一种半导体制程废气的燃烧处理设备的制作方法

本发明涉及半导体技术领域，具体地说是一种半导体制程废气的燃烧处理设备。

背景技术：

现有的大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联，可见半导体的重要性是非常巨大的，半导体在制作过程中会产生废气，产生的废气存在一定危害，并且会造成环境污染，故需要对半导体制程废气进行处理。

现有的半导体制程废气燃烧处理装置通过在燃烧箱内设立陶瓷传热板，对干燥后的废气进行预热来助燃，但是现有技术不够完善，废气是集中在一个腔内经陶瓷传热板下部起到预热的作用来对废气进行预热，预热时间长，且在废气预热后，预热废气是堆积一处导入燃烧仓内，会致使废气燃烧不均匀，同时还会增加燃烧时间长。

技术实现要素：

本发明的主要目的在于克服现有技术的不足，提供一种半导体制程废气的燃烧处理设备。

本发明采用如下技术方案来实现：一种半导体制程废气的燃烧处理设备，其结构包括有风机、进气管、喷淋除尘装置、一号输气管、酸碱中和装置、二号输气管、干燥装置、燃烧装置，所述喷淋除尘装置的顶部安装有风机，所述喷淋除尘装置的一侧设有底部进气管，所述风机通过一号输气管与酸碱中和装置连接，所述酸碱中和装置通过二号输气管与干燥装置连接，所述干燥装置连通于燃烧装置。

所述燃烧装置包括有进气管、预热装置、联通管、废气搅拌装置、机体、燃烧仓、排气管，所述机体的一侧底部安装有进气管，另一侧顶部连接有排气管，所述机体的内底部设有预热装置，所述预热装置与进气管相连通，所述预热装置通过联通管与废气搅拌装置连接，所述废气搅拌装置位于预热装置的上方且与机体连接，所述机体内设有燃烧仓，所述进气管连通于干燥装置。

作为本发明内容的进一步优化，所述预热装置包括有进气口、保温管、预热机构、转轴、预热腔、出气口，所述保温管一端设有进气口，另一端设有出气口，所述保温管设有与之轴心共线的转轴，所述转轴上均布有四个呈等距式设置的预热机构，相邻两个所述预热机构间形成预热腔，首个所述预热机构与进气口也形成预热腔，所述预热腔设有四个且与预热机构为相间设置，所述保温管与机体固定连接，所述出气口与联通管相连，所述进气口与进气管相接。

作为本发明内容的进一步优化，所述预热机构包括有预热组、圆板，所述预热组的一侧贴合接触有圆板，所述圆板与转轴连接，所述预热组连接于机体且预热组与转轴活动配合。

作为本发明内容的进一步优化，所述预热组包括有中心孔、散气孔、陶瓷板、加热管、活动槽，所述陶瓷板设有与之为同心圆结构的中心孔，所述陶瓷板还设有活动槽，所述陶瓷板内设有加热管，所述加热管呈型曲折环绕设置，所述陶瓷板上还开设有放射状布设的散气孔，所述散气孔与加热管的管体相间布设，所述活动槽与转轴活动配合，所述陶瓷板呈圆形结构设置且圆周壁与保温管固定连接，所述陶瓷板远离进气口的一侧与圆板贴合接触。

作为本发明内容的进一步优化，所述圆板包括有板体、长条开口、安装套，所述板体的中心位置设有安装套，所述板体上均布有长条开口，所述板体的表面为光滑面，所述板体的光滑面与陶瓷板贴合接触，所述安装套与转轴过渡配合，所述长条开口的口径略大于散气孔的口径，所述板体与保温管采用间隙配合。

作为本发明内容的进一步优化，所述废气搅拌装置包括有散气网、搅拌板、底孔、中心轴、搅拌通道、中空管，所述中空管的顶部连接有弧形状的散气网，所述中空管内部设有与之轴心共线的中心轴，所述中心轴上固定有六个呈等距式设置的搅拌板，所述搅拌板上并排设置有搅拌通道，所述搅拌通道设有六道及以上，所述散气网朝向燃烧仓，所述底孔通过联通管与出气口无缝连通，所述中空管两末端连接于机体。

