用于分配器的排放喷嘴模块、分配器及使用其的分配方法与流程

文档序号:24050152发布日期:2021-02-23 21:22阅读:88来源:国知局
用于分配器的排放喷嘴模块、分配器及使用其的分配方法与流程

[0001]
本公开涉及用于分配器的排放喷嘴模块、分配器以及使用所述分配器的分配方法,且更确切地说,涉及能够均匀地控制液滴大小的用于分配器的排放喷嘴模块、分配器以及使用所述分配器的分配方法。


背景技术:

[0002]
近年来,已研发并使用平面显示器,例如等离子体显示面板(plasma display panel,pdp)、液晶显示器(liquid crystal display,lcd)、电泳显示器(electrophoretic display,epd)以及有机发光二极管(organic light emitting diode,oled)。
[0003]
在制造平面显示器时,执行接合包含晶体管阵列的基板和包含彩色滤光片阵列的基板的过程,且为达成这一目的,执行在包含晶体管阵列的基板上涂覆粘着剂溶液的过程。
[0004]
通常,通过使用气动压力从针筒供应的高粘度粘着剂溶液通过喷嘴以线形式涂覆在包含晶体管阵列的基板上。在这种情况下,粘着剂溶液的线具有不均匀的涂覆厚度,并且甚至在一个线中,起始部分和末端部分(边缘部分)中的每一个具有大于其它部分的厚度。
[0005]
[现有技术文献]
[0006]
[专利文献]
[0007]
韩国专利第10-1914166号


技术实现要素:

[0008]
本公开提供一种能够连续地控制液滴大小的用于分配器的排放喷嘴模块。
[0009]
本公开还提供一种能够连续地控制液滴大小的分配器。
[0010]
本公开还提供一种使用能够连续地控制液滴大小的分配器的分配方法。
[0011]
根据示范性实施例,用于分配器的排放喷嘴模块包含:第一容纳单元,配置成容纳自外部供应的液化材料;多个第二容纳单元,与第一容纳单元连接以容纳从第一容纳单元传送的液化材料,且各自具有小于第一容纳单元的容积的容积;多个排放孔,分别连接到多个第二容纳单元以排放液化材料;以及施压单元,配置成选择性地施加压力到多个第二容纳单元中的液化材料。
[0012]
多个第二容纳单元可在第一方向上彼此间隔开且各自在与第一方向交叉的第二方向上延伸。
[0013]
施压单元可包含:多个压电装置,设置成分别与多个第二容纳单元相对应,且在施加电力时朝着多个第二容纳单元变形;以及隔膜,根据多个压电装置的变形而弹性地变形以改变多个第二容纳单元的内部容积。此处,多个压电装置中的每一个可具有在第二方向上延伸的长方体形状,且在施加电力时在厚度方向上中凸地变形。
[0014]
多个压电装置中的每一个可以是双晶压电装置且包含第一电极和第二电极,所述第一电极和所述第二电极在厚度方向上彼此相对安置。
[0015]
多个压电装置中的每一个可具有小于多个第二容纳单元中的每一个的第一方向
宽度的第一方向宽度。
[0016]
多个第二容纳单元可安置在第一容纳单元正下方,且第一容纳单元的下部部分的宽度可在朝着多个第二容纳单元的方向上逐渐减小。
[0017]
多个第二容纳单元可由插入到主体部分中的喷嘴块的一个表面处定义的多个第二容纳凹槽和配置成覆盖多个第二容纳凹槽的隔膜定义。
[0018]
根据另一示范性实施例,分配器包含:根据技术方案1到技术方案7中任一项所述的用于分配器的排放喷嘴模块;以及计量泵,配置成将液化材料连续地供应到排放喷嘴模块的第一容纳单元。此处,在压力由施压单元的变形选择性地施加到由计量泵供应的液化材料时,排放喷嘴模块不连续地排放液化材料。
[0019]
分配器可进一步包含连接到排放喷嘴模块的第一容纳单元的负压力提供单元,以提供负压力到处于备用状态中的排放喷嘴模块的第一容纳单元。
[0020]
分配器可进一步包含压电装置控制器,所述压电装置控制器配置成通过施加电力到施压单元的多个压电装置以使多个压电装置在厚度方向上中凸地变形来改变多个第二容纳单元的内部容积。
[0021]
