面板P前，进行后续的面板P的运入，能够提高涂敷作业的作业效率。由于面板P的运送一面由上浮单元I以非接触方式支承一面进行，所以也能够防止划伤面板P。
[0105]由于吸附单元20可遍及面板运入区域Rl?面板运出区域R3地移动，所以能够由I个运送线进行从面板的运入到面板的处理及面板的运出。在从面板的运入到运出的期间，也可以将吸附单元20不用停止地移动，将面板P不用停止地运送。
[0106]由于吸附单元20吸附面板P的下面，所以不论吸附的面板P的尺寸如何都能够保持，可以与多尺寸的面板对应。特别是，在本实施方式中，因为移动空间S被形成在上浮单元IA和上浮单元IB之间，所以吸附单元20位于上浮单元IA和上浮单元IB的整体的X方向的中央部。因此，面板P的吸附位置成为面板P的宽度方向(X方向)的中央部附近。因为不论面板P的尺寸如何，面板P的中央位置都总是一定，所以通过使此中央位置成为面板P的吸附位置，面板P的尺寸变化或不改变均能够进行处理。
[0107]另外，在运送大的尺寸的面板P的情况下，也可以使用吸附单元20A和吸附单元20B的双方，同步地控制它们。吸附保持力成为2倍，可进行更稳定的运送。
[0108]〈第二实施方式〉
[0109]在第一实施方式中，将移动空间S做成I列，但也可以做成2列以上。图12㈧及(B)表不其一例。
[0110]在图12⑷的例中，将3台上浮单元IA?IC在X方向离开地配置。在上浮单元IA和上浮单元IB之间形成了移动空间SI，在上浮单元IB和上浮单元IC之间形成了移动空间S2。在移动空间SI中配置了吸附单元20A，在移动空间S2中配置了吸附单元20B。
[0111]在图12⑶的例中，将4台上浮单元IA?ID在X方向离开地配置。在上浮单元IA和上浮单元IB之间形成了移动空间SI，在上浮单元IB和上浮单元IC之间形成了移动空间S2。在上浮单元IC和上浮单元ID之间形成了移动空间S3。
[0112]吸附单元20设置了 4台。吸附单元20A被配置在移动空间SI中。吸附单元20B和吸附单元20C被配置在移动空间S2中。吸附单元20D被配置在移动空间S3中。在各吸附单元20A?20D上分别设置了驱动单元21，其可相互独立地移动。关于I片面板P的运送，可以使用I个吸附单元20,也可以使用2个以上。
[0113]〈第三实施方式〉
[0114]为了形成良好的液膜，最好进行调整，以便剩余的液体不附着在喷嘴60的开口部，另外，开口部中的液体的附着状态变得均匀。另外，存在如下的情况:若来自半硬化装置8的光源80的光到达涂敷装置6的开口部，则开口部近旁的液体硬化。由此，最好涂敷装置6和半硬化装置8之间被遮光。图13表示设置了进行这些的辅助单元100的例。
[0115]辅助单元100被配置在涂敷装置6和半硬化装置8之间，是可在一对在Y方向延伸的轨道I1上如由箭头dl所示的那样在Y方向自行的门型的单元。辅助单元100具备摩擦接触机构101和挡板102的升降机构。摩擦接触机构101使衬垫1la在X方向往复移动。挡板102是用于对涂敷装置6和半硬化装置8之间进行遮光的部件。在挡板102下降时，其下端与上浮单元I的上面10相比向下降低，对涂敷装置6和半硬化装置8之间进行遮光。在上升时，其下端从上浮单元I的上面10离开，允许面板P通过。在本实施方式中，以摩擦接触机构101和挡板102的升降机构一体地设置的情况为例进行了说明，但它们当然也可以个别地设置。
[0116]对辅助单元100的动作进行说明。辅助单元100在涂敷装置6如由图9的状态ST31所示的那样下降前，进行开口部中的液体附着状态的调整。首先，向处于上升位置的涂敷装置6侧移动，使衬垫1la与开口部的X方向一端接触。接着，将衬垫1la在X方向移动，一直移动到开口部的X方向另一端。由此，附着在开口部的剩余的液体由衬垫1la擦掉，且成为均匀的液体附着状态。此后，辅助单元100向从涂敷装置6离开的方向移动，开始由涂敷装置6进行的涂敷作业。
