1介质输送部、第2介质输送部和摄像部。输送机构沿输送方向输送工件。释放头对工件释放功能液的液滴。第1介质输送部在与输送方向正交的方向上输送能够接收从释放头释放的检查用的液滴的第1检查用介质。第2介质输送部在正交的方向上输送第2检查用介质，该第2检查用介质能够接收从释放头释放的检查用的液滴，并与第1检查用介质在输送方向上并排配置。摄像部拍摄释放到第1检查用介质的液滴和释放到第2检查用介质的液滴。

发明效果

依照本发明，能够高效地进行液滴的释放状态的调整。

附图说明

图1是表示实施方式的液滴释放装置的概要结构的左侧视图。

图2是表示实施方式的液滴释放装置的概要结构的俯视图。

图3a是表示实施方式的操作区域的概要结构的俯视图。

图3b是表示实施方式的侧壁的概要结构的侧视图。

图3c是表示实施方式的功能液瓶的更换作业的一例的图。

图4是表示从x轴正方向观察实施方式的检查机构的一部分的概要结构的图。

图5是表示实施方式的滑动件从待机位置移动到第1释放位置的状态的概要图。

图6是表示实施方式的滑动件从第1释放位置移动到第1拍摄位置的状态的概要图。

图7是表示实施方式的滑动件从第1拍摄位置移动到待机位置的状态的概要图。

附图标记说明

1液滴释放装置

4基片输送机构(输送机构)

6描绘机构

7检查机构

8控制装置

62承载器

63喷头(释放头)

70滑动件

71检查台

72第1薄膜输送部(第1介质输送部)

72b第1送出轴

72d第1卷取轴

73第2薄膜输送部(第2介质输送部)

73b第2送出轴

73d第2卷取轴

74摄像部

77第1检查薄膜(第1检查用介质)

78第2检查薄膜(第2检查用介质)

a释放区域。

具体实施方式

以下，参照附图，对本发明公开的液滴释放装置的实施方式详细地进行说明。此外，由以下所示的实施方式公开的液滴释放装置并非限定性的。

在以下参照的各附图中，为了使说明容易理解，给出规定彼此正交的x轴方向、y轴方向和z轴方向并以z轴正方向为铅垂向上方向的正交坐标系。

x轴方向是输送作为工件的基片w的输送方向。y轴方向是与输送方向正交的方向。z轴方向是与铅垂方向平行的方向。

另外，此处，规定以x轴正方向为前方，以x轴负方向为后方的前后方向，规定以y轴正方向为右方，以y轴负方向为左方的左右方向。此外，规定以z轴正方向为上方，以z轴负方向为下方的上下方向。z轴负方向是铅垂方向。

参照图1和图2，对实施方式的液滴释放装置1进行说明。图1是表示实施方式的液滴释放装置1的概要结构的左侧视图。图2是表示实施方式的液滴释放装置1的概要结构的俯视图。

液滴释放装置1是一边沿输送方向输送基片w，一边以喷墨方式对基片w进行描绘的描绘装置。基片w例如是用于平板显示器的基片w。

液滴释放装置1收纳在腔室(chamberroom)100中。腔室100被供给非活性气体(例如，氮气)。液滴释放装置1在非活性气体气氛下将功能液释放到基片w，对基片w进行描绘。此外，液滴释放装置1也可以为没有收纳在腔室100中的装置。

功能液除了墨水之外，还含有形成空穴注入层(hil：holeinjectionlayer)、空穴输送层(htl：holetransportlayer)等的液。

在腔室100，并排地设置收纳控制装置8等的电气室101。另外，在腔室100设置能够更换装入有功能液的功能液瓶bt(参照图3a)的操作区域102。此外，以下所述的关于操作区域102的动作，除了操作者的手动操作之外由控制装置8进行控制。

如图3所示，在操作区域102设置有供功能液瓶bt出入的更换室1021。图3a是表示实施方式的操作区域102的概要结构的俯视图。

在更换室1021设置有第1分隔门1022和第2分隔门1023。第1分隔门1022是用于将更换室1021与外部分隔开的门。第1分隔门1022设置在腔室100的侧壁1024。第1分隔门1022例如以z轴方向的轴为中心转动。第2分隔门1023是用于将更换室1021与配置液滴释放装置1(参照图2)的区域分隔开的门。第2分隔门1023例如沿x轴方向移动。

