专利名称：无油干式螺杆真空泵的制作方法
技术领域：
本实用新型属于真空泵领域，具体涉及一种无油干式螺杆真空泵。
背景技术：
作为抽气设备的真空泵，随着工业需要的不同，有各种形式的真空泵，二十世纪主导这 一技术领域的产品是油润滑和密封的泵，这类泵排出油雾，严重地污染了环境；随着工业发 展和环境保护的要求，传统的油封式真空泵已满足不了当前多方面的技术要求，主要体现在 以下两个方面 一是以半导体行业为代表，要求真空泵不向被抽空间返流油蒸汽，以免工件 受污染，通常使用油封式真空泵是在进气口安装冷阱捕捉油蒸汽，但也很难做到返流为零； 二是以石化行业为代表，要求真空泵能大量抽除可凝性蒸汽，或有毒、腐蚀性气体，或含有 微小颗粒的气体，由于泵油在油封式机械泵运转过程中起着润滑、密封、冷却等作用，上述 气体与泵油长期作用结果是使泵油性能劣化、失效。螺杆真空泵具有无油、结构简单、没有 易损件、寿命长的优点，不会有油雾排出，不污染工件，但是现有技术的螺旋真空泵，在单 级状态下进行高压压縮，会产生很多的压縮热量，在螺旋转子或螺纹的外圆与泵体内壁之间 很难保持间隙，而引起胶着事故；科学技术的高速发展和环境保护的要求以及特殊行业要求 真空泵工作时不污染工件，能够抽除可凝性气体，或腐蚀性气体，带有微小颗粒的气休等等， 而当前国内市场上的真空泵特别是抽速30L/S以上的无油干式真空泵还没有满足市场需求的
广叩o
实用新型内容
本实用新型的目的是解决现有技术干式真空螺杆泵螺杆温度过高、应用范围小的缺陷， 提供一种螺杆工作温度低，应用范围广的无油干式螺杆真空泵。
本实用新型是通过以下技术方案来是实现的 即一种无油干式螺杆真空泵，包括泵体，泵体上设有吸气口，泵体两端设有前盖和后盖，其 特征在于泵体与前盖之间设有排气端盖，排气口位于排气端盖的下部，泵体内设有相互啮合 的主动螺杆和从动螺杆，主动螺杆和从动螺杆的两端用轴承及轴承座支撑固定，所述轴承及 轴承座固定在排气端盖和后盖上，主动螺杆和从动螺杆采用了等螺距、大导程、双面不对称 型线，主动螺杆和从动螺杆大于或等于2个导程，主动螺杆上凹面与从动螺杆大径螺旋线共 扼，从动螺杆下凹面与主动螺杆大径螺旋线共扼，主动螺杆凸面和从动螺杆凸面为相互共轭的螺旋曲面。这种型线设计保证了级间泄漏最小，抽气效率和极限真空度高的优点。
主动螺杆和从动螺杆的两端均设有去重孔，沿螺旋线和螺旋方向，从端面向里延伸
0.2~0.5个导程。去重孔的形状弓所在处的螺杆的形状和螺旋方向相同或近似相同，可以保证
主动螺杆和从动螺杆的静平衡和动平衡。
排气端盖中设有机械密封，后盖中设有骨架密封。
主动螺杆通过联轴器与电动机连接，主动螺杆和从动螺杆上装有啮合的齿轮，主动螺杆 带动从动螺杆同步反向运转。
泵体、排气端盖、后盖、前盖设有相通的水道。
泵体排气侧设有1-3个掺气孔。防止可凝性气体凝结，将其排出泵外，从排气孔进入的 干燥低温气体同时具有冷却螺杆工作温度的作用。
排气端盖与主动螺杆结合的部位设有前定位护板，排气端盖与从动螺杆结合的部位设有 排气护板，后盖与主动螺杆和从动螺杆结合的部位设有后定位护板。本实用新型通过装配调 整主动螺杆、从动螺杆与排气护板、前定位护板、后定位护板之间的端面间隙和调整主动螺 杆、从动螺杆之间的间隙，使两个螺杆在旋转工作时的间隙适当，从而保证本实用新型在正 常工作时达到技术要求。
泵体、主动螺杆、从动螺杆、排气护板、前定位护板、后定位护板的表面均设有0.05-0.5mm 厚的防腐涂层。