有益效果

与现有技术相比，本发明提供了一种半导体制程废气的燃烧处理设备，具备以下有益效果：

通过驱动外电机驱动转轴旋转，从而转轴通过安装套带动板体自转，而活动槽的设置使得转轴旋转不会带动陶瓷板旋转，从而以陶瓷板为静，以圆板为动，即以散气孔为静，以长条开口为动，当长条开口与散气孔相通时，则预热废气能从散气孔导出进入下一个预热腔进行预热，对废气进行多次预热，直至预热废气从出气口排出，通过联通管经底孔进入中空管内，而中心轴在外机械力的作用下旋转，而带动搅拌板旋转，而搅拌板上的搅拌通道能对预热废气进行充分的、均匀的搅拌，搅拌后的预热废气经散气网均匀散开到燃烧仓内进行充分燃烧。

综上所述，与现有技术相比，本发明通过进气管、预热装置、联通管、废气搅拌装置、机体、燃烧仓、排气管的结合设置，通过预热装置能对干燥后的废气一分为四进行层层快速预热处理，有助于减少预热时间，通过废气搅拌装置能对充分预热后的废气能进行充分搅拌，再均匀散开到燃烧仓，有助于预热废气充分燃烧，避免堆积一处进行燃烧，同时搅拌会产热，能够进一步对预热废气进行加热，进一步促进预热废气燃烧，减少燃烧时间。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本发明一种半导体制程废气的燃烧处理设备的结构示意图。

图2为本发明的喷淋除尘装置的内部结构示意图。

图3为本发明的预热装置的一种剖面结构示意图。

图4为本发明的预热组的剖面结构示意图。

图5为本发明的预热机构的第一种工作状态的结构示意图。

图6为本发明的预热机构的第二种工作状态的结构示意图。

图7为本发明的废气搅拌装置的一种剖面结构示意图。

图中，部件名称与附图编号的对应关系为：

风机1、进气管2、喷淋除尘装置3、一号输气管4、酸碱中和装置5、二号输气管6、干燥装置7、燃烧装置8、进气管801、预热装置802、联通管803、废气搅拌装置804、机体805、燃烧仓806、排气管807、进气口q1、保温管q2、预热机构q3、转轴q4、预热腔q5、出气口q6、预热组q31、圆板q32、中心孔qw1、散气孔qw2、陶瓷板qw3、加热管qw4、活动槽qw5、板体qv1、长条开口qv2、安装套qv3、散气网p1、搅拌板p2、底孔p3、中心轴p4、搅拌通道p5、中空管p6。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

请参阅图1-6，本发明提供一种半导体制程废气的燃烧处理设备的技术方案：其结构包括有风机1、进气管2、喷淋除尘装置3、一号输气管4、酸碱中和装置5、二号输气管6、干燥装置7、燃烧装置8，所述喷淋除尘装置3的顶部安装有风机1，所述喷淋除尘装置3的一侧设有底部进气管2，所述风机1通过一号输气管4与酸碱中和装置5连接，所述酸碱中和装置5通过二号输气管6与干燥装置7连接，所述干燥装置7连通于燃烧装置8。

所述燃烧装置8包括有进气管801、预热装置802、联通管803、废气搅拌装置804、机体805、燃烧仓806、排气管807，所述机体805的一侧底部安装有进气管801，另一侧顶部连接有排气管807，所述机体805的内底部设有预热装置802，所述预热装置802与进气管801相连通，所述预热装置802通过联通管803与废气搅拌装置804连接，所述废气搅拌装置804位于预热装置802的上方且与机体805连接，所述机体805内设有燃烧仓806，所述进气管801连通于干燥装置7。

所述预热装置802包括有进气口q1、保温管q2、预热机构q3、转轴q4、预热腔q5、出气口q6，所述保温管q2一端设有进气口q1，另一端设有出气口q6，所述保温管q2设有与之轴心共线的转轴q4，所述转轴q4上均布有四个呈等距式设置的预热机构q3，相邻两个所述预热机构q3间形成预热腔q5，首个所述预热机构q3与进气口q1也形成预热腔q5，所述预热腔q5设有四个且与预热机构q3为相间设置，所述保温管q2与机体805固定连接，所述出气口q6与联通管803相连，所述进气口q1与进气管801相接。