根据又一示范性实施例,分配方法包含:将液化材料填充到排放喷嘴模块的第一容纳单元和多个第二容纳单元的(a)过程,所述多个第二容纳单元连接到第一容纳单元且各自具有小于第一容纳单元的容积的容积;将液化材料从计量泵连续地供应到排放喷嘴模块的第一容纳单元的(b)过程;以及通过选择性地使排放喷嘴模块的施压单元变形来选择性地施加压力到多个第二容纳单元中的液化材料的(c)过程,所述液化材料不连续地排放。
[0022]
(c)过程可包含:通过施加电力到施压单元的多个压电装置来选择性地使多个压电装置在厚度方向上朝着多个第二容纳单元中凸地变形的(c-1)过程;以及在施压单元的隔膜根据多个压电装置的选择性变形而弹性地变形时选择性地施加压力到多个第二容纳单元的液化材料的(c-2)过程。
[0023]
分配方法可进一步包含在(b)过程之前提供负压力到排放喷嘴模块的第一容纳单元的过程。
附图说明
[0024]
根据结合附图进行的以下描述可更详细地理解示范性实施例,在所述附
[0025]
图中:
[0026]
图1为示出根据示范性实施例的排放喷嘴模块的透视图。
[0027]
图2为根据示范性实施例的通过在水平方向上切割排放喷嘴模块的部分区域而获得的透视图。
[0028]
图3为根据示范性实施例的通过在竖直方向上切割排放喷嘴模块的部分区域而获得的透视图。
[0029]
图4为示出根据示范性实施例的排放喷嘴模块的施压单元的透视图。
[0030]
图5为示出根据示范性实施例的排放喷嘴模块的施压单元的操作的图。
[0031]
图6为示出根据示范性实施例的分配器的示意图。
[0032]
图7为用于解释使用根据示范性实施例的分配器的分配方法的流程图。
具体实施方式
[0033]
下文中,将参考附图更详细地描述示范性实施例。然而,本发明可以不同的形式来体现,且不应解释为限于本文中所陈述的实施例。实际上,提供这些实施例是为了使得本公开将是透彻并且完整的,且这些实施例将把本发明的范围完整地传达给所属领域的技术人员。附图中的相同附图标号表示相同元件。
[0034]
下文中,将参考附图描述根据示范性实施例的排放喷嘴模块、分配器以及分配方法。
[0035]
图1为示出根据示范性实施例的排放喷嘴模块的透视图。图2为根据示范性实施例的通过在水平方向上切割排放喷嘴模块的部分区域而获得的透视图。图3为根据示范性实施例的通过在竖直方向上切割排放喷嘴模块的部分区域而获得的透视图。图4为示出根据示范性实施例的排放喷嘴模块的施压单元的透视图。图5为示出根据示范性实施例的排放喷嘴模块的施压单元的操作的图。
[0036]
根据示范性实施例的排放喷嘴模块安装到分配器以便排放液滴。
[0037]
将参考图1到图5描述根据示范性实施例的排放喷嘴模块。
[0038]
根据示范性实施例的排放喷嘴模块100包含:第一容纳单元110,其容纳自外部供应的液化材料;多个第二容纳单元120,其与第一容纳单元110连接以容纳从第一容纳单元110传送的液化材料,且各自具有小于第一容纳单元110的容积的容积;多个排放孔124,其分别与多个第二容纳单元120连接以排放液化材料;以及施压单元130,其选择性地施加压力到多个第二容纳单元120中的每一个中的液化材料。
[0039]
自外部(即,从将随后描述的流体计量泵)供应的液化材料首先容纳在具有大容积的第一容纳单元110中,且随后传送到各自具有小容积的多个第二容纳单元120中的每一个。因此,相较于不具有第一容纳单元110的情况,液化材料可更快速地且连续地传送到多个第二容纳单元120。另外,由于液化材料是通过使用施压单元130通过施加压力到各自具有小容积的多个第二容纳单元120中的液化材料而通过多个排放孔124排放,而非通过施加压力到具有大容积的第一容纳单元110中的液化材料而通过多个排放孔124排放液化材料,因此压力可甚至由施压单元130的小变形有效地且轻易地施加到多个第二容纳单元120中的液化材料。另外,在施压单元130选择性地施加压力到多个第二容纳单元120中的液化材料时,液化材料可呈液滴形状通过多个排放孔124排放。此处,选择性地施加压力的特征包含定期地或不定期地施加压力的特征。举例来说,在施压单元130定期地施加压力到多个第二容纳单元120中的液化材料时,液化材料可呈液滴形状通过多个排放孔124定期地排放。根据示范性实施例的排放喷嘴模块100可通过多个排放孔124轻易地排放具有均匀量或大小的液滴。此处,液化材料包含粘着剂聚合物溶液(例如透明硅基聚合物溶液等)。粘着剂聚合物溶液可具有例如数百厘泊到数千厘泊的粘度。然而,示范性实施例不限于液化材料的种类。举例来说,除了粘着剂聚合物溶液之外,液化材料还可包含各种液化材料。
