用于电镀设备的输送载体及电镀设备的制作方法

1.本实用新型涉及电路板加工设备技术领域，尤其涉及一种用于电镀设备的输送载体及电镀设备。


背景技术：

2.在电路板的电镀加工过程中，构成电镀层的物质从阳极板上溶解到电镀液中，并重新附着在连接阴极的电路板上形成电镀层。
3.现有的自动电镀加工设备中，一般采用输送载体对电路板的一端进行固定，当输送例如ic载板等薄型电路板时，其主要依靠电路板自身的重力来实现电路板的平展状态，但是由于电路板自身具有一定的柔性，在电镀输送的过程中便容易出现弯曲、卷曲、弯折等不良情况，严重影响电路板的电镀作业质量。
4.因此，有必要针对上述问题进行改进，以改变现状。


技术实现要素：

5.本实用新型提供一种用于电镀设备的输送载体及电镀设备，用于解决传统薄型电路板在电镀作业输送时容易出现弯曲等不良情况而影响电镀质量的问题。
6.本实用新型提出一种用于电镀设备的输送载体，包括：
7.承载结构，内部设有用于容纳电路板的容纳空间，且所述承载结构用于与外部的电镀电源电性连接；以及
8.夹持机构，包括多组夹持组件，多组所述夹持组件分别连接于所述承载结构，且其中至少两组所述夹持组件分别设于所述电路板的不同侧边，所述夹持组件用于分别电性连接于所述电路板和所述承载结构。
9.根据本实用新型的一个实施例，所述承载结构包括承载架和受电组件，所述受电组件连接于所述承载架，且所述受电组件用于与所述电镀设备的电镀槽活动连接，所述承载架通过所述受电组件与所述电镀电源电性连接，至少部分的所述夹持组件设于所述承载架上；
10.和/或所述输送载体设置有多个用于安装所述受电组件的安装位，且多个所述安装位间隔设置。
11.根据本实用新型的一个实施例，所述受电组件包括导电块和受电连接件，所述受电连接件分别活动连接于所述导电块和所述承载架，所述导电块用于与所述电镀槽活动连接并电性连接于所述电镀电源，所述受电连接件用于驱使所述导电块压紧所述电镀槽上的导电轨。
12.根据本实用新型的一个实施例，所述受电组件还包括受电弹性件，所述受电弹性件分别连接于所述受电连接件和所述承载架，并用于驱使所述导电块压紧所述导电轨。
13.根据本实用新型的一个实施例，所述承载结构还包括夹持框架，所述夹持框架相对于所述承载架的位置是可调节的，所述夹持框架与所述承载架围合形成所述容纳空间，
至少一组的所述夹持组件设于所述夹持框架上。
14.根据本实用新型的一个实施例，所述承载结构还包括活动连接于所述夹持框架的调节卡爪，所述夹持框架开设有多个调节槽，所述调节卡爪用于分别与不同的所述调节槽卡接配合。
15.根据本实用新型的一个实施例，所述夹持组件包括夹持件和夹持弹性件，所述夹持件活动连接于所述承载结构，所述夹持弹性件连接于所述夹持件并用于驱使所述夹持件抵接于所述电路板的外表面，且所述夹持件电性连接于所述承载结构；
16.和/或，位于所述电路板同一侧的多组所述夹持组件彼此间隔设置。
17.根据本实用新型的一个实施例，所述夹持机构还包括预紧组件，所述预紧组件分别活动连接于所述夹持组件和所述承载结构，并用于驱使所述夹持组件朝向远离所述容纳空间的方向移动。
18.根据本实用新型的一个实施例，所述输送载体还包括导向组件，所述导向组件设于所述承载结构上，所述导向组件包括多个导向件，多个所述导向件分别与所述电镀设备的电镀槽和所述承载结构活动连接。
19.本实用新型还提供了一种电镀设备，包括：
20.电镀槽，内部设有用于输送电路板的电镀腔；
21.供电装置，包括电镀电源和电极板，所述电极板容置于所述电镀槽内；以及
22.上述任意一项所述的输送载体，所述输送载体可活动地容置于所述电镀腔内，且所述电镀电源分别电性连接于所述输送载体和所述电极板。
23.实施本实用新型实施例，具有如下有益效果：
24.使用本实施例的输送载体输送电路板时，通过设置多组夹持组件对分别电路板的不同侧边进行加持固定，以提高夹持机构对电路板的夹持稳定性，从而避免输送电路板时出现变形的情况，进而提高电镀设备的电镀作业质量。
