一种电镀液废液离心处理器的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及电镀技术领域，具体地涉及一种电镀液废液离心处理器。
【背景技术】
[0002]随着半导体芯片的集成度不断提高，晶体管的特征尺寸不断缩小。进入到130纳米技术节点之后，受到铝的高电阻特性的限制，铜互连逐渐替代铝互连成为金属互连的主流。
[0003]电镀池内的各成分的含量都是有一定范围限制的，若是超标，会导致电路板过连、电镀速率变慢等等。在电镀过程中往往会使得电镀池内的电解液的某些成分的含量超标，从而产生不良影响，因此需要对超标的成分进行处理。
【发明内容】
[0004]本实用新型旨在提供一种电镀液废液离心处理器，该种电镀液废液离心处理器，可以利用离心作用对电镀液处理，使电镀液分层，再将分层后的电镀液逐层提取出来。
[0005]为达到上述目的，本实用新型的技术方案是:一种电镀液废液离心处理器，包括处理池，所述处理池底部连接可控电机，所述处理池分层设置，所述上一层的处理池的开口略高于底部，所述每一层处理池设置有出水管，所述出水管连接阀门。
[0006]进一步的，所述处理池的最底层设置有水泵。
[0007]进一步的，所述处理池为螺旋状。
[0008]进一步的，所述处理池分有三层。
[0009]本实用新型的有益效果是:该种电镀液废液离心处理器，可以利用离心作用对电镀液处理，使电镀液分层，再将分层后的电镀液逐层提取出来。使用螺旋状结构，电镀液可以再离心作用下有效分层，结构简单，控制方式简单，安全环保，成本低廉，可以将电解液循环使用。
【附图说明】
[0010]图1是本实用新型镀液成份超标自动处理的镀液池的结构示意图；
【具体实施方式】
[0011]为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合【具体实施方式】并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。
[0012]如图1所示，一种电镀液废液离心处理器，包括处理池1，处理池I底部连接可控电机2，处理池I分层设置，最好为三层，形状最好为螺旋状，上一层的处理池的开口 4略高于底部，每一层处理池I设置有出水管3，出水管连接阀门5，处理池I的最底层设置有水泵，可以将多余的无法排出的电镀液排出。使用螺旋状结构，电镀液可以再离心作用下有效分层。每一层的处理池都是倾斜的，出水管设置在低端，这样有利于液体的排出。该种结构简单，控制方式简单，安全环保，成本低廉，可以将电解液循环使用。
[0013]应当理解的是，本实用新型的上述【具体实施方式】仅仅用于示例性说明或解释本实用新型的原理，而不构成对本实用新型的限制。因此，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。此外，本实用新型所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。
【主权项】
1.一种电镀液废液离心处理器，包括处理池，其特征在于，所述处理池底部连接可控电机，所述处理池分层设置，所述上一层的处理池的开口略高于底部，所述每一层处理池设置有出水管，所述出水管连接阀门。
2.根据权利要求1所述的电镀液废液离心处理器，其特征在于，所述处理池的最底层设置有水泵。
3.根据权利要求1所述的电镀液废液离心处理器，其特征在于，所述处理池为螺旋状。
4.根据权利要求1所述的电镀液废液离心处理器，其特征在于，所述处理池分有三层O
【专利摘要】本实用新型公开了一种电镀液废液离心处理器，包括处理池，所述处理池底部连接可控电机，所述处理池分层设置，所述上一层的处理池的开口略高于底部，所述每一层处理池设置有出水管，所述出水管连接阀门。该种电镀液废液离心处理器，可以利用离心作用对电镀液处理，使电镀液分层，再将分层后的电镀液逐层提取出来。使用螺旋状结构，电镀液可以再离心作用下有效分层，结构简单，控制方式简单，安全环保，成本低廉，可以将电解液循环使用。
【IPC分类】C25D21-18
【公开号】CN204509507
【申请号】CN201520054336
【发明人】赵进明
【申请人】淮安国丰电子科技有限公司
【公开日】2015年7月29日
【申请日】2015年1月27日