另外，在操作区域102设置有在左右方向上延伸的轨道1025。轨道1025设置成延伸至更换室1021。在轨道1025设置载置功能液瓶bt的可移动的瓶座1026。

如图3b所示，在侧壁1024设置有开口部1024a和更换窗1024b。图3b是表示实施方式的侧壁1024的概要结构的侧视图。开口部1024a根据第1分隔门1022的开闭而开口或关闭。在更换窗1024b设置有用于操作者插入手来更换功能液瓶bt的手套1027。手套1027设置多个。

当更换功能液瓶bt时，将描绘机构6(参照图2)输送到操作区域102。描绘机构6例如通过选择维护模式，操作瓶更换按钮，而被输送到操作区域102。此外，也可以在功能液瓶bt的剩余量比规定剩余量少时，自动地输送到操作区域102。

例如，使第1分隔门1022和第2分隔门1023在将描绘机构6输送到操作区域102之后可打开。更换室1021与未图示的气体吸排气机构连接。使用该气体吸排气机构将更换室1021的内部置换为装置外部的气氛或者cda(清洁干燥空气)后使第1分隔门1022成为可开闭的，由此能够防止更换室1021的非活性气体被一次排出到外部。将第1分隔门1022打开，由操作者将新的功能液瓶bt载置在瓶座1026。此外，第2分隔门1023关闭。然后，由操作者关闭第1分隔门1022后，使用气体吸排气机构将更换室1021中置换为非活性气体。此外，也可以在更换室1021内部设置未图示的氧浓度传感器。于是，也可以基于氧浓度传感器测量出的氧浓度是否达到规定的数值，来判断从非活性气体置换成装置外部的气氛或cda的终点、或者、从装置外部的气氛或cda置换成非活性气体的终点。

在将更换室1021中置换为非活性气体后，第2分隔门1023打开，将瓶座1026从更换室1021输送到配置液滴释放装置1的区域。当瓶座1026被输送到配置液滴释放装置1的区域时，如图3c所示，操作者把手插入手套1027中，将描绘机构6的已使用的功能液瓶bt1更换为载置于瓶座1026的新的功能液瓶bt2。图3c是表示实施方式的功能液瓶bt的更换作业的一例的图。

在功能液瓶bt的更换完成后，将载置有已使用的功能液瓶bt1的瓶座1026输送到更换室1021，第2分隔门1023关闭。之后，更换室1021中被置换为装置外部的气氛或者cda，第1分隔门1022打开，操作者能够取出已使用的功能液瓶bt。

返回图1和图2，液滴释放装置1包括架台2、第1导轨3、基片输送机构4(输送机构的一例)、第2导轨5、描绘机构6、检查机构7和控制装置8。

架台2形成为沿基片w的输送方向延伸。即，架台2形成为沿前后方向延伸。

第1导轨3配置在架台2的上表面。第1导轨3在左右方向并排地配置一对。各第1导轨3形成为沿前后方向延伸。

基片输送机构4包括工件载置台40、载置台旋转部41和滑动件42。基片输送机构4沿输送方向(前后方向)输送基片w(工件)。

工件载置台40例如是真空吸附载置台，能够吸附基片w。载置台旋转部41设置在工件载置台40的下方，使工件载置台40以与上下方向平行的轴为中心转动。即，工件载置台40以与上下方向平行的轴为中心可转动地由载置台旋转部41支承。

此外，在工件载置台40的上方设置有拍摄工件载置台40上的基片w的对准标记的工件对准摄像机(未图示)。载置台旋转部41基于由工件对准摄像机拍摄到的图像，以与上下方向平行的轴为中心转动，校正基片w的位置。

滑动件42设置在载置台旋转部41的下方，支承载置台旋转部41和工件载置台40。滑动件42安装于一对第1导轨3，通过设置于一对第1导轨3中的至少一者的驱动部(未图示)，例如线性电机，而能够沿一对第1导轨3移动。

