专利名称：用于电解地增大电介质衬底上导电图案的厚度的方法和设备、以及电介质衬底的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于电解地增大电介质衬底(dielectric substrate)上导电图案的厚度的方法和设备。更具体地，根据本发明的方法包括步骤—将其上具有图案的衬底浸入电解槽中，—在衬底浸没期间，在电解槽中使图案和带负电的电极电接触。
根据本发明的设备更具体地包括用作电解槽的容器、用于在电解槽中放置其上具有图案的衬底的第一定位机构、用于与图案导电接触的带负电的电极、以及用于以电极在电解槽中与图案导电接触的方式放置电极的第二定位机构。这种方法和设备从德国专利申请DE-A1-10065643中可以得知。
背景技术：
在用于电子工业的各种元件的生产中，在电介质衬底上制作导电图案是非常必要的。这种元件的例子有所谓的RFID标签(labels)、柔性电子电路、柔性电缆线、电致荧光显示器(electro-fluorescent displays)和柔性太阳面板。
采用凹版印刷法制作电介质衬底上的导电图案是已经公知的。因此，根据特定的图案将导电墨水应用于不导电的衬底，在上述应用之后立即使用各种技术、例如电镀工艺将导电材料覆盖图案，从而增大导电图案的厚度。衬底由薄片制成，其从转筒(drum)被传送到凹版印刷机器接着被传送到涂覆机器。在电解工艺被应用于所述的印刷图案的涂覆的情况中，国际专利申请WO02/096168A2中提出了为这一目的可在电解槽中使用铜，声称可以提供2μm或更大厚度的层。
在WO02/096168 A2中描述的方法和设备的一个主要的缺点是，使用含有导电颗粒的印刷流体存在在凹版印刷工艺期间最初不能获得导电颗粒的连续导电图案的风险，以致形成局部中断，结果不可能再使用电镀工艺。除此之外，特别地当待形成的导电图案具有相对大的长度时，例如在RFID标签的平面天线的情形中应用这一方法和设备，仅这一目标物的第一部分被电镀，这是因为对于相对高电阻的电子迁移仅穿过该长度的第一部分，在这里它们和带正电的离子复合成为颗粒沉淀在图案上。除此之外，还相对地限制了可获得的层厚。更具体地，例如不能以工业化的方式大规模得到10或20μm的层厚。然而在这些情况下，特殊元件的特定使用中需要这种大的层厚。考虑到与RFID标签的这种关系，其趋于在十几米的范围内截取和传输无线电信号。另一个缺点是，它不仅必须使用最终的导电图案本身，而且必须使用连接到图案的辅助电路径，从而在电解工艺期间，使最终的导电图案可作为阴极。例如，最后通过对衬底施加一冲孔操作，除去所述的辅助电路径以及其上已沉淀的所有材料。这会导致原材料的损失。
国际专利申请WO02/099163A2公开了一种所谓的自动催化涂覆法，其中首先在电介质衬底上喷射含钯的溶液，然后将衬底放置在自动催化淀积溶液中，使得钯前体上的导电颗粒无电镀地淀积。这种方法的一个重要缺点是由于有限的淀积速度，因而它不适用于大规模的工业使用。
德国专利申请DE-A1-10065643描述了一种用于电化学处理其上具有导电层的柔性带状、非导电的衬底的设备和方法。衬底经过旋转转筒上方，该旋转转筒完全浸没入电解槽中，并且可选择地在其外围提供至少与转筒的中心轴大致平行地延伸的带状电极和反电极。除了与导电层接触的部分之外，电极周围是绝缘的，并且电极在半径方向上比反电极延伸地更长，因此在位于其间的相邻的电极、反电极和衬底之间形成了小的电解单元，这里反电极作为阳极，并且金属离子沉淀在导电层上，由此能够提高其厚度。这有许多缺点。一个重要的缺点是产生在导电层和电极相互接触的位置上层厚不能增大的现象。DE-A1-10065643中认识到这一缺点，但是其中给出的解决方法不能带来令人满意的结果。因此提议使用多个连续设置的转筒、不平行的(反)电极和/或尺寸相互不同的(反)电极。这种解决方法的主要缺点是层厚不规则地增大。除此之外，这种解决方法通常必须使用多个转筒，同时导电层特殊部分的层厚减小或完全不增大的风险仍然存在。DE-A1-10065643中描述的设备和方法的另一个重要缺点是如果衬底和电极之间没有接触，那么毫无疑问金属离子将沉淀在这些电极上从而污染所述电极。
