供给管和具有该供给管的混合储液池的制作方法

文档序号:5288960阅读:374来源:国知局
专利名称:供给管和具有该供给管的混合储液池的制作方法
技术领域
本发明涉及供给管和具有该供给管的混合储液池。
背景技术
制作印刷电路板可包括多种电镀工艺。可通过将电镀溶液弓I至施加有电压的基板 来执行电镀工艺。这里,电镀溶液可以由多种溶液的混合剂构成,因此,如果该多种溶液没 有均勻混合,则会产生电镀偏差。因此,需要均勻混合的电镀溶液来改善电镀的质量。尤其,随着当前向更小尺寸电 路图案发展的趋势,电镀溶液的均勻混合与电镀中的偏差直接相关,因此,迫切需要该问题 的解决方案。

发明内容
本发明提供了一种可以提供均勻混合的液体的供给管和具有该供给管的混合储 液池。本发明的一方面提供了一种具有结合至其内部的板形构件的供给管。该板形构件 产生湍流以使流动液体混合。该板形构件可以以下方式结合使该板型构件与液体的流动方向平行。该板形构 件可以被配置为多个板形构件。多个板型构件可以设置在一行上。任意两个相邻的板形构件之间的距离可以短于 板形构件的长度。任意两个相邻的板形构件中的一个相对于该任意两个相邻的板形构件中的另一 个可以是倾斜的。任意两个相邻的板形构件可以是垂直设置的。本发明的另一方面提供了一种混合储液池。根据本发明的一个实施例的混合储液 池可以包括如上所述的供给管和与该供给管相连并且存储液体的存储槽。本发明的附加的方面和优点将部分地在随后的说明书中阐述,并且部分地从说明 书中显而易见,或者可通过本发明的实践获知。


图1是示出使用根据本发明的一个实施例的混合储液池的电镀工艺的示图。图2是根据本发明的一个实施例的混合储液池的透视图。图3是根据本发明的一个实施例的供给管的透视图。
具体实施例方式通过以下附图和描述,本发明的特征和优点将变得显而易见。以下将参照附图更详细地描述根据本发明的特定实施例的混合储液池。那些相同 或相应的部件均被赋予相同的参考标号而与图号无关,并省略了重复的描述。图1是示出使用根据本发明的一个实施例的混合储液池100的电镀工艺的示图。 如图1所示,可以通过将电压施加到基板10,然后在基板10上喷射电镀溶液,同时在水平方 向上连续送入基板10来执行电镀工艺。这里,电镀溶液可以是包括金属离子和各种添加剂的有机物和无机物的混合剂。 无机物可以包括例如H20、H2SO4和CuS04。电镀溶液存储在电镀储液池(下文中,称作混合 储液池100)中并且可以通过喷嘴20喷射至基板10。图2是根据本发明的一个实施例的混合储液池100的透视图。如图2所示,混合 储液池100可以包括存储槽110、进口管112和供给管120。存储槽110可以容纳电镀溶液。多个进口管112可结合至存储槽110的一侧。进 口管112的数量可以与要被混合的溶液类型的数量相匹配。供给管120可结合至存储槽110的一端部。板形构件IM可结合至供给管120的 内部。板形构件1 可以通过向流过供给管120的液体提供流阻来产生湍流。由于该湍流,包括在液体中的各种物质可以混合在一起。因此,输入存储槽110的 不同液体可以在流过供给管120时通过由板形构件IM生成的湍流而混合在一起。当混合储液池100用作电镀储液池时,如在本实施例的情况中,包括在电镀溶液 中的各种物质可以在流过供给管120时混合在一起,因此,可以制备更均勻的电镀溶液。这 可以防止由电镀溶液的不均勻导致的电镀偏差。可以存在以以下方式结合至供给管120内部的多个板形构件124 多个板形构件 IM与电镀溶液的流动方向平行。由于多个板形构件IM与电镀溶液的流动方向平行,所以 可以最低程度地减小供给管120内部的横截面面积,因此,可以最低程度地减小流量同时 在电镀溶液中产生湍流。可以垂直设置相邻的板形构件124,并且通过该设置,可以增加由多个板形构件 IM产生的湍流的效果,因此,可以使供给管120内部的混合作用最大化。图3是根据本发明的一个实施例的供给管120的透视图。如图3所示,相邻的板 形构件IM可以彼此分离,并且在任意两个相邻的板形构件IM之间的距离dl可短于两个 相邻的板形构件124中的每一个在电镀溶液流动方向上的长度d2。相邻的板形构件IM之间的这种结合关系可以进一步增强电镀溶液的湍流效果 和混合作用。下面,假设将三种类型的溶液输入电镀储液池。在供给管120不具有板形构件124 的情况下,流过供给管120的电镀溶液不是均勻的。在供给管120具有垂直设置在供给管120内部的板形构件124的情况下,电镀溶 液在流过供给管120时能够均勻混合。因此,本实施例的混合储液池100可以在不具有附加的混合装置的情况下,均勻 地混合存储在存储槽110中的各种物质。虽然已经参照特定实施例详细地描述了本发明的精神,但是这些实施例仅用于示
4例目的,而不应限制本发明。可以理解,在不背离本发明的范围和精神的情况下,本领域的 技术人员可以对这些实施例进行改变或修改。
权利要求
1.一种供给管,具有结合至其内部的板形构件,所述板形构件配置为产生湍流,以使流 动液体混合。
2.根据权利要求1所述的供给管,其中,所述板形构件以以下方式结合使所述板形构 件与所述液体的流动方向平行。
3.根据权利要求1所述的供给管,其中,所述板形构件被配置为多个板形构件。
4.根据权利要求3所述的供给管,其中,所述多个板形构件被设置成一行。
5.根据权利要求4所述的供给管,其中,任意两个相邻的板形构件之间的距离短于所 述板形构件的长度。
6.根据权利要求4所述的供给管,其中,任意两个相邻的板形构件中的一个相对于所 述任意两个相邻的板形构件中的另一个是倾斜的。
7.根据权利要求6所述的供给管,其中,任意两个相邻的板形构件是垂直设置的。
8.一种混合储液池,包括根据权利要求1至权利要求7中任何一项所述的供给管; 以及存储槽,与所述供给管相连并且被配置为存储液体。
全文摘要
本发明了一种供给管和具有该供给管的混合储液池。该供给管具有结合至其内部的板形构件,并且板形构件产生湍流以使流动液体混合。根据本发明的一个实施例的供给管和具有该供给管的混合储液池可以提供均匀混合的液体同时供给液体。
文档编号C25D17/00GK102115905SQ20101018855
公开日2011年7月6日 申请日期2010年5月25日 优先权日2009年12月30日
发明者崔昌焕, 崔然弘, 李孝锡, 柳达铉 申请人:三星电机株式会社
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