即，工件载置台40和载置台旋转部41通过滑动件42沿一对第1导轨3在前后方向上移动，而与滑动件42一起在前后方向上移动。由此，能够沿前后方向输送基片w。

此外，基片输送机构4可以为浮上式的输送机构。浮上式的输送机构例如从下方支承基片w的端部，一边从下方向基片w吹去压缩空气以将基片w保持为水平，一边使基片w移动。

第2导轨5在前后方向上并排配置一对。各第2导轨5形成为沿左右方向延伸。各第2导轨5安装在例如形成为门型的支承部50的上表面。

一对第2导轨5例如设置成延伸至比架台2靠左方处。在延伸至比架台2靠左方处的一对第2导轨5之间配置维护部90。一对第2导轨5设置成在对基片w进行描绘的描绘位置与用维护部90进行维护的维护位置之间描绘机构6在左右方向上可移动。

维护部90进行后述的喷头63的维护，解决或者防止喷头63的释放不良等。

描绘机构6沿左右方向配置多个。例如，描绘机构6沿左右方向配置3个。此外，描绘机构6的数量并不限于此。各描绘机构6包括承载板60、承载器转动部61、承载器62和喷头63(释放头的一例)。

承载板60安装于一对第2导轨5，通过于一对第2导轨5中的至少一者的驱动部(未图示)，例如线性电机，而能够沿一对第2导轨5在左右方向上移动。此外，可以使多个承载板60一体地在左右方向上移动。

承载器转动部61配置在承载板60的下方。承载器转动部61安装在前后方向上的承载板60的中央。承载器62安装在承载器转动部61的下端。承载器62以与上下方向平行的轴为中心可转动的方式由承载器转动部61支承。

此外，承载器转动部61基于由设置于工件载置台40的承载器对准摄像机(未图示)拍摄到的图像，使承载器以与上下方向平行的轴为中心转动。由此，能够校正承载器62的位置。

在承载器62设置多个喷头63。例如，喷头63沿左右方向设置2列。此外，喷头63沿前后方向设置6列。在前后方向上相邻的喷头23以使左右方向上的位置错开的方式设置。此外，喷头63可以在左右方向上为1列，也可以设置3列以上的多列。

喷头63由功能液瓶(未图示)供给功能液，对基片w(工件)释放功能液的液滴。喷头63能够释放多种功能液。

接着，参照图4，对检查机构7进行说明。图4是表示从x轴正方向观察实施方式的检查机构7的一部分的概要结构的图。此外，在图4中，用虚线表示第1检查薄膜77。

检查机构7中，由第1检查薄膜77(第1检查用介质的一例)和与第1检查薄膜77在前后方向上并排配置的第2检查薄膜78(第2检查用介质的一例)接收功能液的液滴，拍摄液滴的释放状态。

第1检查薄膜77和第2检查薄膜78中的一检查薄膜是浸透性的薄膜，另一检查薄膜是拨水性的检查薄膜。具体而言，一检查薄膜是表面(被释放液滴的面)具有浸透性的检查薄膜。另一检查薄膜是表面(被释放液滴的面)具有拨水性的检查薄膜。

检查机构7包括滑动件70、检查台71、第1薄膜输送部72(第1介质输送部的一例)、第2薄膜输送部73(第2介质输送部的一例)和摄像部74(参照图1)。

滑动件70安装于一对第1导轨3，形成为沿左右方向延伸。滑动件70通过设置于一对第1导轨3中的至少一者的驱动部(未图示)，例如线性电机，而能够沿一对第1导轨3移动。即，滑动件70沿前后方向移动。

滑动件70在沿前后方向设定的释放位置、拍摄位置和待机位置之间移动。

释放位置是处于喷头63的下方的位置。释放位置包括：用第1检查薄膜77接收由喷头63释放的检查用的功能液的液滴的第1释放位置；和用第2检查薄膜78接收由喷头63释放的检查用的功能液的液滴的第2释放位置。

拍摄位置是比释放位置靠前方的位置，处于摄像部74的下方的位置。拍摄位置包括拍摄第1检查薄膜77的第1拍摄位置和拍摄第2检查薄膜78的第2拍摄位置。待机位置是比拍摄位置靠前方的位置。