上述保温管q2的设置具有保温效果，能够降低热量的流失，利于废气的预热。

所述预热机构q3包括有预热组q31、圆板q32，所述预热组q31的一侧贴合接触有圆板q32，所述圆板q32与转轴q4连接，所述预热组q31连接于机体805且预热组q31与转轴q4活动配合。

所述预热组q31包括有中心孔qw1、散气孔qw2、陶瓷板qw3、加热管qw4、活动槽qw5，所述陶瓷板qw3设有与之为同心圆结构的中心孔qw1，所述陶瓷板qw3还设有活动槽qw5，所述陶瓷板qw3内设有加热管qw4，所述加热管qw4呈s型曲折环绕设置，所述陶瓷板qw3上还开设有放射状布设的散气孔qw2，所述散气孔qw2与加热管qw4的管体相间布设，所述活动槽qw5与转轴q4活动配合，所述陶瓷板qw3呈圆形结构设置且圆周壁与保温管q2固定连接，所述陶瓷板qw3远离进气口q1的一侧与圆板q32贴合接触。

所述圆板q32包括有板体qv1、长条开口qv2、安装套qv3，所述板体qv1的中心位置设有安装套qv3，所述板体qv1上均布有长条开口qv2，所述板体qv1的表面为光滑面，所述板体qv1的光滑面与陶瓷板qw3贴合接触，所述安装套qv3与转轴q4过渡配合，所述长条开口qv2的口径略大于散气孔qw2的口径，所述板体qv1与保温管q2采用间隙配合。

上述活动槽qw5的设置使得转轴q4旋转不会带动陶瓷板qw3旋转，从而以陶瓷板qw3为静，以圆板q32为动，当长条开口qv2与散气孔qw2相通时，则预热废气能从散气孔qw2导出进入下一个预热腔q5进行预热，对废气进行多次预热。

上述安装套qv3的设置使得转轴q4能带动圆板q32旋转，使长条开口qv2能与散气孔qw2相通，继续旋转，板体qv1能挡住散气孔qw2，从而预热组q31能对废气进行预热。

实施例2

请参阅图1-7，本发明提供一种半导体制程废气的燃烧处理设备的技术方案：其结构包括有风机1、进气管2、喷淋除尘装置3、一号输气管4、酸碱中和装置5、二号输气管6、干燥装置7、燃烧装置8，所述喷淋除尘装置3的顶部安装有风机1，所述喷淋除尘装置3的一侧设有底部进气管2，所述风机1通过一号输气管4与酸碱中和装置5连接，所述酸碱中和装置5通过二号输气管6与干燥装置7连接，所述干燥装置7连通于燃烧装置8。

所述燃烧装置8包括有进气管801、预热装置802、联通管803、废气搅拌装置804、机体805、燃烧仓806、排气管807，所述机体805的一侧底部安装有进气管801，另一侧顶部连接有排气管807，所述机体805的内底部设有预热装置802，所述预热装置802与进气管801相连通，所述预热装置802通过联通管803与废气搅拌装置804连接，所述废气搅拌装置804位于预热装置802的上方且与机体805连接，所述机体805内设有燃烧仓806，所述进气管801连通于干燥装置7。

所述预热装置802包括有进气口q1、保温管q2、预热机构q3、转轴q4、预热腔q5、出气口q6，所述保温管q2一端设有进气口q1，另一端设有出气口q6，所述保温管q2设有与之轴心共线的转轴q4，所述转轴q4上均布有四个呈等距式设置的预热机构q3，相邻两个所述预热机构q3间形成预热腔q5，首个所述预热机构q3与进气口q1也形成预热腔q5，所述预热腔q5设有四个且与预热机构q3为相间设置，所述保温管q2与机体805固定连接，所述出气口q6与联通管803相连，所述进气口q1与进气管801相接。

上述保温管q2的设置具有保温效果，能够降低热量的流失，利于废气的预热。

所述预热机构q3包括有预热组q31、圆板q32，所述预热组q31的一侧贴合接触有圆板q32，所述圆板q32与转轴q4连接，所述预热组q31连接于机体805且预热组q31与转轴q4活动配合。