发明内容
本发明的目的是提供一种导言中提到的设备和方法，其能够实现在电介质衬底层上厚度相对较大的导电图案的大规模淀积，需要的话还可以以工业化的方式最少化地使用原材料。特别地，本发明的目的首要的是以均匀方式增大导电图案的厚度。至此，根据本发明的方法包括步骤在衬底浸没期间，在电解槽中使电极和图案相互有效地接触运动。另一方面，当使用根据本发明的方法时，原则上不需要所述衬底上的辅助导电路径，这是由于在电解槽的液体中带负电的电极和图案之间有效地接触，而且图案的电阻会相对较高，不一定产生仅图案的第一部分被电镀，以及由此导致的仅在此位置的导电图形厚度增大，因此能够在图案的任一预想位置、且可能同时在几个位置发生接触。另一方面，本发明的情况尤其可能应用于防止由于电极和图案之间的接触，部分图形上没有发生电解生长的情形，由此能够获得均匀的层厚分布和层厚的一致生长。
优选地，电极和图案相互移动的速度足以使得在电极和图案电接触期间，至少图案的一重复部分经过电极。因此，最佳相对速度将(部分)依赖于导电图案的形状和尺寸。本优选实施例实现至少部分完全重复的图案受到带负电的电极移动的影响，带负电的电极在电解槽中浸没的衬底之上并与其(相对)接触地(相对地)移过图案。在RFID标签的情况中，图案的这一重复部分典型地通过螺旋形天线形成。通常，如果图案的重复部分没有问题，电极和图案之间的相对速度优选为1和50mm/sec之间的范围，更优选在3和12mm/sec之间。过高的相对速度可能导致电解槽中的液体进入电极和图案之间，这将对接触产生不良影响，并因此影响导电图案厚度增大的速度。
如果电极在图案上滚动(roll over)，那么能够获得一种非常有利的电极和图案相互接触地移动的方式。这排除或至少明显地减小了在所述相对运动期间带负电的电极从衬底上撞掉或碰掉图案材料的危险。
从工业化应用的观点来看，非常期望在电极和图案相互接触地运动期间，其上具有图案的衬底根据运动路径移动通过电解槽。由此得到一个重要的结果，即可能以经济最优化的方式大规模使用根据本发明的方法。
优选地，在电极和图案相互接触地运动期间，电极根据至少部分的运动路径移动。因此电极能够与图案一起移动，其同样移动通过电解槽，从而电极和图案之间的相对速度就能够保持在有限范围之内。
如果衬底以0.5和20m/min之间的范围、优选1.5和6m/min之间的速度移动通过电解槽，可以得到一方面根据本发明的方法的工艺要求和另一方面经济要求之间的一个令人满意的折衷。最终的最优速度将强烈依赖于容量要求。注意，这里容量不仅能够通过使用大的电解槽，而且能够通过使用多个连续设置的电解槽得以提高。
优选地，运动路径至少部分是精确的，从而利用旋转转筒就能够影响衬底经过电解槽的运动。
优选，电极还根据一个相对于电解槽固定的、循环的、更远的运动路径(further path of movement)移动。所述的更远的运动路径优选至少其部分与衬底经过电解槽的运动路径一致，或至少部分与衬底经过池的运动路径平行地延伸。除此之外，所述更远的运动路径不必完全在电解槽内部延伸。在下文中将明确给出，即使所述更远的运动路径部分在电解槽上方延伸，仍会是相当有利的。对于电极来说，使用所述更远的运动路径尤其能够保证工业化规模的生产，这里可以应用在电极和图案接触期间两者运动速度之间的差异，并且速度差异可以通过单独调整传送带根据运动路径移动的速度、和电极根据所述的更远的运动路径移动的速度来进行调整。
而且优选地，所述的更远的运动路径为循环状，因此由此配置的运动路径能够通过使用相对简单的机械机构实现。