本实用新型具有结构紧凑、抽速大、真空度高，能直排大气，工作部件无摩擦、寿命长、 安全耐用、适用范围广的优点。本实用新型的泵体、排气端盖、前盖、后盖设有相通的水道， 水道中的循环水，对螺杆起到很好的冷却作用，降低了主动螺杆和从动螺杆的工作温度；排 气端盖中的机械密封将泵腔与轴承和齿轮箱完全隔离，保证了泵腔的工作压力，杜绝了返油 现象。后盖中的骨架油封保护了后轴承的工作环境，使轴承长期得到油脂的可靠润滑；泵体、 主动螺杆、从动螺杆、排气护板、前定位护板、后定位护板的防腐涂层使本实用新型能够胜 任大多种有腐蚀气体的环境，解决了以往这方面的难题。
图1为本实用新型的结构示意图2为图1中的A部放大示意图3为本实用新型主动螺杆和从动螺杆的结构示意图。
如图屮所示1后轴承；2后骨架油封；3后盖；4从动螺杆；5主动螺杆；6泵体；7 掺气口； 8前定位护板；9机械密封；IO前轴承座；ll甜轴承；12-1齿轮；12-2齿轮；13胀
4套；14甜盖轴承；15前盖骨架油封；16联轴器；17电机支架；18电机；19前盖；20前盖
水道；21端盖水道；22排气口； 23端盖；24排气护板；25泵体水道；26吸气口； 27后定 位护板；28后轴承座；29后盖水道；30主动螺杆防腐涂层；31后定位护板防腐涂层；32 泵体涂层；33从动螺杆去重孔；34主动螺杆去重孔；35主动螺杆下凹面；36.主动螺杆大径 螺旋线；37主动螺杆上凹面；38主动螺杆凸面；39主动螺杆去重孔；40从动螺杆去重孔； 41从动螺杆下凹面；42从动螺杆大径螺旋线；43从动螺杆上凹面；44从动螺杆凸面。
具体实施方式
如图1所示，电机支架17固定在前盖19上，与本实用新型成为一体，固定在电机支架 17上的电机18通过联轴器16连接主动螺杆5，齿轮12-1通过胀套13固定在主动螺杆上， 从动螺杆4上的齿轮12-2以同样方式固定，齿轮12-2与齿轮12-1齿数相同，在主动螺杆5 的带动下从动螺杆4以相反方向同步运转，相互啮合的主动螺杆5、从动螺杆4放置在泵体6 内，两端用前轴承11和后轴承1支撑届定，前轴承ll、前轴承座10及后轴承1、后轴承座 28分别固定在排气端盖23和后盖3上，排气端盖23与主动螺杆5结合的部位设有前定位护 板8，排气端盖23与从动螺杆4结合的部位设有排气护板24，后盖3与主动螺杆5、从动螺 杆4结合的部位设有后定位护板27，通过装配调整主动螺杆5、从动螺杆4与排气护板24、 前定位护板6、后定位护板27之间的端面间隙和调整主动螺杆5、从动螺杆4之间的间隙， 使两个螺杆在旋转工作时的间隙适当，从而保证本实用新型在正常工作时达到技术要求，机 械密封9安装在排气端盖23中，骨架油封2安装在后盖3上，从两端将泵腔密封起来。主动 螺杆5的轴伸出端前盖轴承14，增加了输入轴的运动支点，前盖骨架油封15有效地防止齿 轮箱的油外漏。泵体水道25和排气端盖水道21、后盖水道29、前盖水道20相通。吸气口 26设置在泵体6上方，排气门22设置在排气端盖23下方。
如图2所示，泵体6的表面设有泵体防腐涂层32、主动螺杆5的表面设有主动螺杆防腐 涂层30、后定位护板27的表面设有后定位护板防腐涂层31，从动螺杆上的防腐涂层与主动 螺杆设置相同，排气护板24、前定位护板6上的防腐涂层与后定位护板27的设置相同。
