电镀装置的制作方法

文档序号:5285942阅读:220来源:国知局
专利名称:电镀装置的制作方法
技术领域
本发明涉及一种不但提高了电镀质量、并降低了化学药品费用的低成本的具有新型结构的电镀装置。
但是,由于这样生成的O2的氧化力使得电镀液中混合的光泽剂之类的有机添加剂被氧化、有机添加剂变质,变得不具有自身的功能。因此,电镀质量降低、为了能够提高电镀质量,考虑到有机添加剂变质的量则必须混合大量的有机添加剂,因此化学药品的费用上升、制品的成本上升。
根据本发明,提供一种包含用于装入电镀液的电镀槽、以被电镀物作为阴极、以不溶于电镀液的金属作为阳极、向电镀液中通电流的电流装置的电镀装置,该电镀装置的特征在于,在所述阳极的四周配备有防止电镀时从阳极产生的O2与混合在电镀液中的光泽剂等有机添加剂接触的薄膜。
本发明涉及一种包含用于装入电镀液的电镀槽10、以被电镀物作为阴极30、以不溶于电镀液的金属作为阳极20、向电镀液中通电流的电流装置50的电镀装置。为了提高电镀质量而在所述电镀液中混合光泽剂等有机添加剂。然后所述阴极30变成传送辊形式,其构成使得被电镀物通过该传送辊被带负电荷地传送,通过连接至电源上的电流装置50在所述阳极20和阴极30上施加直流电流。
然后,在所述阳极20的四周配备仅仅选择透过H+的薄膜40。该薄膜40在其内部具有直径为大约4-5纳米的通道,H+以从该通道通过的方式而被移动。此种薄膜是利用具有(-CF2-SO3H)侧链的聚四氟乙烯(PTFE),以具有大约50-250纳米的厚度制成,但优选使用商品名Nafion(制造商DUPONT公司)。这时,由所述薄膜40间隔开的空间同连接至贮藏硫酸溶液用的另一硫酸溶液供给槽60的供给管62相连接,由薄膜40间隔的空间中保持恒定水平的硫酸浓度。此种薄膜40依据在内部的所述阳极20所处的位置由配置的另外的支持部件49固定设置,但是支持部件49是变成一侧开口的简体状,在该支持部件49的开口部固定设置薄膜40。
如此构成的本发明,在电镀进行时,电镀中的阴离子OH-和SO42-在阳极20上产生O2。所述薄膜40因为仅仅选择透过H+,所以在阳极20生成的O2是不通过薄膜40,而是通过与硫酸溶液供给槽60相连接的供给管62排出到外部。由此防止了O2同电镀液中添加的有机添加剂反应。
如上所述,根据本发明提供了一种能够防止电镀时在阳极产生的O2同电镀液中添加的有机添加剂反应,因而能够得到高质量的电镀的具有新结构的电镀装置。而且在使用该电镀装置的场合,能够降低光泽剂之类的添加剂的使用量,因而化学药品费用降低,成本降低。
权利要求
1.一种包含用于装入电镀液的电镀槽(10)、以被电镀物作为阴极(30)、以不溶于电镀液的金属作为阳极(20)、向电镀液中通电流的电流装置(50)的电镀装置,该电镀装置的特征在于,在所述阳极(20)的四周配备有防止电镀时从阳极产生的O2与混合在电镀液中的光泽剂等有机添加剂接触的薄膜(40)。
全文摘要
本发明涉及一种不但提高了电镀质量、并降低了化学药品费用的低成本的具有新型结构的电镀装置。根据本发明,提供一种包含用于装入电镀液的电镀槽10、以被电镀物作为阴极30、以不溶于电镀液的金属作为阳极20、向电镀液中通电流的电流装置50的电镀装置,该电镀装置的特征在于,在所述阳极20的四周配备有防止电镀时从阳极产生的O
文档编号C25D17/00GK1477238SQ0212987
公开日2004年2月25日 申请日期2002年8月20日 优先权日2002年8月20日
发明者李守宰 申请人:株式会社Smc
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