1.本发明涉及光掩膜、金属掩膜和平板显示技术领域，具体为一种钛合金折叠手机衬板的制作工艺。
背景技术：
2.衬板是一种起到对折叠手机屏幕衬托作用的柔性可弯折板材。衬板结合铰链使置于其顶部的折叠屏幕在展开后，让折叠屏幕的折痕处显得更加平整。
3.目前折叠手机衬板已有技术的加工流程如下：基板清洗-涂覆感光胶-菲林曝光-显影蚀刻-清洗-模切检验出货。
4.折叠手机衬板已有技术的加工缺点如下：1.菲林曝光目前只能达到直线50um、圆弧100um的制作精度，难以满足折叠手机衬板越来越精细的加工精度；2.酸性蚀刻的方式对折叠手机衬板截面有较多损伤，会一定程度影响可折叠次数从而缩短折叠手机使用寿命；3.酸性蚀刻产生废液较多，污染严重。
技术实现要素：
5.有鉴于此，本发明的目的在于提出一种精度高、使用寿命长、无蚀刻废液以及较少污染的钛合金折叠手机衬板的制作工艺。
6.基于上述目的，本发明提供了一种钛合金折叠手机衬板的制作工艺，包括以下步骤：步骤一：采用光学玻璃或石英玻璃精密加工后为阴极基板，并对阴极表面磁控溅射镀三层膜；步骤二：通过光掩膜光刻机光刻阴极在基板阴极表面形成保护图层；步骤三：配制钛镍记忆合金电铸溶液；步骤四：将阴极基板与精密电铸的电铸溶液反应后再剥离产品形成折叠手机所需的手机衬板；步骤五：最后通过模切机和整平机对手机衬板模切、整平后出货。
7.作为本发明的一种优选技术方案，所述步骤一中钛合金材料的厚度为50um～100um，；采用真空磁控溅射技术对阴极表面镀膜，且真空环境下的真空度为5x10-3-5x-4
pa。
8.作为本发明的一种优选技术方案，所述步骤二中具体流程如下：阴极基板经清洗、匀光刻胶、光掩膜光刻。
9.作为本发明的一种优选技术方案，所述步骤三中配制的电铸溶液为钛镍记忆合金电铸溶液，钛镍合金比例为钛：45%%，镍50%，其它5%。
10.作为本发明的一种优选技术方案，所述步骤四中具体流程如下：将上述电铸溶液倒入电铸槽内-阴极基板置入芯模-电铸反应-脱模—后处理成为钛合金手机衬板。
11.作为本发明的一种优选技术方案，所述后处理的条件为：200～300℃下加热1～2h后进行退火处理。
12.作为本发明的一种优选技术方案，所述步骤五中模切机依外形切出折叠手机衬板，整平机整平折叠手机衬板，且整平的平整度为10um。
13.本发明的有益效果是：高精度：由于是利用光刻阴极电铸生产，所以直线精度可以达到10um+/-10%，圆弧精度可以达到20um+/-10%，大大延长可叠次数，折叠次数可以》=30万次；轻且薄：在保持支撑柔性屏的刚性的前提下，最薄可以做到50um-100um。且比重为4.6，大大轻于不锈钢的7.9，更轻更薄。同时保持支撑刚性。
具体实施方式
14.以下结合本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。
15.1、实施例：本发明提供了一种钛合金折叠手机衬板的制作工艺，包括以下步骤：步骤一：采用光学玻璃或石英玻璃精密加工后为阴极基板，并对阴极表面磁控溅射镀三层膜；步骤二：通过光掩膜光刻机光刻阴极在基板阴极表面形成保护图层步骤三：配制钛镍记忆合金电铸溶液；；步骤四：将阴极基板与精密电铸的电铸溶液反应后再剥离产品形成折叠手机所需的手机衬板；步骤五：最后通过模切机和整平机对手机衬板模切、整平后出货。
16.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
17.在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
18.最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
技术特征：
1.一种钛合金折叠手机衬板的制作工艺，包括以下步骤：步骤一：采用光学玻璃或石英玻璃精密加工后制成阴极基板，并对阴极表面磁控溅射镀三层膜；步骤二：通过光掩膜光刻机光刻阴极在阴极表面形成保护图层；步骤三：配制电铸溶液；步骤四：将阴极在电铸溶液中精密电铸反应后再剥离产品形成折叠手机所需的手机衬板；步骤五：最后通过模切机和整平机对折叠手机衬板模切、整平，自动光学检测（aoi）后出货。2.根据权利要求1所述的一种钛合金折叠手机衬板的制作工艺，其特征在于，所述钛合金折叠手机衬板的厚度为50um～100um，采用真空磁控溅射技术对阴极表面镀膜，并在真空环境下进行，且真空环境下的真空度为5x10-3-5x10-4
pa。3.根据权利要求1所述的一种钛合金折叠手机衬板的制作工艺，其特征在于，所述步骤二中具体流程如下：阴极基板经清洗、匀光刻胶、光掩膜光刻。4.根据权利要求3所述的一种钛合金折叠手机衬板的制作工艺，其特征在于，采用超声清洗器对阴极基板清洗；采用匀胶机涂覆光刻胶；利用光掩膜光刻机光刻。5.根据权利要求1所述的一种钛合金折叠手机衬板的制作工艺，其特征在于，所述步骤三中配制的电铸溶液为钛镍记忆合金电铸溶液，钛镍记忆合金比例为钛：45%、镍：50%、其它：5%。6.根据权利要求5所述的一种钛合金折叠手机衬板的制作工艺，其特征在于，所述步骤四中具体流程如下：将上述电铸溶液倒入电铸槽内-阴极基板置入芯模-电铸反应-脱模—后处理成为钛合金手机衬板。7.根据权利要求6所述的一种钛合金折叠手机衬板的制作工艺，其特征在于，折叠手机衬板精度为：直线精度10um，圆弧精度20um。8.根据权利要求1所述的一种钛合金折叠手机衬板的制作工艺，其特征在于，所述步骤五中模切机依衬板衬板外形切出折叠手机衬板，整平机整平衬板，且整平的平整度为10um，折叠次数可以达到20万次以上。
技术总结
本发明涉及光掩膜、金属掩膜和平板显示技术领域，具体为一种钛合金折叠手机衬板的制作工艺，包括以下步骤：采用光学玻璃或石英玻璃为基板，并对基板表面镀膜形成阴极基板；通过光掩膜光刻机光刻阴极在基板阴极表面光刻电铸图层；配制电铸溶液；将阴极基板与精密电铸的电铸溶液反应后再剥离产品形成折叠手机所需的手机衬板。本发明由于是利用光刻阴极电铸生产，所以直线精度可以达到10um+/-10%，圆弧精度为20um+/-10%，大大延长可叠次数，折叠次数大于等于30万次；在保持支撑柔性屏的刚性的前提下，最薄可以做到50um-100um，且比重为4.6，大大轻于不锈钢的7.9，更轻更薄，同时保持支撑刚性。支撑刚性。
技术研发人员：胡新源 曾强
受保护的技术使用者：深圳市久维光电有限公司
技术研发日：2022.09.02
技术公布日：2022/11/29