一种陶瓷基板表面选择性制备金锡共晶焊料的方法与流程

文档序号:12416462阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种陶瓷基板表面选择性制备金锡共晶焊料的方法,其特征在于包括以下步骤:

(1)陶瓷基板上物理法或电化学方法镀上金属层;

(2)在金属层上用光刻技术进行处理得到图形层;

(3)用金属的蚀刻液对金属层进行蚀刻,得到图形化的金属层;

(4)在图形化的金属层上电沉积金锡合金,形成焊料,电沉积采用的金锡合金电镀液为无氰体系的电镀液,包括金盐、锡盐,光亮剂、络合剂和抗氧化剂。

2.根据权利要求1所述的陶瓷基板表面选择性制备金锡共晶焊料的方法,其特征在于所述陶瓷基板为氧化铝陶瓷基板或氮化铝陶瓷基板。

3.根据权利要求1所述的陶瓷基板表面选择性制备金锡共晶焊料的方法,其特征在于所述陶瓷基板的厚度为0.5~5μm。

4.根据权利要求1所述的陶瓷基板表面选择性制备金锡共晶焊料的方法,其特征在于所述金属层的厚度在1~100nm。

5.根据权利要求1所述的陶瓷基板表面选择性制备金锡共晶焊料的方法,其特征在于所述光刻技术是光刻胶技术,包括正胶刻技术或负胶刻技术。

6.根据权利要求1所述的陶瓷基板表面选择性制备金锡共晶焊料的方法,其特征在于所述图形层为连续的图形。

7.根据权利要求1所述的陶瓷基板表面选择性制备金锡共晶焊料的方法,其特征在于所述的金锡合金电镀液中还包括铟盐和镓盐。

8.根据权利要求1所述的陶瓷基板表面选择性制备金锡共晶焊料的方法,金锡合金电镀液的pH为3~7。

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