[0040]
另外,多个第二容纳单元120可在第一方向d1上彼此间隔开且各自在与第一方向d1交叉的第二方向d2上延伸。举例来说,多个第二容纳单元120可在第一方向d1上彼此间隔开固定距离。多个第二容纳单元120可各自在第二方向d2上以细长且狭窄方式延伸,且设计成具有特定容积。举例来说,第二方向d2可与第一方向d1垂直地交叉。图1示范性地示出十六个第二容纳单元120在第一方向d1上彼此间隔开。由于多个第二容纳单元120各自在第二
方向d2上以细长方式延伸且各自具有特定容积,因此可通过调整施压单元130的变形的大小来轻易地调整排放液滴的量或大小。随着施压单元130的变形增大,从多个第二容纳单元120排放的液化材料的量可增大,且液滴的大小可增大。
[0041]
另外,施压单元130包含:多个压电装置150,其设置成分别与多个第二容纳单元120相对应且朝着多个第二容纳单元120变形;以及隔膜(diaphragm)140,其根据多个压电装置150的变形而弹性地变形以改变多个第二容纳单元120的内部容积。
[0042]
参考图5,多个压电装置150中的每一个可在第二方向d2上延伸,具有宽度大于厚度的长方体形状,且在施加电力时在厚度方向(例如方向d3)上变形。因此,具有弹性的隔膜可插入到多个第二容纳单元120中。在并未施加电力时,多个压电装置150可迅速恢复到初始状态,即,平面状态。因此,具有弹性的隔膜也可迅速恢复到初始状态,即,平面状态。多个第二容纳单元120的内部容积可根据多个压电装置150的变形和恢复而被压缩及恢复到初始状态。通过迅速地重复多个压电装置150的变形和恢复,液化材料可通过连接到多个第二容纳单元120的多个排放孔124以液滴形式排放。在多个压电装置150恢复到初始状态的同时,多个第二容纳单元120中可短暂地形成负压力。由此,可完全阻止多个第二容纳单元120中的液化材料通过多个排放孔124排放。因此,相较于通过使用阀门、针、活塞等直接打开和闭合流动路径时的情况,可更加精确地调整液滴的大小。
[0043]
隔膜140可由弹性材料制成,所述弹性材料例如氟树脂、天然橡胶或合成橡胶。隔膜140可由例如软性铁氟龙(soft teflon)制成。
[0044]
举例来说,多个压电装置150中的每一个可以是双晶压电装置(bimorphpiezoelectric device)。多个压电装置150中的每一个可包含第一电极151和第二电极155,所述第一电极151和所述第二电极155在厚度方向上彼此相对安置。多个压电装置150可附接到隔膜140。举例来说,多个压电装置150可附接到隔膜140,使得第一电极151邻近于隔膜140。多个压电装置150中的每一个可进一步包含:第一压电体152,其接触第一电极151;第二压电体154,其接触第二电极155;以及导电中间层153,其安置在第一压电体152与第二压电体154之间。第一压电体152可具有与第二压电体154的极化方向相对的极化方向。
[0045]
多个压电装置150中的每一个可具有小于多个第二容纳单元120中的每一个的第一方向宽度w2的第一方向宽度w1。因此,多个压电装置150可自由地变形,且在多个压电装置150在厚度方向上中凸地变形时,隔膜140可轻易地插入到第二容纳单元120中。因此,多个第二容纳单元120的内部容积可轻易地改变。
[0046]
在电力同时施加到多个压电装置150时,所有多个压电装置150可同时变形。替代地,仅多个压电装置150的一部分可变形,或在多个压电装置150可能被分组时,所述组可根据电力施加方法而交替地变形。
[0047]
尽管在图2到图5中为每一第二容纳单元120设置一个压电装置150,但示范性实施例不限于此。举例来说,可为每一第二容纳单元120设置两个或大于两个压电装置150。
