一种用于电沉积的阴极移动装置制造方法

文档序号:5285236阅读:458来源:国知局
一种用于电沉积的阴极移动装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于电沉积的阴极移动装置,由驱动源、联轴器、阴极移动机构、支架、挂具组成。阴极移动机构由驱动轴、两个曲柄、连杆、辅助轴组成。阴极移动装置工作时,驱动源通过联轴器带动阴极移动机构运动,以铰接于连杆上的挂具带动与其连接的工件作轨迹为圆的平面运动。调整连杆相对于曲柄的位置关系还可以改变工件作各向平面移动的幅度。此装置能在阴极表面上各处获得分布均一性好的相对液流速度与电流密度,且结构简单、成本低廉、维修方便,极大地改善了镀层表面质量,提高了镀层厚度的均匀性,具有广泛的实用性。
【专利说明】一种用于电沉积的阴极移动装置

【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种阴极移动装置,特别是一种用于电沉积的阴极移动装置,属于电沉积设备领域。

【背景技术】
[0002]电沉积技术在工业上应用至今已有180多年的历史,是一种非常重要的现代加工技术。电沉积不仅是一种金属表面防护和装饰加工手段,其功能性用途也越来越广泛,尤其是在电子工业、通信和军工、航天等领域。此外,电沉积还可以镀出各种二元合金、三元合金、复合材料、纳米材料,并可实现在金属材料和非金属材料上电沉积。要满足上述用途,镀层厚度分布的均匀性是关键指标。工业中一般采用阴极移动的方式以实现沉积层全局表面上的液流相对流速相同并获得尽可能均匀的电流密度。
[0003]专利号为200710134845.X和201210435459.5的发明专利分别公布了一种实现阴极上下移动和水平往复移动的装置,此装置中阴极只能在一个方向上直线移动,不能实现沉积层表面各部位电流密度分布相对均匀。虽然专利号为95217081.7的实用新型专利公布了一种作圆运动的电镀阴极移动装置,大大提高了工件表面上各处液流相对速度的均一性和电流密度分布的均匀性,但结构复杂、实现困难、成本较高。
[0004]因此,有必要提出一种能在阴极表面上各处获得分布均一性好的相对液流速度与电流密度,且结构简单、成本低廉、维修方便的阴极移动装置。


【发明内容】

[0005]为了克服上述技术的不足,本实用新型提出一种由驱动轴(3)、两个曲柄(4)、连杆(5)、辅助轴(6)组成阴极移动机构的能在阴极表面上各处获得分布均一性好的相对液流速度与电流密度的、结构简单、成本低廉、维修方便、用于电沉积的阴极移动装置。
[0006]本实用新型采用的技术方案是:一种用于电沉积的阴极移动装置,包括驱动源(1)、联轴器(2)、阴极移动机构、支架(7)、挂具(8)。所述的阴极移动机构由驱动轴(3)、两个曲柄(4)、连杆(5)、辅助轴(6)组成;所述的驱动轴(3) —端通过联轴器(2)与驱动源
(I)同轴联接,另一端与曲柄⑷垂直固定联接;所述的辅助轴(6) —端与曲柄⑷垂直固定联接,另一端铰接在支架(7)上;所述的驱动轴(3)和辅助轴(6)同轴;所述的连杆(5)两端与两个曲柄(4)垂直固定联接;所述的挂具(8)铰接于连杆(5)上。
[0007]所述的两个曲柄(4)形状尺寸相同、平行正对竖直放置,且长度大于I厘米。
[0008]所述的连杆(5)呈水平状态放置,且长度大于I厘米。
[0009]与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:能在阴极表面上各处获得分布均一性好的相对液流速度与电流密度、结构简单、成本低、维修方便。

【专利附图】

【附图说明】
[0010]图1是一种用于电沉积的阴极移动装置示意图。
[0011]图中:1、驱动源;2、联轴器;3、驱动轴;4、曲柄;5、连杆;6、辅助轴;7、支架;8、挂具;9、工件。

【具体实施方式】
[0012]下面结合附图1对本实用新型的实施例作进一步描述。
[0013]本实用新型包括驱动源1、联轴器2、阴极移动机构、支架7、挂具8。阴极移动机构由驱动轴3、两个曲柄4、连杆5、辅助轴6组成。驱动源I为可调速电机;联轴器2为弹性联轴器;驱动轴3 —端通过弹性联轴器2与可调速电机I同轴联接,另一端与曲柄4垂直固定联接;两个曲柄4形状尺寸相同、平行正对竖直放置,且长度大于I厘米;连杆5呈水平状态放置,且长度大于I厘米;辅助轴6 —端与曲柄4垂直固定联接,另一端铰接在支架7上;驱动轴3和辅助轴6同轴;两个曲柄4上均开设滑槽,连杆5两端为外螺纹结构并与滑槽用螺母垂直固定联接;挂具8铰接于连杆5上。
[0014]如图1,阴极移动装置工作时,可调速电机I通过弹性联轴器2带动阴极移动机构运动,以铰接于连杆5上的挂具8带动与其连接的工件9作轨迹为圆的平面运动。如需调整工件9作各向平面移动的幅度,只要调整连杆5相对于曲柄4的位置关系即可。
【权利要求】
1.一种用于电沉积的阴极移动装置,包括驱动源(1)、联轴器(2)、阴极移动机构、支架(7)、挂具(8),其特征在于:所述的阴极移动机构由驱动轴(3)、两个曲柄(4)、连杆(5)、辅助轴(6)组成;所述的驱动轴(3) —端通过联轴器(2)与驱动源(I)同轴联接,另一端与曲柄(4)垂直固定联接;所述的辅助轴(6)—端与曲柄(4)垂直固定联接,另一端铰接在支架(7)上;所述的驱动轴(3)和辅助轴(6)同轴;所述的连杆(5)两端与两个曲柄(4)垂直固定联接;所述的挂具(8)铰接于连杆(5)上。
2.根据权利要求1所述的一种用于电沉积的阴极移动装置,其特征在于:所述的两个曲柄(4)形状尺寸相同、平行正对竖直放置,且长度大于I厘米。
3.根据权利要求1所述的一种用于电沉积的阴极移动装置,其特征在于:所述的连杆(5)呈水平状态放置,且长度大于I厘米。
【文档编号】C25D21/10GK204198890SQ201420591581
【公开日】2015年3月11日 申请日期:2014年10月14日 优先权日:2014年10月14日
【发明者】明平美, 李慧娟, 包晓慧, 张晓东, 周维海, 毕向阳 申请人:河南理工大学
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