特别地，为了阻止金属离子在电极上的生长，非常期望所述更远的运动路径部分在电解槽中延伸和部分在电解槽上方延伸。在电解槽上方延伸的部分所述更远的运动路径中，金属离子不在电极上沉淀(或至少到显著减小的程度)，也不在图案和电极之间不接触的那些位置上沉淀。在衬底浸没在电解槽期间，电极和图案相互不接触地移动的情况中也可应用这一优点。这带来一种用于电解地增大电介质衬底上导电图形的厚度的方法，该方法包括步骤将其上具有图案的衬底浸入电解槽中，衬底浸没期间在电解槽中使带负电的电极电接触图案，其中电极根据相对于电解槽固定的、循环的更远的运动路径移动，该更远的运动路径部分在电解槽中延伸或部分在电极池上方延伸。
如果当电极移动通过在电解槽上方部分延伸的部分更远的运动路径时，将该电极更换为另一电极，能够实现使用在电解槽上方部分延伸的部分所述更远的运动路径的另一个重要优点。这种方法的主要优点是不必中断生产工艺就可以更换电极。
如果在电解槽中远离电极的衬底侧形成比朝向电极的衬底侧更高的液面，能够用于以最高的可能速度增大衬底上导电图案的厚度所需的良好接触。作为液压差异的结果，就在衬底上施加一电极方向的均匀压力。
如果图案至少部分为螺旋形，本发明就特别有利。当使用这种螺旋形时，电极可以同时在几个位置与螺旋形导电接触。
除了导言中已经提及的各方面之外，根据本发明的设备还包括用于影响电极和图案相对接触移动的移动机构。这种设备具有与根据本发明的方法相同的优点，即，由于在电解槽中负电极和图案之间的接触，图案就能够同时在几个位置与负电极导电接触，其结果是图案的导电材料必然有相对高的电阻，因此仅可能在部分图案上电解生长。除此之外，辅助路径是不必要的。作为通过移动机构影响电极和图案相互接触运动的结果，使部分图案不必与电极连续接触，连续接触的后果是图案的厚度局部不增大。
优选地，第一定位机构包括用于使其上具有图案的衬底根据运动路径移动进入电解槽中、经过电解槽并移出电解槽的第一移动机构。以这种方式就能够实现连续的生产工艺。
而且优选地，第二定位机构包括用于使电极至少移动经过电解槽的第二移动机构。因此，能够与通过使其上具有图案的衬底移动经过电解槽的不同的其他方式影响电极和图案的相互运动。
为了最优化利用衬底位于电解槽中的时间，配置第二移动机构使得电极至少根据部分运动路径移动。
如果电极具有圆柱形并且可绕着其中心轴旋转，那么能够得到一种结构上非常有利的实施例。因此，电极卷绕衬底，或者更具体地卷绕位于衬底上的图案，圆柱体的长度还使得电极可能同时与图案的几个位置相接触(或多个相邻的图案)。
如果第一移动机构包括外围部件，该外围部件用于使其上具有图案的衬底至少经过该外围部件的部分周围，那么将得到另一种结构上有利的实施例。
如果那样的话，优选沿着外围部件的周围设置多个细长电极，电极的纵向至少大致彼此平行延伸，并垂直于运动路径。所述的细长电极能够跨越衬底材料的传送带的整个宽度。
优选电极位于运动路径的内侧。
优选外围部件提供有两个环形凸缘，运动路径在其间延伸。两个环形凸缘和衬底一起构成闭合，从而衬底外侧的电解槽的液面高于衬底内侧，其结果是来自电解槽的向内的压力使得衬底与电极接触。在设备不包括任何用于影响电极和图案相互接触运动的移动机构的情况下，也可以利用这一优点。因此，将获得一种用于电解地增大电介质衬底上的导电图案厚度的设备，该设备包括作为电解槽的容器、用于在电解槽中放置其上具有图案的衬底的第一定位机构、用于与图案导电接触的带负电的电极、和用于以电极在电解槽中与图案导电接触的方式放置电极的第二定位机构，其中所述的第一定位机构包括用于使其上具有图案的衬底根据运动路径移动进入电解槽、经过电解槽并移出电解槽的第一移动机构，并且其中所述的第一移动机构包括用于使其上具有图案的衬底至少经过该外围部件的部分周围的外围部件，沿着外围部件的周围设置的多个细长电极，电极的纵向至少大致彼此平行地延伸，并垂直于运动路径，所述外围部件提供有两个环形凸缘，运动路径在其间延伸。
优选地，外围部件由第一转动部件制成，该第一转动部件至少可绕着第一旋转轴、如水平轴旋转。因此，第一转动部件能够随着其上传送且应当位于其上的衬底一起向前移动。注意，除了具有圆柱形之外，第一转动部件也可以被构为其间具有垂直部件的两个等分圆柱体，从而有两个旋转轴。