[0048]
多个第二容纳单元120可安置在第一容纳单元110正下方,且第一容纳单元110的下部区域的宽度在朝着多个第二容纳单元120的方向上逐渐减小。因此,第一容纳单元110中的液化材料可通过自身重量(自有重量)以及施加到第一容纳单元110的压力而供应到多个第二容纳单元120,所述压力在自外部供应液化材料时产生。由于液化材料填充在具有大
容积的第一容纳单元110中,因此压力可通过液化材料的自身重量而施加到多个第二容纳单元120中的液化材料,以在排放期间减小或限制流向第一容纳单元110的反向流。另外,由于在液化材料的排放过程或供应过程中产生的气泡漂浮在第一容纳单元110的上部部分上,因此气泡可能不影响排放液滴。
[0049]
排放喷嘴模块100包含:主体部分113,其提供第一容纳单元110;以及喷嘴块128,其安置在主体部分113中且提供多个第二容纳凹槽122和多个排放孔124。另外,排放喷嘴模块100可进一步包含防护块160,其安置在喷嘴块128的一个侧面处,从而允许隔膜140紧密接触喷嘴块128且包含容纳多个压电装置150的多个凹槽162。防护块160可由绝缘材料制成以使多个压电装置150彼此电绝缘,且包含分别提供与多个压电装置150的电连接的多个通孔。防护块160可由例如绝缘树脂制成,所述绝缘树脂例如mc尼龙(nylon)。
[0050]
多个第二容纳单元120可由插入到主体部分113中的喷嘴块128的一个表面中定义的多个第二容纳凹槽122和覆盖多个第二容纳凹槽122的隔膜140定义。隔膜140的上部部分和下部部分可由喷嘴块128和防护块160固定。多个压电装置150与隔膜140之间的部分也可由喷嘴块128和防护块160固定。在隔膜140紧密接触喷嘴块128时,多个第二容纳单元120可以是在第一方向d1上彼此分隔开的独立空间。
[0051]
主体部分113可具有第一主体部分112和第二主体部分114连接的结构。第一主体部分112可提供第一容纳单元110,且喷嘴块128可安装于第一主体部分112中。防护块160可安装于第二主体部分114中。
[0052]
图6为示出根据示范性实施例的分配器的示意图。
[0053]
将参考图6描述根据示范性实施例的分配器。下文中,由于对排放喷嘴模块的描述与参考图1到图5描述的排放喷嘴模块相同,因此将省略其重复描述。
[0054]
根据示范性实施例的分配器1000包含排放喷嘴模块100和计量泵200,所述计量泵200连续地提供液化材料到第一容纳单元110的排放喷嘴模块100。另外,在压力由施压单元130的变形而选择性地施加到由计量泵200供应的液化材料时,排放喷嘴模块100可不连续地排放多个液滴。此处,选择性地施加压力的特征包含定期地或不定期地施加压力的特征。
[0055]
在排放喷嘴模块100的情况下,由于由计量泵供应的液化材料首先容纳在具有大容积的第一容纳单元110中且随后容纳在各自具有小容积的多个第二容纳单元120中的每一个中,因此液化材料可连续地供应到多个第二容纳单元120。另外,由于通过施加压力到各自具有小容积的多个第二容纳单元120中的液化材料而通过多个排放孔124排放液化材料,因此压力可甚至由施压单元130的小变形而有效地且轻易地施加到多个第二容纳单元120中的液化材料。因此,具有固定量或大小的液滴可通过多个排放孔124轻易地排放。可通过重复地施加电力而使多个压电装置150变形或恢复,且多个第二容纳单元120的内部容积可根据多个压电装置150的变形和恢复而被压缩且随后恢复到初始状态。通过迅速地重复多个压电装置150的变形和恢复,液化材料可通过连接到多个第二容纳单元120的多个排放孔124以液滴形式排放。在多个压电装置150恢复到初始状态的同时,多个第二容纳部分120中可短暂地形成负压力。由此,可完全阻止多个第二容纳部分120中的液化材料通过多个排放孔124排放。因此,相较于通过使用阀门、针、活塞等直接打开和闭合流动路径时的情况,可更加精确地调整液滴的大小。
[0056]
计量泵200可连续地且持续地供应液化材料到排放喷嘴模块100的第一容纳单元
