专利名称：真空微系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空设备技术领域，特别涉及一种真空微系统。
背景技术：
某些研究和制造加工要求使用具有真空的加工腔室。例如，必须去除在加 工中可能会引起化学反应或物理损坏的大气成份。例如，使用真空扰乱存在于 通常室内状态内存在的平衡状态，从大量材料(如除气油、冷冻干燥)去除挥 发液体或吸留的或溶解的气体，或者从表面脱附气体(例如在制造加工期间清 洗微波管)。
另外，在微粒与另一微粒碰撞之前该微粒必须运动的路程需要延长的加工 过程中使用真空，从而允许微粒在源和目标之间进行一无碰撞过程(例如在真 空涂覆、粒子加速器、电视显像管中)。
还有，在通过减少每秒钟的分子碰撞次数而备制清洁表面中使用真空。这 减少了污染的可能性(例如在清洁表面研究和备制纯洁的、薄的膜片中)。在 半导体晶片加工中，在薄膜片喷镀和蚀刻操作期间使用真空，主要用于减少污 染。
因此，真空的应用越来越广泛。随之而来，真空抽气系统的需求也日渐增 多和复杂。
然而，现有的真空抽气系统都非常复杂，对真空设备不是很熟悉的用户， 很难一下子操作、控制起来。这样，真空抽气系统操作人员一旦不在现场，一 般工作人员就不能进行真空抽气。
另外，现有的真空抽气系统，因非常复杂，常被固定到工厂等建筑物上， 很难适应临时变动的工作场所的要求，尤其不能满足突发的、在野外或较小场 地的特殊需要。
发明内容
本实用新型在于解决上述问题，提供一种容易携带、操作简便的真空微系 统，该真空微系统只要插上电源，接上软管，就可以"一步到位"地满足用户 对真空的需求。
本实用新型所要解决的技术问题可以通过以下技术方案来实现
真空微系统，包括一环保型真空泵，其特征在于，在所述环保型真空泵的 抽气口通过一 KF卡箍连接有一手动阀，所述手动阀的另一接口接一三通，所 述三通的一个接口接一真空表，所述三通的另一接口接一真空液体粉尘过滤 器，在所述真空液体粉尘过滤器的进气口上接一抽真空软管。
在本实用新型中，所述环保型真空泵包括一油箱，所述油箱的上部设置有 加油口，下部设置有放油口和2/3油标，在所述加油口和所述放油口上分别塞 有加油塞和放油塞。
在本实用新型中，所述真空液体粉尘过滤器的设置有排液口，所述排液口 上塞有排液塞。
本实用新型的真空抽气系统是以环保型真空泵为主机，配备手动阀，可以 调节流量大小，同时可以开关真空系统。手动阀通过KF卡箍与真空泵连接， 可以360°旋转，客户安装使用方便，同时也能很好地密封手动阀与真空泵连 接处的密封。设置真空表可以满足对真空度的测量要求，采用真空液体粉尘过 滤器，可以使泵免于粉尘与液体的破坏。增加软管柔性连接，使用、安装非常 方便。
本实用新型的真空微系统只要插上电源，接上软管，就可以"一步到位" 地满足用户对真空的需求，极大地方便了用户，特别是对真空设备不是很熟悉 的用户。另外，本实用新型的真空抽气系统可方便用户在较小活动场地内的使 用。
以下结合附图和具体实施方式
来进一步说明本实用新型。
图1为本实用新型的真空微系统结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白 了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。
如
图1所示，本实施例的真空微系统，包括一环保型真空泵l，该环保型
真空泵1包括一个油箱2，在环保型真空泵1的抽气口 11通过一 KF卡箍3连 接有一手动阀4，手动阀4的另一接口接一三通5，三通5的一个接口接一真 空表6，三通的另一接口接一真空液体粉尘过滤器7，在真空液体粉尘过滤器7 的进气口 71上接一抽真空软管8。
油箱2的上部设置有加油口，下部设置有放油口和2/3油标21，在加油口 和放油口上分别塞有加油塞22和放油塞23。
真空液体粉尘过滤器7的设置有排液口，排液口上塞有排液塞71。 本实施例采用的KF卡箍3为本行业技术人员所熟知，在此不再详细描述。 以上是本实用新型的实施方式之一，对于本领域内的一般技术人员，不花 费创造性的劳动，在上述实施例的基础上可以做多种变化，同样能够实现本实 用新型的目的。但是，这种变化显然应该在本实用新型的权利要求书的保护范 围内。
权利要求1.真空微系统，包括一环保型真空泵(1)，该环保型真空泵(1)包括一油箱(2)，其特征在于，在所述环保型真空泵(1)的抽气口(11)通过一KF卡箍(3)连接有一手动阀(4)，所述手动阀(4)的另一接口接一三通(5)，三通(5)的一个接口接一真空表(6)，所述三通(5)的另一接口接一真空液体粉尘过滤器(7)，在所述真空液体粉尘过滤器(7)的进气口(71)上接一抽真空软管(8)。
2. 如权利要求1所述的真空微系统，其特征在于，所述油箱(2)的上 部设置有加油口，下部设置有放油口和2/3油标(21)，在加油口和放油口上 分别塞有加油塞(22)和放油塞(23)。
3. 如权利要求1所述的真空微系统，其特征在于，所述真空液体粉尘过 滤器(7)的设置有排液口，排液口上塞有排液塞(71)。
专利摘要真空微系统，包括一环保型真空泵，其在环保型真空泵的抽气口通过一KF卡箍连接有一手动阀，手动阀的另一接口接一三通，三通的一个接口接一真空表，三通的另一接口接一真空液体粉尘过滤器，在真空液体粉尘过滤器的进气口上接一抽真空软管。本实用新型的真空抽气系统是以带油箱的真空泵为主机，配备手动阀，可以调节流量大小，同时可以开关真空系统。手动阀通过KF卡箍与真空泵连接，可以360°旋转，客户安装使用方便，同时也能很好地密封手动阀与真空泵连接处的密封。设置真空表可以满足对真空度的测量要求，采用真空液体粉尘过滤器，可以使泵免于粉尘与液体的破坏。本实用新型增加软管与真空系统柔性连接，使用安装非常方便。
文档编号F04C25/00GK201187451SQ20082005784
公开日2009年1月28日 申请日期2008年4月29日 优先权日2008年4月29日
发明者任利民 申请人:任利民