第二移动机构优选包括第二转动部件，该第二转动部件至少可绕着第二旋转轴、如水平轴旋转，沿着第二转动部件的周围设置多个细长电极，电极的纵向至少大致彼此平行地延伸。如前面已经阐明，细长电极具有使得电极能够与衬底上的导电图形的几个部分同时接触的优点。
而且，为了尽可能的结合这些功能，优选第一转动部件和第二转动部件由通用的转动部件形成。此外，在这种情况下不必考虑同步的问题，而且在此情况下第一转动部件和第二转动部件占据有限的空间。
优选地，电极具有圆柱形，并且电极可绕着备自的中心轴相对于第二转动部件的剩余部分旋转。这能够实现上述已经说明的电极和图案相互滚动运动的优点。
为了使结构简单，第一转动部件和/或第二转动部件至少大致为圆柱形，第一转动部件和/或第二转动部件可绕着其中心轴旋转。
为了一方面实现电极和图案间的相对运动、与另一方面实现图案的绝对运动的幅度之间的适合比率，优选提供用于一方面使电极关于其中心轴和另一方面使第二转动部件可绕着第二转动轴根据特定的传输速度转动的传输机构。
在最优选的实施例中，带负电的电极主要容纳于屏蔽部件(screeningclement)的凹腔中并按有限范围延伸出屏蔽部件。这使得尽可能少的阳极材料淀积在电极自身上，并且可能获得导电图案和电极之间良好的接触。这就是阳极材料不会在此接触位置处淀积的原因。
本发明还涉及一种其上具有导电图形的电介质衬底，例用前面已经解释了的根据本发明的方法就能够增大其厚度。下面，将通过参照以下附图对本发明的优选实施例的描述来更加详细地解释本发明图1是用于增大电介质衬底上的导电图形厚度的生产线的示意性侧视图。
图2是图1中示出的生产线的生产单元构成部分的透视图。
图3是电极转筒的透视图。
图4是图3中示出的电极转筒的垂直截面图。
图5a、5b和5c是示出图4中箭头标出的位置处衬底路径的三个连续位置的径向图。
图6示出了图4中标出的详细区域。
图7是图3的电极转筒的垂直纵向截面图。
具体实施例方式
图1示意性示出了用于电镀在电介质衬底薄片4上提供的导电图案的设备1的侧视图。此薄片4可以在经电镀设备1处理前，根据如WO 02/096168A2中描述的凹版印刷技术、或通过WO 02/099163A2中描述的自动催化涂覆法制备。
薄片4从退绕转筒2展开，并绕到卷绕转筒3上。在本实施例中，在展开的转筒2和卷着的转筒3之间设置三个电镀单元5，所述的各电镀单元以其公知的方式在其前侧提供由用于进行移动的预处理设备6，在电介质衬底薄片4上的导电图案上可以有一层氧化膜。在各电镀单元5后提供有后处理设备7，其冲洗经前述电镀单元5和后处理设备7处理过的薄片材料4，在最后一个电镀单元5的情形中，可以在电镀图案上应用抗氧化膜。在三个电镀单元5之间、也可在第一电镀单元之前和最后一个电镀单元之后提供包括滚轴系统，每个滚轴系统由两个固定的反转滚筒8和一个浮动辊9构成，从而保特薄片4适当的张力。
接着参照图2，每个电镀单元5包括四个电极转筒10，薄片4以其上的导电图案面向电极转筒10的方式经由固定的反转滚筒11绕着转筒10外围的下半部分被传送。电极转筒10和固定的反转滚筒11安装在相对于机架42的一侧，且可绕着水平转动轴旋转。机架42提供有四个纵向导杆14，容器12沿着纵向导杆14在上部位置(见图2中的三个右手电极转筒10)之间可移动，容器12大致围绕相关的电极转筒10的下半部和下部位置(见图2中的三个左手电极转筒10)，其中相关的电极转筒完全脱离容器12。机架42还包括一个供监控电镀处理和/或必须操作有问题的电镀单元5的人使用的平台13。
