专利名称：直爪转子真空泵的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种转子真空泵，确切地说是一种直爪转子真空泵。
背景技术：
目前，国内外公知的爪式真空泵均采用成对的全摆线型的转子，依靠转子本身的独特的曲线结构来实现在泵腔腔体360度园周内旋转时的全程啮合。但是，这种爪式转子存在一个缺点，即受其结构所限，加工精度不易保证。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种直爪转子真空泵，其直爪转子加工生产难度相对降低，易于实现大批量生产。这种直爪转子真空泵专门用于半导体工业，极限真空度为0.1-3帕。
本实用新型是这样实现的它包括基座2、泵腔3、转子对4、电机16，电机16转轴与安装于泵体内的主动轴5经传动装置与从动轴6配合连接，转子对4通过键槽配合安装在主动轴5和从动轴6上，泵腔3串联安装在基座2上。
本实用新型的优点是直爪转子，加工方便，容易控制精度，各级转子对安装时均有90度的相位差，被抽气体流动顺畅，过压缩量小，使得此型泵的极限真空度可达0.1-3帕。
图1是本实用新型的结构示意图图2是图1的B-B剖视图图3是图1的A-A剖视图具体实施例
以下结合附图对实施例作详细描述。
由图1-3可知，本实用新型是由四级泵腔3，位于泵腔内的传子对4，基座2，前油箱19，主动轴5，从动轴6，齿轮箱7，主动齿轮9，从动齿轮13，电机16，连接架15，连轴器14等组成。电机16转动轴通过连轴器14与主动轴5配合连接，主动轴5经从动齿轮13与从动轴6连接，转子对4通过键槽配合串接在主动轴5和从动轴6上，每级键槽的相位差为90度，四级泵腔3串联安装在基座2上，进气过滤器18垂直安装在顶轴承座17上，排气消音阀20垂直安装在基座2上，电机16通过连接架15与基座2右端连接，整个泵体水平座落在底座1上。
转子的周边型体由直线23、园弧25、摆线24、园弧26、摆线27，包络线28、园弧29七段曲直线平滑连接。
基座2内装有主轴承8，主密封体11，基座2将泵腔3和齿轮箱7隔开，主动轴5和从动轴6均由主轴承8(两处)定位，在两轴端安装有主动齿轮9和从动齿轮13，在齿轮箱7上还装有辅助轴承10，辅助密封体12。
各级泵腔3上装配独立的进水调节器21与泵腔内的冷却水道22相连通。各级泵腔3上装有由截止阀，节流阀，单向阀组成的掺气装置30。
图3还显示了在泵腔3内由转子对4的凸起的直爪所隔开的吸气腔a与排气腔b，转子对4按图示方向旋转时(图示为排气将结束时的位置)，吸气腔不断增大而吸气，排气腔不断缩小而排气，周而复始完成抽气过程。
权利要求1.一种直爪转子真空泵，包括基座(2)、泵腔(3)、转子对(4)、电机(16)，其特征在于电机(16)转轴与安装于泵体内的主动轴(5)经传动装置与从动轴(6)配合连接，转子对(4)通过键槽配合安装在主动轴(5)和从动轴(6)上，泵腔(3)串联安装在基座(2)上。
2.根据权利要求1所述的直爪转子真空泵，其特征在于每级键配合的相位差为90度。
3.根据权利要求1所述的直爪转子真空泵，其特征在于转子对(4)的周边型体由直线(23)、园弧(25)、摆线(24)、园弧(26)、摆线(27)、包络线(28)、园弧(29)七段曲直线平滑连接。
4.根据权利要求1所述的直爪转子真空泵，其特征在于各级泵腔装配独立的进水调节器(28)与泵腔内的冷却水道(22)相连通。
5.根据权利要求1所述的直爪转子真空泵，其特征还在于各级泵腔(3)上装有由截止阀、节流阀、单向阀组成的掺气装置(30)。
专利摘要直爪转子真空泵，由泵体、转子对、底座、主动轴、从动轴、电机、连接器、连轴器、进气装置等组成。其特点在于转子的周边型体由七段曲直线平滑连接，各级转子对安装时均有90度的相位差，同时对各级泵腔内的吸排气进行了合理安排，使被抽气体流动顺畅，使泵的极限真空度达0.1－3帕，它主要为半导体工业制作芯片所用。
文档编号F04C2/00GK2674154SQ0326048
公开日2005年1月26日 申请日期2003年9月3日 优先权日2003年9月3日
发明者于传跃 申请人:于传跃