]吸附单元20被配置在上浮单元I之间的移动空间S中。在本实施方式的情况下，吸附单元20A及20B在X方向并列地配置。吸附单元20具备大致长方体形状的主体部201和抵接部202。主体部201具备可吸附在面板的下面上的吸附部201a。
[0049]吸附部201a呈水平面，在其中央部形成了吸引孔vh。吸引孔vh的数量在图1中仅图示了 I个，但也可以设置多个。吸引孔vh经主体部201内部的通路与未图示的空气装置连通。空气装置是以泵为代表的空气吸引装置。通过从吸引孔Vh吸引空气，可以吸附保持面板。
[0050]抵接部202可以与面板的端缘抵接。在本实施方式的情况下，抵接部202是经支承轴旋转自由地设置在主体部201的上部的辊。抵接部202，主要在当运入面板运时调整面板的姿势时，与面板端缘(上游侧的端缘)抵接。吸附部201a的Z方向的位置，被设定在从抵接部202的Z方向下端到上端为止的范围内。因此，吸附部201a，与抵接部202的直立设置了支承轴的部位相比，位于高一段的位置。
[0051]〈驱动单元〉
[0052]驱动单元21连接设置在吸附单元20上，在Y方向往复移动。如已叙述的那样，由于各驱动单元21与各吸附单元20对应地设置，所以各吸附单元20可以独立地移动。
[0053]驱动单元21具备滑块211、轨道212、皮带传动机构213和升降机构214。
[0054]轨道212，在移动空间S的下方，在Y方向呈直线性地延伸设置。轨道212规定吸附单元20的移动轨迹。滑块211与轨道212卡合，被轨道212引导，可在Y方向移动。
[0055]升降机构214被搭载在滑块211上。升降机构214，作为其驱动源，例如包括空气缸、电动缸、电磁螺线管等动作执行器。吸附单元20的主体部201被搭载在升降机构214上，由升降机构214升降。升降机构214被设置在各驱动单兀20上，吸附单兀20A、20B分别可独立地升降。
[0056]吸附单元20，在吸附部201a与上浮单元I的上面10相比位于上方的吸附位置和吸附单元20整体与上面10相比位于下方的退避位置之间升降。吸附位置是使吸附部201a吸附保持在面板上的位置，吸附部201a与上面10相比略微位于上方。图2及图3表示吸附单元20处于退避位置的情况。抵接部202位于吸附单元20的最上部，但在处于退避位置的情况下，抵接部202与上面10相比位于下方。
[0057]皮带传动机构213具备马达2130、驱动皮带轮2131、从动皮带轮2132、环形皮带2133和连接部件2134。
[0058]马达2130是皮带传动机构213的驱动源，对驱动皮带轮2131进行旋转驱动。驱动皮带轮2131安装在马达213的输出轴上，以X方向为旋转轴方向旋转。从动皮带轮2132以X方向为旋转轴方向旋转自由地被支承。驱动皮带轮2131和从动皮带轮2132在Y方向离开地配置，区域Rl?R3位于驱动皮带轮2131和从动皮带轮2132之间。环形皮带2133被卷绕在驱动皮带轮2131和从动皮带轮2132上。环形皮带2133，通过驱动皮带轮2121的旋转，循环地行走。环形皮带2133的直线部分在Y方向延伸。
[0059]连接部件2134连接环形皮带2133和滑块211。通过使环形皮带2133行走，移动力经连接部件2134作用于滑块211。由此，能够在Y方向移动吸附单元20。而且，若切换马达213的输出轴的旋转方向，则环形皮带2133的行走方向切换。因此，能够在Y方向往复移动吸附单元20。
[0060]在本实施方式中，作为使吸附单元20移动的机构，采用了皮带传动机构，但不限于此。例如，也可以采用滚珠丝杆机构等其它的机构。
[0061]〈升降单元〉
[0062]升降单元3是在外部的装置和处理系统A之间进行面板的交接的单元。在本实施方式的情况下，升降单元3合计设置了 4台。其中的2台在面板运入区域Rl中夹着移动空间S在X方向并列地配置，被相互同步地控制。其余的2台在面板运出区域R3中夹着移动空间S在X方向并列地配置，被相互同步地控制。