附图说明
25.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
26.其中：
27.图1是本实用新型的实施例中输送载体的主视结构示意图；
28.图2是图1中局部a的放大视图；
29.图3是图1中局部b的放大视图；
30.图4是本实用新型的实施例中输送载体的侧视结构示意图；
31.图5是图4中局部c的放大视图；
32.图6是本实用新型的实施例中受电组件与导电轨的组合状态示意图；
33.附图标记：
34.10、输送载体；100、承载结构；110、承载架；111、安装位；112、感应部；120、受电组件；121、导电块；122、受电连接件；123、受电弹性件；130、夹持框架；131、框架本体；1311、调
节槽；132、绝缘层；1321、连接孔；140、调节卡爪；200、夹持机构；210、夹持组件；211、夹持件；212、夹持弹性件；220、预紧组件；221、导向架；222、移动结构；2221、安装板；2222、移动架；223、预紧件；2231、预紧弹簧；2232、预紧导柱；300、导向组件；310、第一导向件；320、第二导向件；330、第三导向件；20、电路板；30、导电轨。
具体实施方式
35.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型中的附图，对本实用新型中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
36.参阅图1至图6所示，本实用新型实施例提供了一种用于电镀设备的输送载体10，其包括承载结构100和夹持机构200，承载结构100内部设有用于容纳电路板20的容纳空间，且承载结构100用于与外部的电镀电源电性连接；夹持机构200包括多组夹持组件210，多组夹持组件210分别连接于承载结构100，且其中至少两组夹持组件210分别设于电路板20的不同侧边，夹持组件210用于分别电性连接于电路板20和承载结构100。
37.使用本实施例的输送载体10输送电路板20时，通过设置多组夹持组件210对分别电路板20的不同侧边进行加持固定，以提高夹持机构200对电路板20的夹持稳定性，从而避免输送电路板20时出现变形的情况，进而提高电镀设备的电镀作业质量。
38.需要说明的是，本实施例的输送载体10可主要用于对例如ic载板等类型的柔性电路板进行输送，通过设置多组夹持组件210分别对柔性的电路板20的不同侧进行固定，可以保证电路板20整体处于平展的状态，并且该平展状态是通过电路板20外部的夹持组件210进行夹持而实现的，相较于传统采用电路板20自身重力实现平展的方式，可以有效保证电路板20能够在输送过程中不会由于受到外部力而导致其出现例如弯折等不良情况，从而保证电路板20的电镀作业质量。当然，本实施例的输送载体10也可以用于对例如pcb等类型的硬质电路板进行输送，通过对硬质的电路板20的多侧进行夹持固定，可以对电路板20的移动进行限位，从而提高电路板20的加工精度。
39.如图1所示的摆放状态，在本实施例中，其中两组夹持组件210分别设于电路板20的上下两侧，并通过两组夹持组件210分别夹持电路板20的上下两侧，即可保证电路板20在输送过程中的平展状态；在其他实施例中，其中两组夹持组件210也可以分别设于电路板20的相邻的两侧，例如上侧和左侧(右侧)，这样设置，两组夹持组件210可以分别对电路板20的两个方向的自由度进行限制，也可以对电路板20进行固定，在此不做唯一限定。
40.当然，在一些实施例中，当设置有多组夹持组件210时，例如其中三组夹持组件210分别设于电路板20的上侧、左侧和右侧(也可以选取电路板20的其他三个侧边)，可以进一步提高夹持组件210的夹持牢固性；可以理解地是，通过增加夹持组件210的数量可以有效提高夹持机构200的夹持牢固性。
