使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的处理方法
【专利摘要】一种使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物(以下，简称为“切削液组合物”。)的处理方法，其中，使用前的切削液组合物含有特定的聚醚化合物(成分A)25～75重量％、特定的表面活性剂(成分B)1～9重量％、和水(成分C)，切削液组合物的浊点为30～80℃，从排油液中至少除去切削粉末的粉末除去工序包括：第一工序，将排油液加热至切削液组合物的浊点以上的温度，分离成以聚醚化合物为主要成分的上层、及以水和切削粉末为主要成分的下层；以及第二工序，从分离后的所述排油液中除去下层。
【专利说明】使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的处理方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的处理方法、使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的再生方法、及固定磨料钢丝锯用切削液组合物。
【背景技术】
[0002]以往，作为利用磨料并采用钢丝锯对硅铸块等进行切断时所使用的切削液组合物，已知有含有聚醚化合物作为油分的物质(参照专利文献1、专利文献2)。
[0003]近年来，从环境应对、经济性的提高的观点出发，对于使用过的切削液组合物的废弃处理，尝试了使其容易化。另外，从环境性、生产性及经济性的提高的观点出发，尝试了再利用使用过的切削液组合物。例如，在下述专利文献3中公开了如下方案:通过离心分离将磨料、铸块的切削粉末等分散物与切削液组合物分离，对切削液组合物加以再利用。
[0004]另一方面，已知的是代替游离磨料钢丝锯而使用了固定磨料钢丝锯来切断硅铸块等的方法。该方法由于能够使铸块的切割后的废料(切割后的废料的英文为“reservefor slicing”)减少，因而具有能够有效使用铸块的优点。另外，由于在切削液组合物中不会混入磨料，因而该方法能够稳定地生产晶片而不易改变切削时的切削液组合物的粘度等性状，并且晶片的清洗也变得容易，因此，该方法比使用了游离磨料钢丝锯的切断方法更有利。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1:日本特开平11-286693号公报
[0008]专利文献2:日本特开平11-323376号公报
[0009]专利文献3:日本特开平01-316170号公报
【发明内容】
[0010]发明所要解决的问题
[0011]然而，即使是在铸块的切断中使用了固定磨料钢丝锯的情况下，铸块的切削粉末混入切削液组合物中，因而在废弃处理、再利用时，需要将所述切削粉末从切削液组合物中除去的操作。在作为通常的除去方法的离心分离法中，即使进行高速旋转，切削粉末的分离也需要非常长的时间，而且分离效率也差，因而切削液组合物的再生效率低成为课题。该课题成为硅晶片的生产性提高的阻碍。另外，即使使用专利文献2中记载的技术，切削粉末的分离性也不充分。其理由是因为切削粉末具有与切削液组合物中的水分相比而言与油分的亲和性更高的性质。另外，在废弃使用过的切削液组合物的情况下，例如为了通过燃烧处理而进行废弃，期望尽量从使用过的切削液组合物中除去切削粉末。
[0012]本发明提供使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的处理方法，该方法通过简单的操作，能够以高分离效率从由铸块的切断所产生的、包含使用过的切削液组合物和切削粉末的排油液中分离切削粉末，使用过的切削液组合物的废弃处理变得容易化。另外，本发明提供使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的再生方法，该方法通过简单的操作，能够以高分离效率从上述排油液中分离切削粉末，由此能够提高再生效率。另外，本发明提供被供给到上述处理方法及再生方法的实施中的固定磨料钢丝锯用切削液组合物。
[0013]用于解决问题的方法
[0014]本发明的使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的处理方法是在利用固定磨料钢丝锯而进行的铸块的切断中使用后的、使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的处理方法，其中，