检查台71安装在左右方向上的滑动件70的上表面中央。检查台71与滑动件70一起沿前后方向移动。

左右方向上的检查台71的长度比由描绘机构6将功能液的液滴释放到各检查薄膜77、78的释放区域a(参照图4)长。

在检查台71的上表面设置有吸附板71a。吸附板71a例如由多孔性的材料形成。另外，在检查台71收纳吸引装置(未图示)。通过用吸引装置进行吸引，在吸附板71a吸附第1检查薄膜77和第2检查薄膜78。

此外，可以为，检查台71和吸附板71a在前后方向上设置2个。具体而言，可以设置吸附第1检查薄膜77的检查台71和吸附板71a，以及吸附第2检查薄膜78的检查台71和吸附板71a。

第1薄膜输送部72设置在滑动件70的上方。第1薄膜输送部72在左右方向(与输送方向正交的方向)输送能够接收从喷头63释放的检查用的液滴的第1检查薄膜77(第1检查用介质)。

第1薄膜输送部72包括第1送出轴支承部72a、第1送出轴72b、第1卷取轴支承部72c和第1卷取轴72d。

第1送出轴支承部72a安装在滑动件70的上表面。第1送出轴支承部72a配置于检查台71的右方。第1送出轴72b可旋转地由第1送出轴支承部72a支承。

第1送出轴72b设置成从第1送出轴支承部72a向前方突出。第1送出轴72b配置在检查台71的右方。卷状的第1检查薄膜77安装在第1送出轴72b。第1送出轴72b送出第1检查薄膜77。

第1卷取轴支承部72c安装在滑动件70的上表面。第1卷取轴支承部72c配置在检查台71的左方。第1卷取轴72d可旋转地由第1卷取轴支承部72c支承。在第1卷取轴支承部72c设置有使第1卷取轴72d旋转的电机(未图示)。此外，也可以在第1送出轴支承部72a设置使第1送出轴72b旋转的电机。

第1卷取轴72d设置成从第1卷取轴支承部72c向前方突出。第1卷取轴72d配置在检查台71的左方。第1卷取轴72d安装第1检查薄膜77的一端，卷取被释放了功能液的液滴的第1检查薄膜77。具体而言，第1卷取轴72d被传递设置于第1卷取轴支承部72c的电机的旋转而进行旋转，卷取被释放了功能液的液滴的第1检查薄膜77。

第1送出轴72b和第1卷取轴72d在左右方向隔着检查台71配置。第1薄膜输送部72设置成将第1检查薄膜77从右方向左方输送。此外，下面，有时将第1检查薄膜77的输送方向称为第1方向。

即，第1薄膜输送部72沿与基片w的输送方向正交的方向即第1方向输送第1检查薄膜77。

第2薄膜输送部73设置在滑动件70的上方。第2薄膜输送部73接收从喷头63释放的检查用的功能液的液滴，在左右方向输送与第1检查薄膜77在前后方向上并排配置的第2检查薄膜78。第2检查薄膜78配置在比第1检查薄膜77靠前方处。

第2薄膜输送部73包括第2送出轴支承部73a、第2送出轴73b、第2卷取轴支承部73c和第2卷取轴73d。

第2送出轴支承部73a安装在滑动件70的上表面。第2送出轴支承部73a配置在检查台71的左方。第2送出轴73b可旋转地由第2送出轴支承部73a支承。

第2送出轴73b设置成从第2送出轴支承部73a向前方突出。第2送出轴73b配置在检查台71的左方。卷状的第2检查薄膜78安装在第2送出轴73b。第2送出轴73b送出第2检查薄膜78。

第2卷取轴支承部73c安装在滑动件70的上表面。第2卷取轴支承部73c配置在检查台71的右方。第2卷取轴73d可旋转地由第2卷取轴支承部73c支承。在第2卷取轴支承部73c设置使第2卷取轴73d旋转的电机(未图示)。此外，也可以在第2送出轴支承部73a设置使第2送出轴73b旋转的电机。