110,以便考虑到通过排放喷嘴模块100的多个排放孔124排放的量而连续地维持排放喷嘴模块100的第一容纳单元110中的液化材料的量。举例来说,计量泵200的泵腔室可具有与排放喷嘴模块100的第一容纳单元110的容积相同的容积。在计量泵200供应液化材料到排放喷嘴模块100时,可打开第二阀门v2。
[0057]
如上文所描述,在计量泵200连续地且持续地供应液化材料到排放喷嘴模块100的第一容纳单元110以连续地维持排放喷嘴模块100的第一容纳单元110中的液化材料的量时,液化材料可连续地供应到排放喷嘴模块100的多个第二容纳单元120。另外,在通过使用施压单元130选择性地对多个第二容纳单元120的液化材料加压时,可在执行通过使用根据示范性实施例的分配器来将呈液滴形式的液化材料施加到基板上的过程的同时连续地维持液滴的大小。
[0058]
根据示范性实施例的分配器1000可进一步包含连接到排放喷嘴模块100的第一容纳单元110的负压力提供单元300,以提供负压力到处于备用状态中的排放喷嘴模块100的第一容纳单元110。在提供负压力到排放喷嘴模块100的第一容纳单元110时,多个排放孔124中的每一个的末端处可形成液化材料的弯液面,且可防止多个排放孔124中的每一个的末端处的冷凝或液化材料流。可打开第三阀门v3以提供负压力到处于备用状态中的排放喷嘴模块100的第一容纳单元110。在排放期间,第三阀门v3可关闭以阻挡由负压力提供单元300提供的负压力。负压力提供单元300可以是伺服阀,所述伺服阀能够在备用状态中以设置压力持续地提供负压力。
[0059]
根据示范性实施例的分配器1000可进一步包含压电装置控制器400,其通过施加电力到施压单元的多个压电装置来使多个压电装置变形以改变多个第二容纳单元120的内部容积。
[0060]
根据示范性实施例的分配器1000可进一步包含针筒500,其将液化材料填充到计量泵200。通过施加气动压力到容纳液化材料的针筒500以及打开第一阀门v1,可将液化材料填充到计量泵200的泵腔室中。
[0061]
尽管未示出,但根据示范性实施例的分配器1000可进一步包含主控制器,所述主控制器控制计量泵200、负压力提供单元300、压电装置控制器400以及第一阀门v1、第二阀门v2以及第三阀门v3中的每一个的操作。
[0062]
图7为用于解释使用根据示范性实施例的分配器的分配方法的流程图。将参考图7描述使用根据示范性实施例的分配器的分配方法。下文中,由于对分配器的描述与参考图1到图6描述的分配器相同,因此将省略其重复描述。
[0063]
参考图7,使用根据示范性实施例的分配器的分配方法包含:供应来自计量泵200的液化材料且将液化材料填充到排放喷嘴模块100的第一容纳单元110和多个第二容纳单元120的(a)过程s200,所述多个第二容纳单元120连接到第一容纳单元110且各自具有小于第一容纳单元110的容积的容积;将液化材料从计量泵200连续地供应到排放喷嘴模块100的第一容纳单元110的(b)过程s300;以及通过选择性地使排放喷嘴模块100的施压单元130变形来选择性地施加压力到多个第二容纳单元120中的液化材料的(c)过程s400。通过组合(b)过程与(c)过程,液化材料可从排放喷嘴模块不连续地排放。
[0064]
在(a)过程与(b)过程中,由于从计量泵200供应的液化材料首先容纳在具有大容积的第一容纳单元110中且随后供应到各自具有小容积的多个第二容纳单元120中的每一
个,因此液化材料可连续地供应到多个第二容纳单元120。另外,在(c)过程中,由于液化材料是通过使用施压单元130通过施加压力到各自具有小容积的多个第二容纳单元120中的液化材料而通过多个排放孔124排放,因此压力可甚至由施压单元130的小变形而有效地且轻易地施加到多个第二容纳单元120中的液化材料。因此,具有固定量或大小的液滴可通过多个排放孔124轻易地排放。另外,在计量泵200连续地且持续地供应液化材料到排放喷嘴模块100的第一容纳单元110以连续地维持排放喷嘴模块100的第一容纳单元110中的液化材料的量时,液化材料可连续地供应到排放喷嘴模块100的多个第二容纳单元120。另外,在通过使用施压单元130选择性地对多个第二容纳单元120的液化材料加压时,使用根据示范性实施例的分配器的分配方法可在执行将呈液滴形式的液化材料施加到基板上的过程的同时连续地维持液滴的大小。