41.参阅图2和图3所示，在一实施例中，夹持组件210包括夹持件211和夹持弹性件212，夹持件211活动连接于承载结构100，夹持弹性件212连接于夹持件211并用于驱使夹持件211抵接于电路板20的外表面，且夹持件211电性连接于承载结构100。
42.使用本实施例的夹持组件210时，首先将电路板20移动至容纳空间内，并使电路板20的其中一侧对应于一组夹持组件210的夹持件211，通过移动夹持件211以使其打开夹持位并将电路板20移动至夹持件211的夹持位内，之后夹持件211便可以在夹持弹性件212的弹性作用力下夹紧电路板20，从而实现夹持组件210固定电路板20的功能。
43.具体在本实施例中，夹持弹性件212为扭簧，通过采用扭簧驱动夹持件211转动，可以使夹持组件210整体具有紧凑的结构，从而有效减小夹持机构200的占用空间；在其他实施例中，夹持弹性件212也可以采用例如螺旋弹簧、板簧等类型的弹性件，在此不做唯一限定，在一些实施例中，夹持弹性件212也可以是例如直线气缸、油缸等类型的驱动元件，通过驱动元件对夹持件211进行驱动，可以进一步提高夹持组件210的夹持牢固性。
44.在一实施例中，位于电路板20同一侧的多组夹持组件210彼此间隔设置。
45.由此设置，当位于电路板20同一侧的多组夹持组件210对电路板20进行夹持固定时，可以提高夹持机构200与电路板20之间夹持力的均匀性，从而提高夹持机构200的夹持稳定性和夹持牢固性。
46.进一步地，参阅图2所示，夹持机构200还包括预紧组件220，预紧组件220分别活动连接于夹持组件210和承载结构100，并用于驱使夹持组件210朝向远离容纳空间的方向移动。
47.使用本实施例的输送载体10时，当夹持组件210夹持电路板20之后，预紧组件220可以驱使夹持组件210朝向远离容纳空间的方向移动，从而进一步提高输送载体10输送电路板20时电路板20的平展程度，使用效果好。
48.参阅图1和图2所示，具体在一实施例中，预紧组件220包括导向架221、移动结构222和预紧件223；导向架221连接于输送载体10的承载结构100；移动结构222活动连接于导向架221，且夹持组件210设于移动结构222上；预紧件223分别连接于移动结构222和导向架221，并用于驱使移动结构222朝向远离电路板20的方向移动。
49.在本实施例的预紧组件220中，通过设置预紧件223驱动移动结构222相对于导向架221移动，当夹持组件210夹持电路板20之后，预紧件223再为夹持组件210提供预紧力，以将电路板20拉紧，从而改善电路板20在输送过程中出现的变形问题，进而提高电路板20加工过程中的加工质量。
50.在一实施例中，移动结构222包括安装板2221和移动架2222，安装板2221连接于输送载体10，移动架2222与安装板2221滑动配合，且移动架2222的移动方向平行于电路板20，夹持组件210设于移动架2222上。
51.由此设置，当夹持组件210夹持电路板20之后，预紧件223可以驱动通过驱动移动架2222以带动安装板2221上的夹持组件210相对于承载结构100移动，以实现预紧组件220的预紧功能。通过将安装板2221和移动架2222采用滑动配合的方式进行连接，可以保证两者之间的运动平顺性，从而保证电路板20在拉伸之后能够保持平展的状态，同时也可以避免预紧组件220在拉伸电路板20时对其造成损伤。
52.具体地，输送载体10包括多组夹持组件210，位于电路板20同侧的多组夹持组件210间隔设置且分别连接于安装板2221。
53.在本实施例中，通过将多组的夹持组件210同时连接于安装板2221上，当预紧件223驱动移动架2222移动时，可以同时带动多组夹持组件210一同移动，从而保证电路板20
的边缘受力的均匀度，避免损伤电路板20同时也提高夹持机构200的可靠性。
54.进一步地，参阅图2和图4所示，预紧组件220还包括导向结构，导向结构包括导向孔和预紧导柱2232，导向孔与预紧导柱2232滑动配合，且导向孔和预紧导柱2232分别设于导向架221和移动结构222上。