第2卷取轴73d设置成从第2卷取轴支承部73c向前方突出。第2卷取轴73d配置在检查台71的右方。第2卷取轴73d安装第2检查薄膜78的一端，卷取被释放了功能液的液滴的第2检查薄膜78。具体而言，第2卷取轴73d被传递设置于第2卷取轴支承部73c的电机的旋转而进行旋转，卷取被释放了功能液的液滴的第2检查薄膜78。

第2送出轴73b和第2卷取轴73d在左右方向隔着检查台71配置。第2薄膜输送部73设置成将第2检查薄膜78从左方向右方输送。此外，下面，有时将第2检查薄膜78的输送方向称为第2方向。

即，第2薄膜输送部73沿作为与第1方向相反的方向的第2方向输送第2检查薄膜78。

在第1薄膜输送部72和第2薄膜输送部73中，各送出轴72b、73b和各卷取轴72d、73d在与输送方向正交的方向即左右方向上配置在不同的位置。

另外，在第1薄膜输送部72和第2薄膜输送部73中，第1薄膜输送部72的第1卷取轴72d和第2薄膜输送部73的第2送出轴73b配置在检查台71的左方。第2送出轴73b与第1卷取轴72d相比，配置在靠检查台71侧，即由喷头63(参照图1)释放功能液的液滴的释放区域a侧。

另外，第1薄膜输送部72的第1送出轴72b和第2薄膜输送部73的第2卷取轴73d配置在检查台71的右方。第1送出轴72b与第2卷取轴73d相比，配置在靠检查台71侧，即由喷头63(参照图1)释放功能液的液滴的释放区域a侧。

如上所述，通过配置各送出轴72b、73b和各卷取轴72d、73d，能够缩短从第1送出轴72b送出的第1检查薄膜77被送至释放区域a的距离。此外，能够缩短从第2送出轴73b送出的第2检查薄膜78被送至释放区域a的距离。

此外，第1薄膜输送部72和第2薄膜输送部73能够独立地输送第1检查薄膜77和第2检查薄膜78。

另外，在上述实施方式中，说明了第1卷取轴72d和第2送出轴73b配置在检查台71的左方，第1送出轴72b和第2卷取轴73d配置在检查台71的右方的一例，但是并不限于此。也可以为，第1卷取轴72d和第2送出轴73b配置在检查台71的右方，第1送出轴72b和第2卷取轴73d配置在检查台71的左方。即，可以为，第1方向和第2方向是与上述的方向分别相反的方向。

如图1所示，摄像部74隔着基座74a安装在第2导轨5。在基座74a设置有使摄像部74在左右方向上移动的移动机构(未图示)。摄像部74安装在一对第2导轨5中的配置于前方的第2导轨5。即，摄像部74配置在比承载器62靠前方处。

摄像部74拍摄释放到第1检查薄膜77的功能液的液滴和释放到第2检查薄膜78的功能液的液滴。

此外，也可以设置多个摄像部74，用多个摄像部74拍摄释放到第1检查薄膜77和第2检查薄膜78的功能液的液滴。在该情况下，也可以不使摄像部74在左右方向上移动，而固定在第2导轨5。

图2所示的控制装置8例如是计算机，包括控制部(未图示)和存储部(未图示)。存储部例如由ram(randomaccessmemory：随机存取存储器)、闪存(flashmemory)等半导体存储元件、或者、硬盘、光盘等存储装置实现。

控制部包括具有cpu(centralprocessingunit：中央处理器)、rom(readonlymemory：只读存储器)、ram、包括输入输出端口等的微型计算机和各种电路。微型计算机的cpu读取并执行存储于rom的程序，来实现基片输送机构4、描绘机构6、检查机构7的控制。

此外，也可以为程序存储于计算机可读取的存储介质，从存储介质安装到控制装置8的存储部。作为计算机可读取的存储介质，例如有硬盘(hd)、软盘(fd)、光盘(cd)、磁光盘(mo)、存储卡等。

在液滴释放装置1中，基于摄像部74中的功能液的液滴的拍摄结果，来调整喷头63的释放状态。液滴释放装置1能够根据功能液的种类，将接收功能液的液滴的检查薄膜切换为第1检查薄膜77或者第2检查薄膜78。

