技术特征：
1.一种喷头，其特征在于，包括：第一管部，具有第一流道；第二管部，具有沿其轴向相对的第一端以及第二端，以及贯穿所述第一端和所述第二端的第二流道，所述第一端与所述第一管部连接且使所述第一流道和所述第二流道连通，所述第二流道的内径自所述第一端向所述第二端逐渐变大；以及阀门，设置于所述第一管部，所述阀门用于控制所述第一流道的通断以及调节经所述第一流道流出的流体的流量。2.根据权利要求1所述的喷头，其特征在于，所述阀门包括阀体以及与所述阀体连接的拨动杆，所述阀体可旋转地安装于所述第一流道内，所述阀体可选择性的密封所述第一管部，所述第一管部设置有侧向开口，所述拨动杆可转动地穿过所述侧向开口以伸出所述第一管部，所述拨动杆与所述侧向开口密封连接。3.根据权利要求2所述的喷头，其特征在于，所述阀体呈扁平状。4.根据权利要求2所述的喷头，其特征在于，所述拨动杆的延伸方向与所述第一管部的轴向互相垂直。5.一种水膜喷淋组件，其特征在于，包括：储液件，具有储液腔、与所述储液腔连通的进液口以及多个出液口；以及与所述出液口一一对应的如权利要求1-4任意一项所述的喷头，所述第一管部远离所述第二管部的一端与所述储液件连接，所述第一流道与所述出液口连通。6.根据权利要求5所述的水膜喷淋组件，其特征在于，所述储液件为呈长条形，多个所述喷头沿所述储液件的长度方向间隔布置于所述储液件。7.根据权利要求5或6所述的水膜喷淋组件，其特征在于，所述第二端与所述储液件之间的距离可调。8.根据权利要求7所述的水膜喷淋组件，其特征在于，所述水膜喷淋组件还包括连接管，所述连接管的一端与所述储液件可拆卸连接，另一端与所述第一管部连接。9.根据权利要求8所述的水膜喷淋组件，其特征在于，所述连接管与所述喷头螺纹连接。10.一种刻蚀系统，其特征在于，包括：刻蚀机构，具有用于承载硅片的承载面；以及如权利要求5-9任意一项所述的水膜喷淋组件，位于所述刻蚀机构的上方，所述第二端朝向所述承载面。
技术总结
本申请提供一种喷头、水膜喷淋组件及刻蚀系统，涉及太阳电池制造领域。喷头包括第一管部、第二管部以及阀门。第一管部具有第一流道；第二管部具有沿其轴向相对的第一端以及第二端，以及贯穿第一端和第二端的第二流道，第一端与第一管部连接且使第一流道和第二流道连通，第二流道的内径自第一端向第二端逐渐变大；阀门设置于第一管部，阀门用于控制第一流道的通断以及调节经第一流道流出的流体的流量。利用喷头结构的改进，可改善易堵塞的问题，当其引入水膜喷淋组件中并应用于太阳电池的刻蚀工序时，其不仅能够提高产品良率，而且能够适应多种尺寸的硅片加工，有效降低生产成本以及提高太阳电池的发电效率。以及提高太阳电池的发电效率。以及提高太阳电池的发电效率。
技术研发人员：姜博 吴胜勇 张玉前 王士贵 姚俊
受保护的技术使用者：通威太阳能(成都)有限公司
技术研发日：2022.09.07
技术公布日：2023/2/3