图3、4、6和7是电极转筒10更具体的(部件)示图。电极转筒10包括位于平行圆盘53、54外周处的两个相对的凸缘15、16。分别在凸缘15、16和圆盘53、54的内部或附近提供流体通道37和20，即位于两个相邻的电极17之间的两个流体通道20和两个流体通道37。在凸缘15中提供用于与容器12内的导梁(guide ridge)50合作导向的导槽49。在圆盘53、54之间，延长的圆柱形电极17以规则的空间隔离关系(in regularly spaced-apart relationship)延伸。电极17主要容纳于形成在相关的延长屏蔽部件18的截面外侧的孔21中。屏蔽部件18由介电材料例如橡胶或塑料制成。过滤纱布19在屏蔽部件之间延伸以阻止固体杂质到达电极17，尤其防止从内侧到达薄片4。屏蔽部件18自身通过插脚61定位。定位孔21的中心轴使得屏蔽部件18的外侧出现一开口，这一开口被相关电极17四周的有限部分遮蔽。电极17的这一部分正好从相关的屏蔽部件18的外侧突出，使得经过电极转筒10下半部的薄片4的内侧毗接电极17的相应部分并从而与其相(导电)接触。
电极17可绕着它们自身的纵向轴旋转。为了以控制方式调节这种旋转，电极17与凸缘15外侧的齿轮23机械连接，齿轮23与主齿轮24相啮合。主齿轮24与齿轮31、主齿轮30刚性地结合，并且齿轮31可绕着驱动轴25自由旋转。驱动轴25与电极转筒10刚性地结合以使其可绕着水平中心轴转动。主齿轮24相对于电极转筒10的转动和由此齿轮23相对于电极转筒10的转动经由由啮合齿轮28、29和啮合齿轮30、31形成的传输装置发生，齿轮29和30刚性地经由连接轴32结合。上述传输装置的结果是，不同电极17绕着它们自身的中心轴的转动在电极转筒10的转动期间发生。结果，电极能够在面向电极转筒且电极应当处于的薄片侧滚动，在此期间薄片与电极转筒10的下部连接。所述滚动能相对较慢地发生。这在图5a-5c中清楚地进行了描述。
图5a-5c示出了薄片4的特定部分的连续情形。在所述的薄片上有例如铜的导电材料的图案43，图案可以是螺旋形的，例如可以用作RFID标签的平面天线。WO 02/096168的图1示出了这种螺旋形的两个例子。图5a示出了其中电极位于一排三个此种图案43的一侧的方式。在薄片4的此部分与在其周围下半部的电极转筒10一起运动期间，电极17在薄片4上滚动一段距离，这段距离等于成排的三个图案43之间的间距(pitch distance)。接着，电极17位于图5b中示出的下方位置中该排的三个图案43的中心位置，同时在图5c中示出的位置处电极17正好超出所述排的三个图案43。电极17沿图案43表面相对接触运动的结果是图案43承受的机械载荷是最小的，这主要因为相对低的速度和所述接触是滚动接触。
在电极转筒10的内部提供用于容纳阳极材料球34的筐33。阳极材料也可以以其它形式提供，例如作为一个固体块的方式或作为多个小块的方式。在其内具有球34的筐33上通过端子26施加正电压，端子26操作与驱动轴25严格结合的接触圆盘27。端子26将其端部连接到整流器的正侧。在凸缘15的外侧提供半圆刷41。所述的电刷41与轴部分44导电接触，电刷41不与电极转筒10一起转动，该轴部分44轮流与相关的电极17导电接触。电刷41连接到整流器(未示出)的负侧。
在使用中，容器12中充满电解盐溶液45。阳极球35的材料作为例如铜离子的离子溶解于所述的盐溶液45中，并被由电极17和与其导电接触的图案43形成的阴极所吸引。由于电极17被屏蔽部件18或薄片4部分或全部遮蔽，在此当它们不被电极17覆盖和在此当它们存在于电解盐溶液45中时离子就会实际沉淀在导电图形43上。因此，图案43的层厚能够以连续方式电解地增大直到获得期望的层厚。例如，为了增大层厚，可以降低薄片通过电解盐溶液45的运动速度或增大电镀单元5的数目和/或各个电镀单元5的电极转筒10的数目。通常的规则是薄片停留于盐溶液45中越长，图案43的层厚将会越大。对本领域技术人员来说显然由于电极17和图案43之间的直接接触，例如螺旋形图案情形中的各个卷绕部分可以同时与电极17接触，其结果是可能产生的导电图案43的高电阻就不会引起图案43的不同部分之间层厚的实质差异。