接着，对检查机构7中的液滴检查进行说明。此外，此处，对第1检查薄膜77释放功能液的液滴的一例进行说明。

检查机构7的滑动件70在不进行液滴检查的情况下，例如，在用描绘机构6对基片w释放功能液的情况下、不使用液滴释放装置1的情况下等，如图1所示被保持在待机位置。

在用第1检查薄膜77接收从喷头63释放的功能液的液滴的情况下，滑动件70从待机位置向后方移动。具体而言，滑动件70如图5所示从待机位置移动至第1检查薄膜77位于喷头63的下方的第1释放位置。图5是表示实施方式的滑动件70从待机位置移动到第1释放位置的状态的概要图。

第1薄膜输送部72在从待机位置向第1释放位置移动时，或者移动到第1释放位置后，进行在上一次液滴检查中被释放了功能液的液滴的第1检查薄膜77的卷取。由此，被释放了功能液的液滴的第1检查薄膜77由第1卷取轴72d卷取，新的第1检查薄膜77被配置在检查台71的吸附板71a的上方。

在滑动件70移动到第1释放位置后，喷头63将功能液的液滴释放到第1检查薄膜77。此外，第1检查薄膜77在吸附于吸附板71a的上表面的状态下被释放功能液的液滴。

从喷头63对第1检查薄膜77释放了功能液的液滴后，滑动件70如图6所示，从第1释放位置向第1检查薄膜77位于摄像部74的下方的第1拍摄位置移动。图6是表示实施方式的滑动件70从第1释放位置移动到第1拍摄位置的状态的概要图。

在滑动件70移动到第1释放位置后，由摄像部74进行释放到第1检查薄膜77的功能液的液滴的拍摄。

释放到第1检查薄膜77的功能液的液滴的拍摄结束后，滑动件70如图7所示，从第1拍摄位置向待机位置移动。图7是表示实施方式的滑动件70从第1拍摄位置移动到待机位置的状态的概要图。

在对第2检查薄膜78释放功能液的液滴的情况下，滑动件70从待机位置移动到第2检查薄膜78位于喷头63的下方的第2释放位置。此外，在对第2检查薄膜78释放了功能液的液滴后，滑动件70从第2释放位置移动到第2检查薄膜78位于摄像部74的下方的第2拍摄位置。其他步骤与对第1检查薄膜77释放功能液的液滴的情况相同。

接着，对实施方式的效果进行说明。

液滴释放装置1包括沿前后方向(输送方向)输送基片w的基片输送机构4和对基片w释放功能液的液滴的喷头63。此外，液滴释放装置1包括第1薄膜输送部72，该第1薄膜输送部72在左右方向(与输送方向正交的方向)上输送能够接收从喷头63释放的检查用的液滴的第1检查薄膜77。此外，液滴释放装置1包括在左右方向上输送第2检查薄膜78的第2薄膜输送部73，该第2检查薄膜78能够接收从喷头63释放的检查用的液滴，并与第1检查薄膜77在输送方向上并排配置。另外，液滴释放装置1包括拍摄释放到第1检查薄膜77的液滴和释放到第2检查薄膜78的液滴的摄像部74。

由此，液滴释放装置1能够使用第1检查薄膜77和第2检查薄膜78拍摄从喷头63释放的功能液的液滴，根据拍摄结果来调整喷头63的功能液的释放状态。因此，液滴释放装置1能够高效地进行功能液的液滴的释放状态的调整。

另外，第1薄膜输送部72包括送出第1检查薄膜77的第1送出轴72b和卷取第1检查薄膜77的第1卷取轴72d。此外，第2薄膜输送部73包括送出第2检查薄膜78的第2送出轴73b和卷取第2检查薄膜78的第2卷取轴73d。各送出轴72b、73b和各卷取轴72d、73d在左右方向上配置在不同的位置。

由此，液滴释放装置1能够各自独立地输送第1检查薄膜77和第2检查薄膜78，并且能够使第1薄膜输送部72和第2薄膜输送部73为简单的结构。此外，液滴释放装置1在更换第1检查薄膜77或者第2检查薄膜78的情况下，在残留有没有进行更换的检查薄膜的状态下，能够更换要进行更换的检查薄膜，能够容易地进行更换作业。

