处理系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及向面板涂敷液膜体的处理系统。
【背景技术】
[0002]作为电视机、个人计算机、便携终端等的显示器，已知将液晶显示面板等图像显示面板和罩面板粘接地粘合了的显示器(例如，专利文献I)。作为将这些面板粘合的粘接剂，已知使用光硬化树脂(OCR)。在将光硬化树脂涂敷在罩面板表面上后，将罩面板和图像显示面板粘合。此后，透过罩面板向光硬化树脂照射紫外线，光硬化树脂硬化。
[0003]在采用此粘接方式的情况下，需要向罩面板涂敷光硬化树脂的装置。作为此种装置，例如，已知由在配置在工作台上的面板上移动的涂敷装置涂敷液体的装置。
[0004]在先技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1:日本特开2009-25833号公报
【发明内容】
[0007]发明所要解决的课题
[0008]但是，在面板上移动的涂敷装置在涂敷动作中，工作台被一个面板占有，连续地处理多个面板是困难的。因此，作业效率低下。特别是，因为光硬化树脂粘度高，涂敷花费时间，所以作业效率低下。
[0009]本发明的目的是使涂敷作业的作业效率提高，可对应多尺寸的面板。
[0010]为了解决课题的手段
[0011]根据本发明，提供一种处理系统，其特征在于，具备:具备向面板的表面涂敷液体的开口部的涂敷装置；将前述面板与前述涂敷装置的前述开口部面临地运送的运送装置；和在前述面板的运送方向的从与前述涂敷装置相比为上游侧的面板运入区域遍及到与前述涂敷装置相比为下游侧的面板运出区域地延伸设置，以非接触方式支承前述面板的多个上浮单元，前述涂敷装置相对于前述运送方向固定地设置，前述多个上浮单元在与前述运送方向正交的方向离开地设置，前述运送装置具备:被设置在前述多个上浮单元之间，吸附前述面板的下面的多个吸附单元；和与前述多个吸附单元连接地设置，使各吸附单元独立地在前述运送方向往复移动的驱动单元。
[0012]另外，根据本发明，提供一种处理系统，所述处理系统具备:
[0013]可进行被供给的面板的交接，面板被运入的面板运入区域；向面板表面涂敷液体形成液膜的涂敷区域；和运出形成了液膜的面板，可进行面板的交接的面板运出区域，其特征在于，具备:被设置在前述涂敷区域的上方，具备向前述面板的表面涂敷液体的开口部的涂敷装置；从前述面板运入区域遍及到前述面板运出区域地在面板运送方向延伸设置，以非接触方式支承前述面板的多个上浮单元；和在前述多个上浮单元之间，从前述面板运入区域遍及到前述面板运出区域地延伸设置，可吸附前述面板，在从前述面板运入区域经前述涂敷区域到达前述面板运出区域的面板运送方向往复移动的运送装置。
[0014]发明效果
[0015]根据本发明，能够提高涂敷作业的作业效率。另外，能够对应于多尺寸的面板。
【附图说明】
[0016]图1是有关本发明的一实施方式的处理系统的俯视图。
[0017]图2是图1的处理系统的箭头II方向向视图。
[0018]图3是沿着图2的II1-1II线的剖视图。
[0019]图4是控制装置的框图。
[0020]图5是图1的处理系统的动作说明图。
[0021]图6是图1的处理系统的动作说明图。
[0022]图7是图1的处理系统的动作说明图。
[0023]图8是图1的处理系统的动作说明图。
[0024]图9是图1的处理系统的动作说明图。
[0025]图10是图1的处理系统的动作说明图。
[0026]图11是图1的处理系统的动作说明图。
[0027]图12的(A)及⑶是其它例的说明图。
[0028]图13是其它例的说明图。
【具体实施方式】
[0029]为了实施发明的方式
[0030]下面，参照附图，对本发明的实施方式进行说明。在各图中，箭头X及Y表示相互正交的水平方向，箭头Z表示上下方向。
[0031]〈第一实施方式〉
[0032]<系统的概要>
[0033]图1是有关本发明的一实施方式的处理系统A的俯视图，图2是处理系统A的箭头II方向向视图，图3是沿着图2的II1-1II线的剖视图。
