1.一种硅基结构的微热板，包括衬底，其特征在于，所述衬底采用单晶硅，所述衬底表面由内致外依次覆盖有多孔硅层、绝热层和加热区，所述加热区为信号电极和加热电极；其中，衬底背部与多孔硅层被腐蚀成坑。
2.根据权利要求1所述的一种硅基结构的微热板，其特征在于，所述单晶硅的晶向为<100>。
3.根据权利要求1所述的一种硅基结构的微热板，其特征在于，所述绝热层为二氧化硅层。
4.根据权利要求1所述的一种硅基结构的微热板，其特征在于，所述信号电极和加热电极均采用Pt金属电极。
5.根据权利要求1所述的一种硅基结构的微热板，其特征在于，所述微热板整体的表面覆有一层二氧化锡薄膜。