一种分离半导体碎硅片与导向条的方法

文档序号:5070425阅读:178来源:国知局
专利名称:一种分离半导体碎硅片与导向条的方法
技术领域
本发明属于半导体材料分选领域,具体地说,涉及一种分离半导体碎硅片与导向 条的方法。
背景技术
硅是一种重要的半导体材料,可广泛用于二极管、三极管、发光器件、压敏元件、太 阳能电池等元器件。但硅作为一种不可再生资源,其存储量有限,且原生多晶硅价格昂贵, 因此充分利用生产过程中的回收硅料显得很重要。在太阳能级多晶硅片制造过程中,硅棒切片时需要使用导向条,用于粘在硅棒的 一面,进行对线网切割。在切割完毕后形成与硅片同等厚度的导向条片,与碎硅片混合在一 起,目前实际生产都是用人工分选,生产效率非常低。

发明内容
本发明的目的就是克服以上缺陷而提供一种分离半导体碎硅片与导向条的方法, 用溶液来分离在太阳能级多晶硅片制造过程中产生的碎硅片与导向条,以能提高生产效 率,节约生产成本。本发明的目的是通过以下技术方案实现一种分离半导体碎硅片与导向条的方法,包括以下步骤(1)配制化合物水溶液,化合物水溶液为质量百分比为45% 80%的硝酸、 20 % 50 %的三氯化铝溶液、30 % 85 %的氯化锌溶液、30 % 85 %的氯化锡溶液、 30% 86%的三氯化铁溶液、30% 83%三氯化锑溶液的其中任一种;搅拌均勻;其中三 氯化铝溶液和氯化锌溶液温度为60°C 100°C,其它溶液温度为室温;(2)将混有导向条的碎硅片置于水溶液中;(3)用筛子把漂浮在水溶液表面的导向条捞起后,取出碎硅片;(4)用纯水冲洗,即得到最终产品。优选为取出碎硅片用纯水冲洗后,可以再置于浓硫酸中浸泡3 15分钟,所使用 的硫酸质量百分比为98%。导向条的密度为1. Og/cm3 1. 35g/cm3,材质为碳水化合物。所用筛子为耐强酸的塑料筛,筛目为8 20目。本发明与现有技术相比,其优点在于,经本发明分离后的碎硅片完全清除了导向 条,相对于人工分选,大幅度提高了分离效率;并且三氯化铝溶液和四氯化锡溶液和重复利 用,大幅度的降低分离成本。
具体实施例方式本发明可以通过发明内容中说明的技术方案具体实施,下面结合实施例对本发明 作进一步说明
实施例1 配制90°C质量百分比为39.2%的氯化铝的水溶液2040(^,搅拌均勻;把有导向条 的碎硅片倒入上述氯化铝水溶液中,待导向条浮起后,用筛子把导向条捞出。最后取出碎硅 片,用纯水冲洗,即得到最终产品。实施例2:配制60°C质量百分比为45. 的氯化铝的水溶液22800g,搅拌均勻;把有导向条 的碎硅片倒入上述氯化铝水溶液中,待导向条浮起后,用筛子把导向条捞出,取出碎硅片; 把上述碎硅片置于98%的硫酸中浸泡10分钟,取出碎硅片,用纯水冲洗,即得到最终产品。实施例3 在室温下配制质量百分比为70%的四氯化锡溶液20200g,搅拌均勻;把有导向条 的碎硅片倒入上述四氯化锡溶液中,待碎硅片沉到容器底部后,用筛子把导向条捞出。最后 取出碎硅片,用纯水冲洗,即得到最终产品。实施例4 把25kg质量百分比为69%的硝酸倒入塑料容器中,加入混有导向条的碎硅片,待 导向条浮起后,用筛子把导向条捞出,取出碎硅片;把上述碎硅片置于98%的硫酸中浸泡 10分钟后,取出碎硅片,用纯水冲洗,即得到最终产品。实施例5 配制70°C质量百分比为73. 78%的氯化锌的水溶液36343g,搅拌均勻;把有导向 条的碎硅片倒入上述氯化锌水溶液中,待导向条浮起后,用筛子把导向条捞出,取出碎硅 片,用纯水冲洗,即得到最终产品。