一种充气柜氦检设备水分处理装置的制作方法

1.本实用新型涉及氦气循环干燥，具体涉及一种充气柜氦检设备水分处理装置。


背景技术：

2.传统氦检设备的氦气回收系统中，氦气由于循环使用，使得其中水分含量不断增加，虽然氦气回收时具有过滤装置，但对水分的控制并不理想。在氦检时，带有大量水分的氦气充入充气柜中，使得充气柜内部存在水分超标的潜在危害。
3.然而，目前还没有一种能够有效去除氦气回收系统中氦气包含的水分的装置，导致充气柜内部仍然存在水分超标的潜在危害。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术所存在的上述缺点，本实用新型提供了一种充气柜氦检设备水分处理装置，能够有效克服现有技术所存在的不能有效去除氦气回收系统中氦气包含的水分、需要频繁更换干燥剂的缺陷。
6.(二)技术方案
7.为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：
8.一种充气柜氦检设备水分处理装置，包括氦气回收系统、真空箱、第一干燥筒、第二干燥筒和加热器，所述真空箱内部设有充气柜，所述第一干燥筒、第二干燥筒之间分别连通有第一连通管道、第二连通管道，所述氦气回收系统、第一连通管道之间连接有第一充气管道，所述第一连通管道上连接有活化出气管道，所述第二连通管道上连接有活化进气管道，所述氦气回收系统、充气柜之间连接有第一回收管道、进气出气管道，所述加热器、进气出气管道之间连接有第二充气管道，所述加热器、活化进气管道之间连接有活化连通管道，所述活化出气管道、第一回收管道之间连接有第二回收管道；
9.所述第一充气管道上设有第一阀门、第二阀门，所述第一连通管道上设有第三阀门、第四阀门，所述活化出气管道上设有第五阀门、第六阀门，所述第二连通管道上设有第七阀门、第八阀门，所述活化进气管道上设有第九阀门、第十阀门，所述第二充气管道上设有第十一阀门、第十二阀门，所述进气出气管道上设有第十三阀门，所述第一回收管道上设有第十四阀门、第十五阀门。
10.优选地，所述第一充气管道上设有第一过滤器，所述第二连通管道与第二充气管道之间设有第二过滤器。
11.优选地，所述第十一阀门为针阀。
12.优选地，所述加热器的加热范围为0
‑
120℃。
13.(三)有益效果
14.与现有技术相比，本实用新型所提供的一种充气柜氦检设备水分处理装置，可以直接连接到原有的氦检设备中，使用起来非常方便；通过第一干燥筒、第二干燥筒轮流工
作，能够在去除循环氦气中包含水分的同时，对干燥剂进行有效活化，延长干燥剂的使用时间，避免频繁更换干燥剂；对干燥剂进行活化的活化气体可以直接回收，氦气损耗较小。
附图说明
15.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
16.图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
17.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.一种充气柜氦检设备水分处理装置，如图1所示，包括氦气回收系统、真空箱、第一干燥筒c1、第二干燥筒c2和加热器m1，真空箱内部设有充气柜，第一干燥筒c1、第二干燥筒c2之间分别连通有第一连通管道2、第二连通管道3，氦气回收系统、第一连通管道2之间连接有第一充气管道1，第一连通管道2上连接有活化出气管道5，第二连通管道3上连接有活化进气管道4，氦气回收系统、充气柜之间连接有第一回收管道7、进气出气管道8，加热器m1、进气出气管道8 之间连接有第二充气管道10，加热器m1、活化进气管道4之间连接有活化连通管道9，活化出气管道5、第一回收管道7之间连接有第二回收管道6；
19.第一充气管道1上设有第一阀门v1、第二阀门v2，第一连通管道2上设有第三阀门v3、第四阀门v4，活化出气管道5上设有第五阀门v5、第六阀门v6，第二连通管道3上设有第七阀门v7、第八阀门v8，活化进气管道4上设有第九阀门v9、第十阀门v10，第二充气管道10上设有第十一阀门v11、第十二阀门v12，进气出气管道8 上设有第十三阀门v13，第一回收管道7上设有第十四阀门v14、第十五阀门v15。
20.第一充气管道1上设有第一过滤器l1，第二连通管道3与第二充气管道10之间设有第二过滤器l2。
21.第十一阀门v11为针阀。
22.加热器m1的加热范围为0
‑
120℃。
23.由于氦检后，将自动对氦检合格工件进行充sf6气体，所以本技术技术方案可以直接通过球阀接入氦检设备，对循环使用的氦气进行干燥处理，消除氦检过程中充气柜内部的水分污染。
24.将氦检设备的氦气回收系统与充气柜之间的各管路连接安装好，当氦检设备进行充氦时，打开第一阀门v1、第二阀门v2，氦气通过第一过滤器l1流入第一连通管道2。
25.当干燥筒c1进行氦气干燥工作时，干燥筒c2则进行干燥剂的活化工作，反之亦然。下面以干燥筒c1进行氦气干燥工作，干燥筒c2 进行干燥剂的活化工作为例，简述本技术技
术方案的工作过程(气体流动方向如说明书附图1中标注的箭头方向)：
26.打开第三阀门v3、第七阀门v7、第十二阀门v12、第十阀门v10、第六阀门v6，氦气流入干燥筒c1进行干燥处理，干燥后的氦气通过第七阀门v7、第二过滤器l2分为两路，一路通过第十二阀门v12、第十三阀门v13流入充气柜；另一路则通过第十一阀门v11进入加热器m1进行加热后，变成热的干燥气体用于干燥筒c2中干燥剂的的活化，活化气体通过第十阀门v10进入干燥筒c2，对干燥剂进行加热活化处理，然后经过第六阀门v6、第十五阀门v15到达第一回收管道7 进行回收。
27.当氦气回收系统进行充气柜内部氦气的回收时，关闭第十二阀门 v12，同时打开第十四阀门v14，氦气通过进气出气管道8、第一回收管道7直接流入氦气回收系统。
28.本技术技术方案中，第十三阀门v13、第十一阀门v11、第十五阀门v15处于常开状态。可以设定时间间隔来切换干燥筒c1、干燥筒 c2交替进行氦气干燥工作，一个干燥筒进行氦气干燥工作时，另一个干燥筒进行干燥剂的活化工作，通过开启或关闭对应的阀门即可实现干燥筒工作状态的切换。
29.以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不会使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。