专利名称：高真空玻璃油扩散泵的制作方法
技术领域：
本发明涉及真空玻璃油扩散泵，更具体地说，涉及一种高真空玻璃油扩散泵。
背景技术：
目前，常见的真空玻璃油扩散泵有两种，请参阅图1所示，一种为三级真空玻璃油扩散泵10，包括玻璃泵体11，泵体11上、下侧分别连有吸气管12和抽气管13，泵体11内设有输油管14，输油管14上从上到下分别设有三级喷嘴15。其工作原理是，在前级真空泵所造成的低真空条件下，通过加热泵内的硅油受热沸腾蒸发，生成油蒸汽，以略高速度通过该泵10各级喷嘴15的缝隙喷出，使泵体11内部的气体分子扩散到蒸汽中，并被带到前级真空泵所能作用的位置，再由前级真空泵通过抽气管13迅速抽出，从而使系统达到低真空要求。该泵10被广泛用于低真空抽气设备中，适用于电子工业(如电子管、显像管、X光管，半导体单晶硅)的冶炼提纯，低沸点的油脂蒸馏提纯分离以及普通日光灯、保温瓶高的真空排气。请参阅图2所示，另一种为四级真空玻璃油扩散泵20，该泵20与前者的主要区别在于泵体21内具有四级喷嘴25，并且在抽气管23—端上还设有双球冷水器沈。图2中的 22为吸气管，M为输油管。采用该泵20的抽真空度比前者略高，可用于中高真空抽气设备中，适用于电子工业的冶炼提纯，中沸点的油脂蒸馏提纯分离以及普通日光灯，保温瓶高真空排气的仪器。然而，随着社会的进步以及节能减排的大力提倡，越来越多的高效节能灯被广泛研制和使用，因此对其生产工艺中的抽真空度要求也越来越高，而采用现有的真空玻璃油扩散泵显然已无法较好的满足这个需求。
发明内容
针对现有技术中存在的上述缺点，本发明的目的是提供一种高真空玻璃油扩散泵，该泵能够有效提高系统的抽真空度。为实现上述目的，本发明采用如下技术方案该高真空玻璃油扩散泵包括主泵体，主泵体上下两侧分别连有吸气管和抽气管， 主泵体内设有输油管，输油管上从上至下设有四级喷嘴，该泵还包括一副泵体，连接设于抽
气管另一端，并且副泵体内还设有与抽气管相连通的数级喷嘴，副泵体的另一端设有抽气 □。所述的副泵体内设有的喷嘴为两级。所述的副泵体上端的内壁上还设有挡油环。所述的挡油环为上下两层。所述的抽气管与主泵体的连接端成喇叭状。在上述技术方案中，本发明的高真空玻璃油扩散泵包括主泵体，主泵体上下两侧分别连有吸气管和抽气管，主泵体内设有输油管，输油管上从上至下设有四级喷嘴，该泵还包括一副泵体，连接设于抽气管另一端，并且副泵体内还设有与抽气管相连通的数级喷嘴， 副泵体的另一端设有抽气口。通过副泵体与主泵体的喷嘴共同作用，能够将油蒸汽更加均勻的扩散到整个泵体及管路内，从而能够有效提高系统的抽真空度，完全满足各类高真空产品的生产工艺需求。
图1是现有技术的三级真空玻璃油扩散泵的结构剖视示意图；图2是现有技术的四级真空玻璃油扩散泵的结构剖视示意图；图3是本发明的高真空玻璃油扩散泵的结构剖视示意图。
