技术总结
本实用新型涉及电镀工具技术领域，具体讲的是一种用于深孔电镀的电镀制具及电镀方法，用于深孔电镀的电镀制具，包括第一支架(1)和第二支架(2)，第一转轮(4)、第二转第一转轮(4)上设有第一销轴(7)，第二转轮(5)上设有第二销轴(8)，第一销轴(7)与第二销轴(8)之间设有连接杆(6)，连接杆(6)上固定连接有挂具(9)，还包括液泵(12)、水用电磁阀(13)和喷液组件(14)，电镀溶液被吸入液泵(12)并从喷液孔(15)喷出喷向样品(10)表面。采用这种结构后，提供一种使电镀溶液容易进入硅片样品上的深孔底部，从而可以获得深宽比较大的金属立柱的用于深孔电镀的电镀制具。
技术研发人员：吴泓均;王怿宁
受保护的技术使用者：宁波工程学院
文档号码：201621490640
技术研发日：2016.12.30
技术公布日：2017.07.21