实施例6 配制96°C质量百分比为57. 59%的氯化锌的水溶液22463g,搅拌均勻;把有导向 条的碎硅片倒入上述氯化锌水溶液中,待导向条浮起后,用筛子把导向条捞出,取出碎硅 片,用纯水冲洗,即得到最终产品。实施例7 室温下配制质量百分比为75%的三氯化铁的水溶液14914g,搅拌;把有导向条的 碎硅片倒入上述三氯化铁水溶液中,待导向条浮起后,用筛子把导向条捞出,取出碎硅片, 用纯水冲洗,即得到最终产品。实施例8 室温下配制质量百分比为68%的三氯化锑的水溶液12005g,搅拌;把有导向条的 碎硅片倒入上述三氯化锑水溶液中,待导向条浮起后,用筛子把导向条捞出,取出碎硅片, 用纯水冲洗,即得到最终产品。以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的技术方案;同时,对于本领域的一 般技术人员,依据本发明的技术方案,在具体实施方式
及应用上均会有改变之处,综上所 述,以上实施例内容不应理解为对本发明的限制。
权利要求
一种分离半导体碎硅片与导向条的方法,其特征在于包括以下步骤(1)配制化合物水溶液,化合物水溶液为质量百分比为45%~80%的硝酸、20%~50%的三氯化铝溶液、30%~85%的氯化锌溶液、30%~85%的氯化锡溶液、30%~86%的三氯化铁溶液、30%~83%三氯化锑溶液其中任一种;其中三氯化铝溶液和氯化锌溶液温度为60℃~100℃,其它溶液温度为室温;(2)将混有导向条的碎硅片置于水溶液中;(3)用筛子把漂浮在水溶液表面的导向条捞起后,取出碎硅片;(4)用纯水冲洗,即得到最终产品。
2.根据权利要求1所述的一种分离半导体碎硅片与导向条的方法,其特征在于取出 碎硅片用纯水冲洗后,再置于浓硫酸中浸泡3 15分钟,所使用的硫酸质量百分比为98%。
3.根据权利要求1所述的一种分离半导体碎硅片与导向条的方法,其特征在于导向 条的密度为1. Og/cm3 1. 35g/cm3,材质为碳水化合物。
4.根据权利要求1所述的一种分离半导体碎硅片与导向条的方法,其特征在于所用 筛子为耐强酸的塑料筛,筛目为8 20目。
全文摘要
本发明涉及一种分离半导体碎硅片与导向条的方法,尤其是涉及一种分离太阳能级多晶硅片制造过程中产生的碎硅片与导向条的方法,所述分离方法是将混有导向条的碎硅片置于配制好的水溶液中,待导向条浮起,用塑料筛把漂浮在水溶液表面的导向条捞起后,取出碎硅片,用纯水冲洗;上述方法中水溶液的化合物为45%~80%的硝酸、20%~50%的三氯化铝溶液、30%~85%的氯化锌溶液、30%~85%的氯化锡溶液、30%~86%的三氯化铁溶液、30%~83%三氯化锑溶液中的其中任一种;在取出碎硅片用纯水冲洗后,可再把碎硅料置于98%的浓硫酸中浸泡3~15分钟后取出。用本方法分离的半导体碎硅片表面清洁,可完全去除碎硅片中的导向条,分离成本低,操作难度低,效率高,且氯化铝溶液和四氯化锡溶液可重复利用,相对于人工分选,可节省大量人力资源。
文档编号B03B5/28GK101912809SQ20101026381
公开日2010年12月15日 申请日期2010年8月26日 优先权日2010年8月26日
发明者胡江峰 申请人:江西旭阳雷迪高科技股份有限公司
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