[0065]
选择性地使排放喷嘴模块100的施压单元130变形以及选择性地施加压力到多个第二容纳单元120中的液化材料的(c)过程包含:选择性地使多个压电装置150在厚度方向上朝着多个第二容纳单元120中凸地变形的(c-1)过程;以及在施压单元130的隔膜140根据多个压电装置150的选择性变形而弹性地变形时选择性地施加压力到多个第二容纳单元120的液化材料的(c-2)过程。在电力被阻挡时,多个压电装置150恢复到初始状态,且隔膜140也恢复到初始状态。多个第二容纳部分120的内部容积可根据多个压电装置150的变形和恢复而再次被压缩及恢复到初始状态。通过迅速地重复多个压电装置150的变形和恢复,液化材料可通过连接到多个第二容纳单元120的多个排放孔124以液滴形式排放。在多个压电装置150恢复到初始状态的同时,多个第二容纳单元120中可短暂地形成负压力。由此,可完全阻止多个第二容纳单元120中的液化材料通过多个排放孔124排放。因此,相较于通过使用阀门、针、活塞等直接打开和闭合流动路径时的情况,可更加精确地调整液滴的大小。
[0066]
在将液化材料从计量泵200连续地供应到排放喷嘴模块100的第一容纳单元110的(b)过程之前,使用根据示范性实施例的分配器的分配方法可进一步包含提供负压力到排放喷嘴模块100的第一容纳单元110的过程。在提供负压力到排放喷嘴模块100的第一容纳单元110时,多个排放孔124中的每一个的末端处可形成液化材料的弯液面,且可防止多个排放孔124中的每一个的末端处的冷凝或液化材料流。
[0067]
在供应来自计量泵200的液化材料且将液化材料填充到排放喷嘴模块100的第一容纳单元110和多个第二容纳单元120(其连接到第一容纳单元110且各自具有小于第一容纳单元110的容积的容积)的(a)过程之前,使用根据示范性实施例的分配器的分配方法可进一步包含施加气动压力到容纳液化材料的针筒500且将液化材料填充到计量泵200的泵腔室的过程s100。
[0068]
在使用分配器的分配方法中,每一过程可根据所描述次序按时间顺序执行或并行执行或单独执行。
[0069]
根据用于根据示范性实施例的分配器的排放喷嘴模块,由于从计量泵供应的液化材料首先容纳在第一容纳单元中且随后传送到各自具有小容积的多个第二容纳单元,因此液化材料可连续地传送到多个第二容纳单元。另外,由于通过施加压力到各自具有小容积的多个第二容纳单元中的液化材料而通过多个排放孔排放液化材料,因此压力可甚至由施压单元的小变形而有效地且轻易地施加到多个第二容纳单元中的液化材料。因此,具有固定量或大小的液滴可通过多个排放孔轻易地排放。
[0070]
根据用于根据示范性实施例的分配器的排放喷嘴模块,由于多个第二容纳单元因在一个方向上以细长方式延伸的形状而各自具有特定容积,因此通过调整施压单元的变形的大小来轻易地调整排放液滴的量或大小。
[0071]
根据示范性实施例的分配器和使用所述分配器的分配方法,在计量泵连续地且持续地供应液化材料到排放喷嘴模块的第一容纳单元110以连续地维持排放喷嘴模块的第一容纳单元中的液化材料的量时,液化材料可连续地供应到排放喷嘴模块的多个第二容纳单元。另外,在通过使用施压单元而选择性地对多个第二容纳单元的液化材料加压时,可在执行将呈液滴形式的液化材料施加到基板上的过程的同时连续地维持液滴的大小。也就是说,根据示范性实施例的分配器和使用所述分配器的分配方法,具有改进的施加均匀性的液滴可形成于基板上。
[0072]
尽管已在实施例的详细描述中描述了本发明的优选实施例,但可在不脱离由所附权利要求定义的本发明的范围和精神的情况下对其作出各种变化和修改。因此,本发明的范围不受本发明的详细描述定义,但受所附权利要求定义,且范围内的所有差异将被解释为包含于本发明中。
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