[0015]使用前的所述固定磨料钢丝锯用切削液组合物含有:
[0016]25~75重量％的选自下述通式(I)所示的聚醚化合物、及下述通式(2)所示的聚醚化合物中的至少一种聚醚化合物(成分A)、
[0017]1~9重量％的选自具有碳原子数12~22的烃基的HLB为17.0~20.0的非离子性表面活性剂、及下述通式(3)所示的阳离子性表面活性剂中的至少一种表面活性剂(成分B)、以及
[0018]水(成分C)，
[0019]所述固定磨料钢丝锯用切削液组合物的浊点为30~80°C，
[0020]所述使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的处理方法包括如下所述的粉末除去工序:从在使用所述固定磨料钢丝锯用切削液组合物并利用所述固定磨料钢丝锯而进行的铸块的切断中产生的、包含使用过的所述固定磨料钢丝锯用切削液组合物和所述铸块的切削粉末的排油液中，至少除去所述切削粉末，
[0021]所述粉末除去工序包括:
[0022]第一工序，将所述排油液加热至所述固定磨料钢丝锯用切削液组合物的所述浊点以上的温度，分离为以所述聚醚化合物作为主要成分的上层、及以水和所述切削粉末为主要成分的下层，以及
[0023]第二工序，从在所述第一工序中分离出的所述排油液中，至少除去所述下层，
[0024]R1-O-(AO)n-R1' (I)
[0025]其中，上述通式⑴中，R1为碳原子数I~8的可以含有羟基的烃基、Rk为氢原子或甲基、AO为碳原子数2~4的氧化亚烷基、η为AO的平均加成摩尔数且为表示2~20的数。
[0026]
【权利要求】
1.一种使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的处理方法，所述组合物已被用于利用固定磨料钢丝锯而进行的铸块的切断中， 使用前的所述固定磨料钢丝锯用切削液组合物含有: 25~75重量％的选自下述通式(1)所示的聚醚化合物、及下述通式(2)所示的聚醚化合物中的至少一种聚醚化合物即成分A、 1~9重量％的选自具有碳原子数12~22的烃基的HLB为17.0~20.0的非离子性表面活性剂、及下述通式(3)所示的阳离子性表面活性剂中的至少一种表面活性剂即成分B、以及 水即成分C， 所述固定磨料钢丝锯用切削液组合物的浊点为30~80°C， 所述处理方法包括下述的粉末除去工序:从在使用所述固定磨料钢丝锯用切削液组合物并利用所述固定磨料钢丝锯而进行的铸块的切断中产生的、包含使用过的所述固定磨料钢丝锯用切削液组合物和所述铸块的切削粉末的排油液中，至少除去所述切削粉末， 所述粉末除去工序包括: 第一工序，将所述排油液加热至所述固定磨料钢丝锯用切削液组合物的所述浊点以上的温度，分离为以所述聚醚化合物作为主要成分的上层、及以水和所述切削粉末作为主要成分的下层，以及 第二工序，从在所述第一工序中分离出的所述排油液中，至少除去所述下层，
R1-O- (AO)n-R1 (I) 其中，所述通式(I)中，R1为碳原子数I~8的可以含有羟基的烃基、R1 ‘为氢原子或甲基、AO为碳原子数2~4的氧化亚烷基、η为AO的平均加成摩尔数且为表示2~20的数，
2.根据权利要求1所述的使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的处理方法，其中，所述铸块为硅铸块。
3.根据权利要求1或2所述的使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的处理方法，其中，在所述第一工序中，将所述排油液加热至40~90°C。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的处理方法，其中，所述第一工序中，将所述排油液加热至比所述固定磨料钢丝锯用切削液组合物的浊点高出10~50°C的温度。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的处理方法，其中，在所述固定磨料钢丝锯用切削液组合物中，所述成分C的含量为16~74重量％。
6.根据权利要求1~5中任一项所述的使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的处理方法，其中，所述成分B为具有选自月桂基即正十二烷基、异十二烷基、肉豆蘧基、棕榈基、硬脂基、油基及苯乙烯化苯酚基中的I种以上的烃基的非离子性表面活性剂。