[0063]各升降单元3具备多个销30、支承部件31和升降机构32。多个销30被支承在支承部件31上，向上方向延伸。各销30被插入设置于上浮单元I的槽11上的上下方向的贯通孔中。多个销30，其长度相等，它们的前端(上端)位于同一平面上。
[0064]支承部件31位于上浮单元I的下方，销30的下端被固定。升降机构32，作为其驱动源，例如包括空气缸、电动缸、电磁螺线管等动作执行器，升降支承部件31。通过支承部件31的升降，销30也升降。销30，在其前端与上浮单元I的上面10相比突出到上方的上升位置和销30的前端与上浮单元I的上面10相比位于下方的下降位置之间升降。图2及图3表示销30处于下降位置的情况，销30的前端位于槽11内。
[0065]<调整单元>
[0066]调整单元4及5，在面板运入区域Rl中调整面板的姿势，进行其定位。调整单元4调整在X方向的面板的姿势，调整单元5调整在Y方向的面板的姿势。
[0067]调整单元4在面板运入区域Rl中设置了 2台，分别被配置成与上浮单元1A、1B邻接且夹入。调整单元4是具备底座部41、臂部42及43和抵接部44的水平多关节机器人，底座部41被支承在支承部件45上。
[0068]臂部42的一端转动自由地被支承在底座部41。臂部42的另一端和臂部43的一端相互转动自由地连接。在臂部43的另一端经支承轴旋转自由地设置了抵接部44。抵接部44可以与面板的端缘抵接，在本实施方式的情况下，是旋转自由设置在以Z方向为旋转轴方向的轴体的前端的辊。2台调整单元4的各抵接部44，位于在X方向延伸的同一直线上。
[0069]在底座部41和臂部42及43的内部，设置了使臂部42及43在X方向伸缩的驱动机构。抵接部44的下端被设定在与上浮单元I的上面10相比略微高的位置，抵接部44、44，通过臂部42及43的伸退，可在X方向从分别从上浮单元1A、1B向X方向外侧(在图2中为左右两侧)离开的退避位置向上浮单元1A、1B的上方的定位位置呈直线性地往复移动。通过2台调整单元4的各抵接部44与面板的相向的两端缘(在与面板运送方向正交的方向的两端缘)抵接，能够进行面板的X方向的姿势调整及定位。臂部42及43的进退量可变，可进行不同的尺寸的面板的姿势调整及定位。定位位置与面板的尺寸相应地设定。图1及图2表示抵接部44位于退避位置的情况。
[0070]调整单元5在面板运入区域Rl设置了 2台，其一方被配置在上浮单元IA上，另一方被配置在上浮单元IB上。调整单元5具备抵接部50、杆51和升降机构52。
[0071]抵接部50可以与面板的端缘(下游侧端缘)抵接，在本实施方式的情况下，是旋转自由地设置在以Z方向为旋转轴方向的杆51的前端的辊。2台调整单元5的各抵接部50位于在X方向延伸的同一直线上。
[0072]杆51在其上端旋转自由地支承抵接部50。杆51使其下端支承在升降机构52上，向上方向延伸。抵接部50及杆51被插入设置在上浮单元I的槽11上的上下方向的贯通孔中。
[0073]升降机构52被配置在上浮单元I的下方，使杆51升降。升降机构52，作为其驱动源，例如包括空气缸、电动缸、电磁螺线管等动作执行器，使抵接部50及杆51升降。抵接部50在与上浮单元I的上面10相比位于上方的定位位置和抵接部50退避到槽11内的退避位置之间升降。通过2台调整单元5的各抵接部50及吸附单元20的各抵接部202与面板的相向的两端缘(在面板运送方向的两端缘)抵接，能够进行面板的Y方向的姿势调整及定位。图3表示抵接部50及杆51处于退避位置的情况。抵接部50位于槽11内。
[0074]<涂敷装置>
[0075]涂敷装置6被设置在涂敷区域R21的上方，从面板的上方向面板表面排出液体进行涂敷，形成液膜。涂敷装置6从形成在喷嘴(狭缝喷嘴)60的底部的开口部向面板表面排出液体。在本实施方式的情况下，开口部是在X方向延伸的矩形开口，能够呈幕状地将液体连续地排出。通过一面运送面板一面排出液体，能够在面板表面上形成液膜。在本实施方式中，排出的液体设想为光硬化树脂(0CR)，但除此之外，也可以列举出具有液膜能滞留在面板上的程度的粘度的液体，例如，粘接剂、功能性膜体的原料树脂等。
[0076]<升降装置>
[0077]升降装置7设置了 2台，支承涂敷装置6的各端部，在喷