所述预热组q31包括有中心孔qw1、散气孔qw2、陶瓷板qw3、加热管qw4、活动槽qw5，所述陶瓷板qw3设有与之为同心圆结构的中心孔qw1，所述陶瓷板qw3还设有活动槽qw5，所述陶瓷板qw3内设有加热管qw4，所述加热管qw4呈s型曲折环绕设置，所述陶瓷板qw3上还开设有放射状布设的散气孔qw2，所述散气孔qw2与加热管qw4的管体相间布设，所述活动槽qw5与转轴q4活动配合，所述陶瓷板qw3呈圆形结构设置且圆周壁与保温管q2固定连接，所述陶瓷板qw3远离进气口q1的一侧与圆板q32贴合接触。

所述圆板q32包括有板体qv1、长条开口qv2、安装套qv3，所述板体qv1的中心位置设有安装套qv3，所述板体qv1上均布有长条开口qv2，所述板体qv1的表面为光滑面，所述板体qv1的光滑面与陶瓷板qw3贴合接触，所述安装套qv3与转轴q4过渡配合，所述长条开口qv2的口径略大于散气孔qw2的口径，所述板体qv1与保温管q2采用间隙配合。

上述活动槽qw5的设置使得转轴q4旋转不会带动陶瓷板qw3旋转，从而以陶瓷板qw3为静，以圆板q32为动，当长条开口qv2与散气孔qw2相通时，则预热废气能从散气孔qw2导出进入下一个预热腔q5进行预热，对废气进行多次预热。

上述安装套qv3的设置使得转轴q4能带动圆板q32旋转，使长条开口qv2能与散气孔qw2相通，继续旋转，板体qv1能挡住散气孔qw2，从而预热组q31能对废气进行预热。

所述废气搅拌装置804包括有散气网p1、搅拌板p2、底孔p3、中心轴p4、搅拌通道p5、中空管p6，所述中空管p6的顶部连接有弧形状的散气网p1，所述中空管p6内部设有与之轴心共线的中心轴p4，所述中心轴p4上固定有六个呈等距式设置的搅拌板p2，所述搅拌板p2上并排设置有搅拌通道p5，所述搅拌通道p5设有六道及以上，所述散气网p1朝向燃烧仓806，所述底孔p3通过联通管803与出气口q6无缝连通，所述中空管p6两末端连接于机体805，搅拌板p2与搅拌通道p5的结合设置能够对预热的废气进行充分搅拌，而散气网p1能使预热废气得以均匀散开，有助于预热废气充分燃烧，避免堆积一处进行燃烧，同时搅拌会产热，能够进一步对预热废气进行加热，进一步促进预热废气燃烧。

本发明的工作原理：半导体制程产生的废气在风机1的作用下从进气管2进入喷淋除尘装置3内进入初级过滤除尘处理，除尘后的废气通过一号输气管4进入酸碱中和装置5进行酸碱中和，后通过二号输气管6进入干燥装置7内进行干燥处理，通过进气管801进入预热装置802内进行层层预热处理，预热处理后通过联通管803内进行充分搅拌，搅拌后得以均匀散开到燃烧仓806内进行燃烧处理；

通过驱动外电机驱动转轴q4旋转，从而转轴q4通过安装套qv3带动板体qv1自转，而活动槽qw5的设置使得转轴q4旋转不会带动陶瓷板qw3旋转，从而以陶瓷板qw3为静，以圆板q32为动，即以散气孔qw2为静，以长条开口qv2为动，当长条开口qv2与散气孔qw2相通时，则预热废气能从散气孔qw2导出进入下一个预热腔q5进行预热，对废气进行多次预热，直至预热废气从出气口q6排出，通过联通管803经底孔p3进入中空管p6内，而中心轴p4在外机械力的作用下旋转，而带动搅拌板p2旋转，而搅拌板p2上的搅拌通道p5能对预热废气进行充分的、均匀的搅拌，搅拌后的预热废气经散气网p1均匀散开到燃烧仓806内进行充分燃烧。

综上所述，本发明相对现有技术获得的技术进步是：本发明通过进气管、预热装置、联通管、废气搅拌装置、机体、燃烧仓、排气管的结合设置，通过预热装置能对干燥后的废气一分为四进行层层快速预热处理，有助于减少预热时间，通过废气搅拌装置能对充分预热后的废气能进行充分搅拌，再均匀散开到燃烧仓，有助于预热废气充分燃烧，避免堆积一处进行燃烧，同时搅拌会产热，能够进一步对预热废气进行加热，进一步促进预热废气燃烧，减少燃烧时间。

尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。