55.由此设置，当移动结构222在预紧件223的驱动作用下相对于导向架221移动时，通过预紧导柱2232和导向孔的配合可以对移动结构222的移动进行导向；具体地，导向孔的轴线可以平行于电路板20的平面，由此可以降低在拉伸电路板20对其造成的损伤；当然，在一些实施例中，预紧导柱2232的轴线也可以根据需求调整为与电路板20的平面之间具有夹角，在此不做唯一限定。
56.在一实施例中，导向结构的数量为多组，且多组导向结构沿移动结构222的延伸方向平行且间隔设置。
57.在本实施例中，通过设置多组导向结构连接导向架221和移动结构222，可以进一步提高移动结构222的移动平顺性，使用效果好。
58.具体地，导向架221开设有活动槽和导向槽，导向槽连通于活动槽的内壁，移动结构222可活动地容置于活动槽内，并与导向槽滑动配合。
59.由此设置，当移动结构222相对于导向架221移动时，通过设置的导向槽可以对移动结构222的移动进行导向；在较佳实施例中，导向槽可以是c型槽，并且导向槽对称设于移动结构222的相对两侧，由此即可对移动结构222的滑动方向进行限位，同时可以避免移动结构222从导向槽和活动槽中脱出；另外，通过将移动结构222可活动地设于活动槽和导向槽内，也可以使预紧组件220整体具有更为紧凑的结构，便于夹持机构200的安装和布置。具体在一实施例中，夹持组件210设于安装板2221上，并且安装板2221与导向槽滑动配合。
60.在一实施例中，预紧件223包括预紧弹簧2231，预紧弹簧2231分别抵接于导向架221和移动结构222，并用于驱动移动结构222朝向远离电路板20的方向移动。
61.使用本实施例的夹持机构200时，当夹持组件210夹持电路板20的边缘之后，移动结构222可以在预紧弹簧2231的弹性作用力下朝向远离容纳空间的方向移动，以对电路板20进行拉伸来保证其表面平整。
62.在另一实施例中，预紧组件220还包括驱动结构和拉力传感器，拉力传感器分别连接于驱动结构和移动结构222，驱动结构用于驱动移动结构222朝向远离电路板20的方向移动。
63.在本实施例中，驱动结构可以是例如直线气缸、油缸等直线驱动元件，通过设置拉力传感器连接驱动结构和移动结构222，拉力传感器可以实时获取预紧组件220的拉力数据，以避免对电路板20造成损伤；当然，在本实施例中，预紧组件220也可以包括例如plc、工控机、单片机等类型的控制模块，并信号连接于拉力传感器和驱动结构，从而使预紧组件220具有自动控制且具有负反馈控制的预紧操作功能。
64.参阅图1、图3和图4所示，具体在一实施例中，承载结构100包括上述任意一项实施例中的承载架110以及夹持框架130；夹持框架130包括框架本体131和绝缘层132，框架本体131与承载架110围合形成用于容纳电路板20的容纳空间，绝缘层132至少部分设于框架本体131朝向容纳空间的一侧。
65.在本实施例的承载结构100中，通过在框架本体131上设置绝缘层132，并且绝缘层
132位于容纳空间的外侧，当电镀设备对容纳空间内的电路板20进行电镀操作时，通过绝缘层132分隔电路板20和框架本体131，可以使电路板20边缘处的电荷能够转移至框架本体131上，从而改善电镀设备中的电流边缘效应。
66.具体地，绝缘层132至少部分包覆于框架本体131朝向容纳空间的一侧。
67.在本实施例中，仅需使绝缘层132能够在框架本体131与电路板20进行间隔即可，当仅将绝缘层132设于框架本体131朝向容纳空间的一侧时，框架本体131远离容纳空间的一侧便可以无需设置绝缘层132，由此可以降低夹持框架130的制造成本。
68.参阅图3和图4所示，在一实施例中，绝缘层132开设有连接孔1321，电路板20在框架本体131上的正投影至少部分与连接孔1321重合，且连接孔1321的开口朝向电路板20的边缘，以使电路板20经由电镀液通过连接孔1321与框架本体131电性连接。