图7示出了如何通过抽吸机构(来示出)使电解盐溶液45循环流动。盐溶液45经由容器12底侧的入口38进入容器12。在容器12中填充液体至液面35，其与容器12中垂直部件46的溢流边40的高度相等。直至盐溶液45流过溢流边40时，这部分盐溶液45经由部件46和容器12的前壁47和容器12底侧处的溢流通道48之间的空间超过容器12。盐溶液45经由通道20流入位于凸缘15、16和薄片4的内侧之间的空间。盐溶液45再次经由凸缘15中的通道37流出所述空间。接着，盐溶液45再次经由出口39流出容器12。以此方式，“新鲜的”电解盐溶液45就持续供给图案43的直接周围(direct surroundings)。所述空间内的电解盐溶液45的液面36稍低于所述空间外侧的液面35，由于从通道20到通道37的通路相对较窄，这引起在电极17方向上向薄片4的外侧施加了一液压，从而获得在电极17和薄片4的内侧之间的良好接触。
在图4和6中清晰地示出，电极转筒10部分地延伸，更具体地在盐溶液45的上方大约延伸出其高度的一半。一个重要的优点是位于盐溶液45上方的电极17不会受到其上淀积的金属离子的影响，尽管不与薄片4接触。这与其中电极转筒完全浸没在盐溶液中的情形形成对比。另一个重要的优点是原则上可能一旦电极17位于盐溶液上方，可以不中断生产工艺地将该电极更换为另一电极。结果，各个电极17在其远离齿轮系统的一侧上设置有接合部分51和径向孔52；该接合部分与相关的电极17绝缘，插脚能够通过径向孔52从圆盘53上旋下电极17，之后上述的电极17能够在纵向上从相关的孔21上拔下并更换为另一电极17，接着再次在圆盘53中拧紧另一电极17。
本发明的范围不局限于上述的优选实施例，而由附加的权利要求限定。显然要注意，例如作为上述优选实施例的一个变形，衬底在与带负电的电极导电接触期间垂直位于电解槽中的情形，也将落入本发明的范围。除此之外，显然要注意，在衬底经过电解槽的直线运动期间衬底和电极之间接触的情形也将落入本发明的范围。
权利要求
1.一种用于电解地增加电介质衬底上导电图案的厚度的方法，包括步骤—将其上具有图案的衬底浸入电解槽中，—在衬底浸没期间，在电解槽中使图案与带负电的电极电接触，其特征在于，—在衬底浸没期间，在电解槽中实现电极和图案的相互接触运动。
2.根据权利要求1的方法，其中电极和图案相互运动的速度使得在电极和图案之间的电接触期间，图案的至少一重复部分由电极通过。
3.根据权利要求1或2的方法，其中，在电极和图案相互接触的运动期间，电极在图案上滚动。
4.根据上述权利要求中任一项的方法，其中，在电极和图案相互接触的运动期间，其上具有图案的衬底根据运动路径移动经过电解槽。
5.根据权利要求4的方法，其中，在电极和图案相互接触地运动期间，电极根据至少部分所述运动路径移动经过电解槽。
6.根据权利要求4或5的方法，其中，衬底以0.5和20m/min之间的速度、更优选在1.5和6m/min之间的速度移动经过电解槽。
7.根据权利要求4、5或6的方法，其中，所述的运动路径是弯曲的。
8.根据上述权利要求中任一项的方法，其中，电极根据相对于电解槽的固定的、循环的更远的运动路径移动。
9.根据权利要求8的方法，其中，所述的更远的运动路径是环状的。
10.根据权利要求8或9的方法，其中，所述的更远的运动路径部分地在电解槽中延伸，部分地在电解槽上方延伸。
11.根据权利要求10的方法，其中，当电极经过在电解槽上方延伸的所述更远的运动路径的该部分时，电极更换为另一电极。
12.根据上述权利要求中任一项的方法，其中，在电解槽中产生的远离电极的衬底侧上的液面高于面向电极的衬底侧上的液面。
13.根据上述权利要求中任一项的方法，其中，图案至少部分是螺旋形的。
14.一种用于电解地增大电介质衬底上的导电图案的厚度的设备，包括用作电解槽的容器、用于在电解槽中定位其上具有图案的衬底的第一定位机构、用于与图案电接触的带负电的电极、和用于以电极在电解槽中与图案电接触的方式定位电极的第二定位机构，其特征在于，该设备还包括实现电极与图案相互接触地运动的移动机构。
15.根据权利要求14的设备，其中，第一定位机构包括用于使其上具有图案的衬底根据运动路径移动进入电解槽、经过电解槽和移出电解槽的第一移动机构。