具体实施例方式下面结合附图和实施例进一步说明本发明的技术方案。请参阅图3所示，本发明的高真空玻璃油扩散泵30包括由主泵体31和副泵体36， 主泵体31与现有技术的四级真空玻璃油扩散泵20 (见图2)的泵体21结构基本相同，同样也在主泵体31上下两侧分别连有吸气管32和抽气管33，主泵体31内设有输油管34，输油管34上从上至下设有第一至第四的四级喷嘴35，其中第四级喷嘴35朝向抽气管33。而副泵体32则连接设于抽气管33另一端，并且副泵体32内还设有与抽气管33相连通的数级喷嘴35，副泵体32的另一端设有抽气口 37。再次需要说明的是，副泵体32内的喷嘴35级数可以为一级也可以接两级或多级，以两级为较佳(图3中所示的即为两级)。而在这两级喷嘴35的上方、位于副泵体32的内壁上还设有挡油环38，用以防止喷出的油蒸汽直接喷入抽气口 37，该挡油环38以间隔设置上下的两层为较佳，该挡油环38可视作继副泵体32内的第五、第六级喷嘴35之后的第七级，因此，图3中所示的油扩散泵30也可称之为七级油扩散泵。另外，抽气管33与主泵体31的连接端39成喇叭状结构，能够提高由第四喷嘴35 喷出的油蒸汽从主泵体31进入抽气管33的流量和流速效果。再次需要说明的是，该泵整体均采用玻璃制作。该泵通过主泵体31内以及副泵体32内的多级喷嘴35同时碰出油蒸汽，使油蒸汽均勻的分布在整个泵体内，不留死角，从而能够使泵体内部的气体分子完全扩散到蒸汽中， 并被带到前级真空泵所能作用的位置，并由前级真空泵迅速抽出，达到高真空度要求。经过多次反复试验证明，采用本发明的高真空玻璃油扩散泵30所能达到的极限真空值可高达7. 5X10_6Pa，而现有的三级和四级真空玻璃油扩散泵10、20分别只能达到 3. OX 10 和3. OX 10_4Pa，因此，本发明的高真空玻璃油扩散泵30完全能够满足高真空生产工艺的需要，适用于电子工业、半导体单晶硅的冶炼提纯，中高沸点的油脂蒸馏提纯分离，普通日光灯，保温瓶高的真空排气，不仅限于无极灯的排气，而且激光管、低压钠灯、金卤灯、汞灯、节能灯等的真空排气都可广泛采纳使用。本技术领域中的普通技术人员应当认识到，以上的实施例仅是用来说明本发明， 而并非用作为对本发明的限定，只要在本发明的实质精神范围内，对以上所述实施例的变化、变型都将落在本发明的权利要求书范围内。
权利要求
1.一种高真空玻璃油扩散泵，包括主泵体，主泵体上下两侧分别连有吸气管和抽气管， 主泵体内设有输油管，输油管上从上至下设有四级喷嘴，其特征在于该泵还包括一副泵体，连接设于抽气管另一端，并且副泵体内还设有与抽气管相连通的数级喷嘴，副泵体的另一端设有抽气口。
2.如权利要求1所述的高真空玻璃油扩散泵，其特征在于 所述的副泵体内设有的喷嘴为两级。
3.如权利要求1所述的高真空玻璃油扩散泵，其特征在于 所述的副泵体上端的内壁上还设有挡油环。
4.如权利要求1所述的高真空玻璃油扩散泵，其特征在于 所述的挡油环为上下两层。
5.如权利要求1所述的高真空玻璃油扩散泵，其特征在于 所述的抽气管与主泵体的连接端成喇叭状。
全文摘要
本发明公开了一种高真空玻璃油扩散泵，该泵包括主泵体，主泵体上下两侧分别连有吸气管和抽气管，主泵体内设有输油管，输油管上从上至下设有四级喷嘴，该泵还包括一副泵体，连接设于抽气管另一端，并且副泵体内还设有与抽气管相连通的数级喷嘴，副泵体的另一端设有抽气口。通过副泵体与主泵体的喷嘴共同作用，能够将油蒸汽更加均匀的扩散到整个泵体及管路内，从而能够有效提高系统的抽真空度，完全满足各类高真空产品的生产工艺需求。
文档编号F04F9/02GK102278327SQ201010195670
公开日2011年12月14日 申请日期2010年6月8日 优先权日2010年6月8日
发明者邹仲秋 申请人:上海嘉定泰和玻璃厂, 上海易玺电子科技有限公司