69.通过在绝缘层132上设置连接孔1321，可以保证电镀液中的电荷可以通过连接孔1321与框架本体131接触，以改善电路板20边缘处的电荷状态，从而改善电镀设备在电镀作业时的电流边缘效应。
70.进一步地，连接孔1321的数量为多个，且多个连接孔1321沿框架本体131的延伸方向间隔设置。
71.可以理解地是，通过沿电路板20的边缘间隔设置多个连接孔1321，可以保证电荷与框架本体131接触的均匀度，电荷转移效果得以提高。
72.在一些实施例中，绝缘层132可拆卸连接于框架本体131，和/或绝缘层132相对于框架本体131的位置是可调节的。
73.由此设置，绝缘层132可以通过例如磁吸、粘贴、卡扣连接等可拆卸连接的方式与框架本体131连接，当无需使用绝缘层132时可以将其拆下；或是对绝缘层132在框架本体131上的位置进行调节，以调节绝缘层132的遮挡位置和范围，使用效果好。
74.具体地，参阅图1所示，绝缘层132与电路板20的边缘平行和/或间隔设置。
75.可以理解地是，通过将绝缘层132设置为平行和/或与电路板20间隔设置，可以保证电荷能够在两者之间的电镀液内进行一次均匀化，从而提高绝缘层132的遮挡效果，进而提高改善电流边缘效应的效果。
76.在一实施例中，绝缘层132包括特氟龙层。
77.可以理解地是，特氟龙层具有良好的耐磨性以及绝缘性能，采用特氟龙层作为绝缘层132可以有效提高绝缘层132的耐用性。
78.在一实施例中，参阅图1和图4所示，承载结构100还包括受电组件120，受电组件120连接于承载架110，且受电组件120用于与电镀设备的电镀槽活动连接，承载架110通过受电组件120与电镀电源电性连接，至少部分的夹持组件210设于承载架110上。
79.通过在承载架110上设置受电组件120与电镀槽活动连接，可以避免承载架110直接与电镀槽接触而产生磨损；同时也可以根据电镀设备的实际作业需求选用对应材质的受电组件120，当出现磨损时也可以仅更换对应的受电组件120，无需对承载结构100整体进行更换，维护成本也得以降低。
80.具体地，参阅图1所示，受电组件120包括导电块121和受电连接件122，受电连接件122分别活动连接于导电块121和承载架110，导电块121用于与电镀槽活动连接并电性连接于电镀电源，受电连接件122用于驱使导电块121压紧电镀槽上的导电轨30。
81.在本实施例中，通过设置受电连接件122连接导电块121和承载架110，当承载结构100在电镀槽内进行移动时，受电连接件122可以相对于两者运动而使不同位置的导电块121能够紧贴电镀槽，从而保证受电组件120的受电稳定性，进而提高电路板20的电镀质量。
82.进一步地，参阅图4所示，受电组件120还包括受电弹性件123，受电弹性件123分别连接于受电连接件122和承载架110，并用于驱使导电块121压紧导电轨30。
83.由此设置，当输送载体10相对于电镀槽移动时，导电块121可以与电镀槽的导电轨30滑动或滚动接触，通过设置的受电弹性件123驱使受电连接件122带动导电块121朝向导电轨30移动，可以使导电块121与导电轨30紧贴，以保证两者之间的受电效果。具体地，受电弹性件123可以采用例如扭簧、弹簧、弹片等类型的弹性元件，在此不做唯一限定。
84.参阅图1所示，在一实施例中，承载结构100还包括夹持框架130，夹持框架130相对于承载架110的位置是可调节的，夹持框架130与承载架110围合形成容纳空间，至少一组的夹持组件210设于夹持框架130上。
85.使用本实施例的输送载体10时，可以根据电路板20的实际尺寸调节夹持框架130与承载架110之间相对位置，来调节容纳空间的整体尺寸，从而保证夹持组件210能够处于最佳的夹持位置，之后再辅以预紧组件220的预紧效果，可以保证电路板20能够平整且稳定地固定在夹持机构200上，使用效果好。