[0034]处理系统A是一面将面板(基板)在Y方向进行空气上浮运送一面在面板表面上形成涂膜的系统。在系统的布局上，处理系统A具备面板运入区域R1、处理区域R2，即涂敷区域R21和面板运出区域R3。另外，处理系统A也可以与需要相应地具备使形成的涂膜半硬化的半硬化装置8。在此情况下，在涂敷区域R21的下游侧设置半硬化区域R22，由涂敷区域R21和半硬化区域R22构成处理区域R2。
[0035]向面板运入区域Rl供给成为处理对象的面板。这里，与供给源的装置进行面板的交接，将面板运入。在涂敷区域R21中，向面板表面涂敷液体，形成液膜。在面板运出区域R3中，将形成完液膜的面板向供给目的地的装置交接，将面板从处理系统A运出。
[0036]处理系统A具备多个上浮单元IA及IB (在统称时，称为上浮单元I)、运送装置2、升降单元3、调整单元4及5、涂敷装置6和升降装置7。涂敷装置6被设置在涂敷区域R21上，若在面板的运送方向(Y方向)看，则面板运入区域Rl与涂敷装置6相比位于上游侧，面板运出区域R3位于下游侧。
[0037]<上浮单元>
[0038]上浮单元I以非接触方式支承面板。在本实施方式的情况下，上浮单元I是空气工作台，具备水平的上面10。在上面10上形成了多个空气孔12。空气孔12经上浮单元I内部的通路与未图示的空气装置连通。空气装置是以泵为代表的空气供给装置或空气吸引
>j-U ρ?α装直。
[0039]通过从空气孔12喷出空气，能够以浮游状态支承面板。另外，即使通过从一部分空气孔12喷出空气，从其它的一部分空气孔吸引空气，也能够以浮游状态支承面板。这些方式也可以根据区域分别使用。例如，在面板运入区域Rl及面板运出区域R3中，仅通过从空气孔12喷出空气来支承面板，做成通常的空气上浮载物台。另一方面，在涂敷区域R21中，通过从一部分空气孔12喷出空气，并且从其它的一部分空气孔吸引空气这样的例如伯努利吸盘方式支承面板，做成精密空气上浮载物台。这里说的精密空气上浮载物台，是指可以以±5?30μπι的精度控制面板的上浮高度的载物台。另外，在设置半硬化区域R22的情况下，该区域也可以是通常的空气上浮载物台。
[0040]面板运入区域Rl及面板运出区域R3中的喷出空气的空气孔12的孔径，例如做成直径1.0?5.0mm左右。另一方面，涂敷区域R21中的吸引空气的空气孔12的孔径，例如做成直径1.0?5.0mm左右。另外，涂敷区域R21中的喷出空气的空气孔12，例如做成被形成在由渗透性的多孔质体构成的上浮单元的内部的无数孔(平均直径为1.0?5.0 μ m)。
[0041]上浮单元I在作为面板的运送方向的Y方向延伸设置。更详细地说，从面板运入区域Rl遍及面板运出区域R3地延伸设置。因此，在处理系统A的全部区域中，可以以非接触方式支承面板。
[0042]上浮单元IA和上浮单元IB相互平行地延伸设置，且在X方向离开地配置。上浮单元IA和上浮单元IB的X方向的间隙，形成用于后述的吸附单元20A、20B移动的移动空间S。另外，在本实施方式的情况下，上浮单元I的数量可以是2个，但也可以是3个以上。
[0043]在上浮单元I的上面10上形成了槽11。在本实施方式的情况下，对I个上浮单元1，形成2个槽11。槽11成为后述的升降单元3的销30、调整单元5的抵接部50的退避空间。
[0044]<运送装置>
[0045]运送装置2，从面板运入区域Rl遍及面板运出区域R3地运送在上浮单元I上以浮游状态被支承的面板。运送装置2具备多个吸附单元20A及20B (在统称时，称为吸附单元20)。另外，运送装置2具备多个驱动单元21A及21B (在统称时，称为驱动单元21)。
[0046]在本实施方式的情况下，吸附单元20及驱动单元21分别是2个，但也可以是3个以上。驱动单元21与吸附单元20对应地设置。在本实施方式的情况下，驱动单元21A与吸附单元20A对应，驱动单元21B与吸附单元20B对应。
[0047]<吸附单元>
[0048