清洁污染碳化硅粒子的方法与系统与流程

文档序号:14718930发布日期:2018-06-17 00:06阅读:来源:国知局
技术特征:

1.一种藉由除去黏附在污染SiC粒子上的微细粒子而清洁污染碳化硅(SiC)粒子的方法,该方法包括:

将污染SiC粒子进给到一气流粉碎机中,以得到一分散粉末;以及

将该分散粉末进给到一分级机系统中,以得到净化的SiC粒子,其中该分级机系统包括超过一个分级机。

2.根据权利要求1所述的方法,其中该分级机系串连连接。

3.根据权利要求2所述的方法,其中每一个分级机均产生一个粗份和一个细份,其中一上游分级机的每一粗份会进给到一下游分级机,且其中各分级机的每一细份会从该分级机系统分离出来。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的方法,其中最后一个分级机的该粗份包含净化后的SiC粒子。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的方法,其中至少一细份回收回该气流粉碎机中。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的方法,其中该气流粉碎机系以大约800到大约1200rpm的转速运作。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的方法,其中该分级机系统包括第一分级机、第二分级机、以及第三分级机。

8.根据权利要求7所述的方法,其中该第一分级机系于大约2100到大约2800rpm的转速运作。

9.根据权利要求7或8所述的方法,其中该第二分级机系于大约2100到大约2800rpm的转速运作。

10.根据权利要求7-9中任一项所述的方法,其中该第三分级机系于大约2100到大约2800rpm的转速运作。

11.一种藉由除去黏附在污染SiC粒子上的微细粒子而清洁污染碳化硅(SiC)粒子的系统,该系统包括:

一气流粉碎机;以及

一分级机系统,其中该分级机系统包括超过一个分级机。

12.根据权利要求11所述的系统,其中该分级机系串连连接。

13.根据权利要求12所述的系统,其中每一个分级机均产生一个粗份和一个细份,其中一上游分级机的每一粗份会进给到一下游分级机,且其中各分级机的每一细份会从该分级机系统分离出来。

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