[0117]若液体相对于面板P的涂敷结束，则面板P向半硬化装置8运送。辅助单元100，若面板P通过挡板102的下方，则使挡板102下降，进行遮光。此后，半硬化装置8的光源80被驱动，照射紫外线。由于挡板102的存在，将涂敷装置6从紫外线遮光。若面板P通过半硬化装置8，光源80的驱动停止，则挡板102上升。
【主权项】
1.一种处理系统，其特征在于，具备: 具备向面板的表面涂敷液体的开口部的涂敷装置； 将前述面板与前述涂敷装置的前述开口部面临地运送的运送装置；和在前述面板的运送方向的从与前述涂敷装置相比为上游侧的面板运入区域遍及到与前述涂敷装置相比为下游侧的面板运出区域地延伸设置，以非接触方式支承前述面板的多个上浮单元， 前述涂敷装置相对于前述运送方向固定地设置， 前述多个上浮单元在与前述运送方向正交的方向离开地设置， 前述运送装置具备: 被设置在前述多个上浮单元之间，吸附前述面板的下面的多个吸附单元；和与前述多个吸附单元连接地设置，使各吸附单元独立地在前述运送方向往复移动的驱动单元。
2.如权利要求1所述的处理系统，其特征在于，还具备: 使前述涂敷装置相对于前述面板升降的升降装置；和 控制前述涂敷装置、前述运送装置、前述多个上浮单元及前述升降装置的驱动的控制装置， 前述涂敷装置是作为前述开口部具备在与前述运送方向正交的方向延伸的狭缝喷嘴的涂敷装置。
3.如权利要求1所述的处理系统，其特征在于， 前述吸附单元具备: 具备可吸附在前述面板上的吸附部的主体部；和 被设置在前述主体部的上部，可与前述面板的运送方向上游侧端缘抵接的抵接部， 前述驱动单元具备可独立地升降前述多个吸附单元的升降机构。
4.如权利要求1所述的处理系统，其特征在于， 具备在前述面板运入区域中对前述面板的在前述运送方向及与前述运送方向正交的方向的姿势进行调整的调整单元。
5.如权利要求1所述的处理系统，其特征在于， 具备:被设置在前述面板运入区域中，进行前述面板的交接的第一升降单元；和 被设置在前述面板运出区域中，进行前述面板的交接的第二升降单元， 前述第一及第二升降单元分别具备: 支承前述面板的多个销；和 在前述多个销的前端与前述上浮单元相比向上方突出的上升位置和前述多个销的前端与前述上浮单元的上面相比位于下方的下降位置之间升降的升降机构。
6.如权利要求1所述的处理系统，其特征在于， 还具备与前述涂敷装置相比被配置在前述运送方向的下游侧，将被涂敷在前述面板表面上的液体的膜形成为半硬化液膜的半硬化装置。
7.—种处理系统,所述处理系统具备: 可进行被供给的面板的交接，面板被运入的面板运入区域； 向面板表面涂敷液体形成液膜的涂敷区域；和 运出形成了液膜的面板，可进行面板的交接的面板运出区域， 其特征在于，具备: 被设置在前述涂敷区域的上方，具备向前述面板的表面涂敷液体的开口部的涂敷装置； 从前述面板运入区域遍及到前述面板运出区域地在面板运送方向延伸设置，以非接触方式支承前述面板的多个上浮单元；和 在前述多个上浮单元之间，从前述面板运入区域遍及到前述面板运出区域地延伸设置，可吸附前述面板，在从前述面板运入区域经前述涂敷区域到达前述面板运出区域的面板运送方向往复移动的运送装置。
【专利摘要】一种处理系统，能够使涂敷作业的作业效率提高，对应于多尺寸的面板。本发明的处理系统具备：具备向面板的表面涂敷液体的开口部的涂敷装置；将前述面板与前述涂敷装置的前述开口部面临地运送的运送装置；和在前述面板的运送方向的从与前述涂敷装置相比为上游侧的面板运入区域遍及到与前述涂敷装置相比为下游侧的面板运出区域地延伸设置，以非接触方式支承前述面板的多个上浮单元，前述涂敷装置相对于前述运送方向固定地设置，前述多个上浮单元在与前述运送方向正交的方向离开地设置，前述运送装置具备：被设置在前述多个上浮单元之间，吸附前述面板的下面的多个吸附单元；和与前述多个吸附单元连接地设置，使各吸附单元独立地在前述运送方向往复移动的驱动单元。
【IPC分类】B05C5-02, B05C13-02
【公开号】CN104549896
【申请号】CN201410533052
【发明人】藤原五男, 高本德男, 永田义寿, 中川优志, 早野一臣
【申请人】平田机工株式会社
【公开日】2015年4月29日
【申请日】2014年10月11日