86.具体地，参阅图1和图4所示，承载结构100还包括活动连接于夹持框架130的调节卡爪140，夹持框架130开设有多个调节槽1311，调节卡爪140用于分别与不同的调节槽1311卡接配合。
87.由此设置，当夹持框架130与承载架110之间调节至预设位置之后，调节卡爪140可以与框架本体131对应位置的调节槽1311卡接配合，以对夹持框架130的位置进行固定；当需要调节时，仅需移动调节卡爪140以使其与调节槽1311分离即可，结构简单，操作便捷。进一步地，参阅图1所示，输送载体10还包括导向组件300，导向组件300设于承载结构100上，导向组件300包括多个导向件，多个导向件分别与电镀设备的电镀槽和承载结构100活动连接。
88.参阅图5所示，在一实施例中，导向组件300包括第一导向件310、第二导向件320和第三导向件330，且第一导向件310、第二导向件320和第三导向件330均转动连接于承载架110，第一导向件310和第三导向件330间隔且平行设置，第二导向件320的旋转轴与第一导向件310垂直设置。
89.由此设置，当第一导向件310、第二导向件320和第三导向件330与电镀槽配合之后，通过设置的第一导向件310和第三导向件330可以对输送载体10的水平方向移动进行限位，第二导向件320可以与电镀槽的顶部滚动接触，由此可以对输送载体10的竖向移动进行限位，通过三者的配合可以降低输送载体10相对于电镀槽移动时的摩擦损耗，使用效果好。
90.在其他实施例中，导向组件300也可以设置为两个或三个以上，具体根据输送载体10的实际输送需求调节即可，在此不做唯一限定。
91.进一步地，参阅图6所示，输送载体10设置有多个用于安装受电组件120的安装位111，且多个安装位111间隔设置。
92.如图6所示的实施例中，电镀设备同时输送至少四组输送载体10，且其中四组输送载体10的受电组件120分别设置于不同的安装位，此时电镀槽上也设置有四组与四个安装
位对应位置的电路板20，这样设置即可使多组输送载体10能够分别与不同的导电轨30实现电路导通，从而提高电镀设备的运行可靠性，避免多组电镀电源之间互相干扰，使用效果好。
93.本实用新型还提供了一种电镀设备，其包括电镀槽、供电装置以及上述任意一项实施例中的输送载体10；具体地，电镀槽内部设有用于输送电路板20的电镀腔；供电装置包括电镀电源和电极板，电极板容置于电镀槽内；输送载体10可活动地容置于电镀腔内，且电镀电源分别电性连接于输送载体10和电极板。在本实施例中，电镀电源可以是整流机。
94.参阅图1和图4所示，在一实施例中，承载架110还设有感应部112，电镀设备还设置有位置传感器，位置传感器用于获取感应部112的位置信号。
95.具体地，如图1所示的实施例中，其中两组夹持机构200分别夹持于电路板20的相对两侧，两组绝缘层132分别设于电路板20的另外两侧。
96.由此设置，夹持组件210可以主要用于与电路板20形成闭合回路进行电镀作业，绝缘层132设于电路板20的相对两侧以保证绝缘层132隔离电荷的均匀度(即使位于电路板20相对两侧的夹持框架130均可以获取电荷)，从而进一步提高电镀设备改善电流边缘效应的效果。
97.在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
98.在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型实施例中的具体含义。
99.在本实用新型实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
100.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型实施例的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
101.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。