另外，第1薄膜输送部72沿作为左右方向的第1方向输送第1检查薄膜77，第2薄膜输送部73沿作为与第1方向相反的方向的第2方向输送第2检查薄膜78。第1送出轴72b与第2卷取轴73d相比，配置在靠由喷头63释放液滴的释放区域a侧。第2送出轴73b与第1卷取轴72d相比，配置在靠释放区域a侧。

由此，液滴释放装置1能够缩短第1检查薄膜77从第1送出轴72b被送至释放区域a为止的距离。此外，液滴释放装置1能够缩短第2检查薄膜78从第2送出轴73b被送至释放区域a为止的距离。因此，液滴释放装置1能够缩短从第1送出轴72b被送至释放区域a的第1检查薄膜77和从第2送出轴73b被送至释放区域a的第2检查薄膜78暴露在腔室100内的气氛中的时间。

即，液滴释放装置1能够缩短从第1送出轴72b送出第1检查薄膜77开始至由摄像部74拍摄为止的时间。此外，液滴释放装置1能够缩短从第2送出轴73b送出第2检查薄膜78开始至由摄像部74拍摄为止的时间。因此，液滴释放装置1能够正确地拍摄功能液的液滴的状态，能够高精度地进行功能液的液滴的释放状态的调整。

另外，第1检查薄膜77和上述第2检查薄膜78中的一检查薄膜是浸透性的检查薄膜，第1检查薄膜77和第2检查薄膜78中的另一检查薄膜是拨水性的检查薄膜。

由此，液滴释放装置1能够使用不同种类的检查薄膜77、78接收功能液的液滴。因此，液滴释放装置1能够根据不同特性的功能液，将接收功能液的液滴的检查薄膜切换为第1检查薄膜77和第2检查薄膜78。而且，液滴释放装置1能够根据功能液的特性正确地拍摄功能液的液滴的释放状态，高精度地进行功能液的液滴的释放状态的调整。此外，用1个液滴释放装置1，能够调整不同特性的功能液的液滴的释放状态，能够使包含液滴释放装置1的系统小型化。

接着，对本实施方式的变形例进行说明。

变形例的液滴释放装置1中，可以为第1薄膜输送部72中的第1检查薄膜77的输送方向和第2薄膜输送部73中的第2检查薄膜78的输送方向是相同的方向。例如，可以为第2薄膜输送部73沿第1方向输送第2检查薄膜78。

变形例的液滴释放装置1中，例如将第1送出轴72b和第2送出轴73b配置在检查台71的左方，将第1卷取轴72d和第2卷取轴73d配置在检查台71的右方。

由此，变形例的液滴释放装置1能够防止从由第1卷取轴72d卷取的第1检查薄膜77飞散的功能液附着在安装于第2送出轴73b的卷状的第2检查薄膜78。此外，变形例的液滴释放装置1能够防止从由第2卷取轴73d卷取的第2检查薄膜78飞散的功能液附着在安装于第1送出轴72b的卷状的第1检查薄膜77。

另外，在变形例的液滴释放装置1中，可以为喷头63对第1检查薄膜77和第2检查薄膜78释放相同的功能液的液滴。变形例的液滴释放装置1将相同的功能液中的液滴释放到例如具有浸透性的第1检查薄膜77和具有拨水性的第2检查薄膜78。

而且，变形例的液滴释放装置1用摄像部74拍摄被释放了相同的功能液的液滴的第1检查薄膜77和第2检查薄膜78。

由此，变形例的液滴释放装置1能够基于释放到不同种类的检查薄膜77、78的功能液的液滴的拍摄结果来调整液滴的释放状态，能够高精度地进行功能液的液滴的释放状态的调整。

另外，在变形例的液滴释放装置1中，可以为第1检查薄膜77和第2检查薄膜78是相同的检查薄膜(相同介质的一例)。

由此，变形例的液滴释放装置1能够减少检查薄膜77、78的更换次数，能够提高作业性。

此外，本次公开的实施方式在所有方面均例示，不应认为是限制性的。实际上，上述的实施方式能够通过各种各样的方式实现。另外，上述的实施方式不脱离所附的权利要求的范围及其主旨的情况下，能够以各种方式省略、置换、变更。