如图3所示，主动螺杆5和从动螺杆4采用了等螺距、大导程、双面不对称型线，主动 螺杆5和从动螺杆4大于或等于2个导程，主动螺杆5的两端面设有主动螺杆去重孔34和主 动螺杆去重孔39，从动螺杆4的两端面设有从动螺杆去重孔33和从动螺杆去重孔40,上述 去重孔在铸造时成型，可以保持主动螺杆5和从动螺杆4的动平衡和静平衡。主动螺杆上凹 面37与从动螺杆大径螺旋线42共扼，从动螺杆下凹面41与主动螺杆大径螺旋线36共扼， 主动螺杆凸面38和从动螺杆凸面44为相互共轭的螺旋曲面。
5本实用新型工作时不需要任何工作介质，被抽气体从吸气U 26吸入泵体6，通过主动螺 杆5和从动螺杆4将气体推向排气端，直接通过排气U22排向大气，工作过程清洁无任何污 染，经试验，使用本实用新型极限真空可达到5Pa-30Pa左右，完全实现了无油干式真空工作 状态。
本实用新型不局限于以上实施例，如较大型规格的螺杆泵将不用电机支架，直接放置在 专用底盘上固定泵体和电机。
权利要求1、一种无油干式螺杆真空泵，包括泵体，泵体上设有吸气口，泵体两端设有前盖和后盖，其特征在于泵体与前盖之间设有排气端盖，排气口位于排气端盖的下部，泵体内设有相互啮合的主动螺杆和从动螺杆，主动螺杆和从动螺杆的两端用轴承及轴承座支撑固定，所述轴承及轴承座固定在排气端盖和后盖上，主动螺杆和从动螺杆采用了等螺距、大导程、双面不对称型线，主动螺杆和从动螺杆大于或等于2个导程，主动螺杆上凹面与从动螺杆大径螺旋线共扼，从动螺杆下凹面与主动螺杆大径螺旋线共扼，主动螺杆凸面和从动螺杆凸面为相互共轭的螺旋曲面。
2、 根据权利要求1所述的无油干式螺杆真空泵，其特征在于主动螺杆和从动螺杆的两端 均设有去重孔，去重孔的形状与所在处的螺杆的形状和螺旋方向相同，沿螺旋线和螺旋方向 从两端面向螺杆体内延伸0.2-0.5个导程。
3、 根据权利要求1所述的无油干式螺杆真空泵，其特征在于排气端盖中设有机械密封， 后盖中设有骨架密封。
4、 根据权利要求1所述的无油干式螺杆真空泵，其特征在于主动螺杆通过联轴器与电动 机连接，主动螺杆和从动螺杆上装有啮合的齿轮，主动螺杆带动从动螺杆同步反向运转。
5、 根据权利要求1所述的无油干式螺杆真空泵，其特征在于泵体、排气端盖、后盖、前 盖设有相通的水道。
6、 根据权利要求1所述的无油干式螺杆真空泵，其特征在于泵体排气侧设有1-3个掺气孔。
7、 根据权利要求1所述的无油干式螺杆真空泵，其特征在于排气端盖与主动螺杆结合的 部位设有前定位护板，排气端盖与从动螺杆结合的部位设有排气护板，后盖与主动螺杆和从 动螺杆结合的部位设有后定位护板。
8、 根据权利要求1或7所述的无油干式螺杆真空泵，其特征在于泵体、主动螺杆、从动 螺杆、排气护板、前定位护板、后定位护板的表面均设有0.05-0.5mm厚的防腐涂层。
专利摘要本实用新型属于真空泵领域，具体涉及一种无油干式螺杆真空泵。本实用新型的泵体、排气端盖、前盖、后盖设有相通的水道，水道中的循环水，对螺杆起到很好的冷却作用，降低了主动螺杆和从动螺杆的工作温度；排气端盖中的机械密封将泵腔与轴承和齿轮箱完全隔离，保证了泵腔的工作压力，杜绝了返油现象。后盖中的骨架油封保护了后轴承的工作环境，使轴承长期得到油脂的可靠润滑；泵体、主动螺杆、从动螺杆、排气护板、前定位护板、后定位护板的防腐涂层使本实用新型能够胜任大多种有腐蚀气体的环境，具有螺杆工作温度低、安全耐用、适用范围广的优点。
文档编号F04C29/12GK201344126SQ20082022596
公开日2009年11月11日 申请日期2008年11月21日 优先权日2008年11月21日
发明者孙成忠, 张东庆, 郭金光, 陈宗武 申请人:山东伯仲真空设备有限公司;孙成忠