7.根据权利要求1~5中任一项所述的使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的处理方法，其中，所述成分B为选自棕榈基三甲基铵盐及硬脂基三甲基铵盐中的I种以上的阳离子表面活性剂。
8.根据权利要求1~7中任一项所述的使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的处理方法，其中，所述成分A的通式(1)的AO具有氧化亚丙基。
9.根据权利要求1~7中任一项所述的使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的处理方法，其中，所述成分A的通式(2)的AO为氧化亚丙基。
10.根据权利要求1~9中任一项所述的使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的处理方法，其中，在第一工序中，将排油液加热至比所述固定磨料钢丝锯用切削液组合物的浊点高出10~50°C的温度。
11.根据权利要求1~10中任一项所述的使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的处理方法，其中，在第二工序中，对从所述排油液中除去的下层进行离心分离。
12.根据权利要求1~11中任一项所述的使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的处理方法，其还包括下述的第三工序:向在所述第二工序中从所述排油液中至少除去所述下层而得的残液中，添加所述成分A、所述成分B、及所述成分C中的至少一种成分，获得固定磨料钢丝锯用切削液组合物。
13.根据权利要求12所述的使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的处理方法，其中，在所述第三工序中，测定残液中的成分A的含量、成分B及成分C的含量，基于该测定结果，确定所述残液中的、选自成分A、成分B、及成分C中的至少一种成分的添加量。
14.根据权利要求12所述的使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的处理方法，其中，在所述第三工序中，分别预先估计与使用固定磨料钢丝锯用切削液组合物并利用固定磨料钢丝锯来切断铸块的切断工序及所述粉末除去工序相伴的成分A的减少量、成分B的减少量、及成分C的减少量，将选自成分A、成分B及成分C中的至少一种成分补给到排油液或残液中。
15.一种使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物的再生方法，所述组合物已被用于利用固定磨料钢丝锯而进行的铸块的切断中， 使用前的所述固定磨料钢丝锯用切削液组合物含有: 25~75重量％的选自下述通式(1)所示的聚醚化合物、及下述通式(2)所示的聚醚化合物中的至少一种聚醚化合物即成分A、 I~9重量％的选自具有碳原子数12~22的烃基的HLB为17.0~20.0的非离子性表面活性剂、及下述通式(3)所示的阳离子性表面活性剂中的至少一种表面活性剂即成分B、以及 水即成分C， 所述固定磨料钢丝锯用切削液组合物的浊点为30~80°C， 所述再生方法包括: 第一工序，将在使用所述固定磨料钢丝锯用切削液组合物并利用所述固定磨料钢丝锯而进行的铸块的切断中产生的、包含使用过的所述固定磨料钢丝锯用切削液组合物和所述铸块的切削粉末的排油液，加热至所述固定磨料钢丝锯用切削液组合物的所述浊点以上的温度，分离为以所述聚醚化合物作为主要成分的上层、及以水和所述切削粉末作为主要成分的下层， 第二工序，从在所述第一工序中分离出的所述排油液中，至少除去所述下层，以及 第三工序，向在所述第二工序中从所述排油液中至少除去所述下层而获得的残液中，添加所述成分A、所述成分B、及所述成分C中的至少一种成分，获得固定磨料钢丝锯用切削液组合物，
R1-O- (AO)n-R1 (1) 其中，所述通式(I)中，R1为碳原子数I~8的可以含有羟基的烃基、R1 ‘为氢原子或甲基、AO为碳原子数2~4的氧化亚烷基、η为AO的平均加成摩尔数且为表示2~20的数，
【文档编号】C10N40/22GK103945986SQ201280055989
【公开日】2014年7月23日 申请日期:2012年11月15日 优先权日:2011年11月15日
【发明者】土井康广, 樫原荣二, 铃木清史 申请人:花王株式会社, 帕莱斯化学株式会社