16.根据权利要求14或15的设备，其中，第二定位机构包括用于使电极移动至少经过电解槽的第二移动机构。
17.根据权利要求16的设备，其中，第二移动机构设置成用于使电极根据至少部分运动路径移动。
18.根据权利要求14-17中任一项的设备，其中，电极具有圆柱形状并可绕着其中心轴旋转。
19.根据权利要求15-18中任一项的设备，其中，第一移动机构包括用于使其上具有图案的衬底经过该外围部件的至少部分周围的外围部件。
20.根据权利要求19的设备，其中，沿着外围部件的周围设置多个细长电极，电极的纵向至少大致彼此平行地垂直于运动路径延伸。
21.根据权利要求20的设备，其中，电极定位于运动路径的内侧上。
22.根据权利要求19、20或21的设备，其中，外围部件设置有两个环形凸缘，运动路径在其间延伸。
23.根据权利要求19-22中任一项的设备，其中，外围部件由第一转动部件制成，其可绕着至少一个第一转动轴旋转。
24.根据权利要求16-23中任一项的设备，其中，第二移动机构包括第二转动部件，该第二转动部件可绕着至少一个第二旋转轴旋转，沿着第二转动部件的周围设置有多个细长电极，该电极的纵向至少大致彼此平行地延伸。
25.根据权利要求23和24的设备，其中，第一转动部件和第二转动部件由共同的转动部件形成。
26.根据权利要求24或25的设备，其中，电极具有圆柱形的形状，并且其中电极可绕着各自的中心轴相对于第二转动部件的其余部分旋转。
27.根据权利要求23或24的设备，其中，第一转动部件和/或第二转动部件至少大致具有圆柱形形状，第一转动部件和/或第二转动部件绕着其中心轴可旋转。
28.根据权利要求24和26的设备，其中，设置用于一方面使电极绕着其中心轴且另一方面使第二转动部件绕着第二转动轴根据特定的传输率转动的传输机构。
29.根据权利要求14-28中任一项的设备，其中，电极主要容纳于屏蔽部件的凹腔中并以有限程度延伸出屏蔽部件。
30.一种其上具有导电图案的电介质衬底，通过使用根据权利要求1-13中的任一种方法增大其厚度。
31.一种用于电解地增大电介质衬底上的导电图案的厚度的方法，包括步骤—将其上具有图案的衬底浸入电解槽中，—在衬底浸没期间，在电解槽中使图案和带负电的电极电接触，其中，电极根据相对于电解槽固定的、循环的更远的运动路径移动，该更远的运动路径部分地在电解槽中延伸且部分在电解槽上方延伸。
32.根据权利要求31的方法，其中，当电极经过在电解槽上方延伸的所述更远的运动路径的所述部分时，将电极更换为另一电极。
33.根据权利要求31或32的方法，其中，在电解槽中产生的远离电极的衬底侧上的液面高于面向电极的衬底侧上的液面。
34.一种用于电解地增大电介质衬底上的导电图案的厚度的设备，包括用作电解槽的容器、用于在电解槽中定位其上具有图案的衬底的第一定位机构、用于与图案电接触的带负电的电极、和以电极在电解槽中与图案电接触的方式定位电极的第二定位机构；其中所述的第一定位机构包括用于使其上具有图案的衬底根据运动路径移动进入电解槽、经过电解槽和移出电解槽的第一移动机构，并且其中所述的第一移动机构包括用于使其上具有图案的衬底经过该外围部件的至少部分周围的外围部件，沿着外围部件的周围设置有多个细长电极，该电极的纵向至少大致彼此平行地垂直于运动路径延伸，所述外围部件设置有两个环形凸缘，运动路径在其间延伸。
全文摘要
本发明提供了一种用于电解地增大电介质衬底上的导电图案的厚度的方法，包括步骤将其上具有图案的衬底浸入电解槽中；在衬底浸没期间，在电解槽中使图案和带负电的电极导电接触；和在衬底浸没期间，在电解槽中实现电极和图案相互接触地运动。本发明还提供了一种用于电解地增大电介质衬底上的导电图案的厚度的设备。
文档编号C25D17/00GK1717153SQ20051006855
公开日2006年1月4日 申请日期2005年2月7日 优先权日2004年2月9日
发明者P·J·G·勒曼斯, A·C·M·范德芬 申请人:Besi电镀有限公司