专利名称：一种用于真空系统中的油扩散泵加热装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及油扩散泵技术领域，具体涉及一种用于真空系统中的油扩散泵加热装置。
背景技术：
用于真空系统中的油扩散泵的基本结构都包括泵体1，泵体1的底部一般为铁质的金属底板3，在泵体1内装有扩散泵油2。使用时，扩散泵油要被加热到200°C以上才能正常工作。目前，油扩散泵的加热方式一般采用电阻丝(电炉)进行加热，即将电炉盘设置于扩散泵底板3的下部。这种传统的加热方式存在诸多问题1、使用不方便电阻丝很容易烧断，需要经常更换，这给使用带来了很大不便，同时对于抽速较大的扩散泵，电炉极其笨重，从而给维修拆卸带来很大困难；2、影响产品的质量这种不稳定的加热方式，还会影响真空系统的正常工作，如果生产过程中出现电阻丝烧断而需要进行更换时，就会影响到产品的合格率；3、热效率低电炉盘面距离底板有较大距离(一般为几十毫米)，大量的热能会被空气带走，从而造成电阻丝的加热效率很低(加热效率一般只有50%左右)，对电能造成了极大的浪费；4、生产效率低由于是间接传热，要让油扩散泵达到需要的油温，升温过程非常慢，一般都在半小时以上，影响生产效率的提高。发明内容本实用新型要提供一种用于真空系统中的油扩散泵的加热装置，以克服现有技术存在的使用不方便、影响产品的质量、热效率低和生产效率低等问题。为克服现有技术存在的问题，本实用新型提供的一种用于真空系统中的油扩散泵的加热装置，其特征在于包括依次相接的励磁线圈、高频电源和控制器，励磁线圈的外侧设置有上部敞开的磁屏蔽外壳。本实用新型改变了原有的加热方式，利用电磁感应的方式，直接在底板内产生涡流，最终实现加热扩散泵油的目的。与现有技术相比，本实用新型的优点是热效率高、升温迅速、易于温控、拆卸方便，可实现高效率、快速、清洁的加热，加热装置的使用寿命长，免除更换电炉丝的麻烦，使用更方便。
图1是本实用新型的结构示意图。附图标记说明如下1一扩散泵体；2—扩散泵油；3—底板；4一磁屏蔽外壳；5—励磁线圈； 6—高频电源；7—控制器。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型进行详细地说明。一种用于真空系统中的油扩散泵的加热装置，包括依次相接的励磁线圈5、高频电源6和控制器7，励磁线圈5的外侧设置有上部敞开的磁屏蔽外壳4。本实用新型的工作原理是油扩散泵中，扩散泵体1内盛有扩散泵油2，扩散泵体1下部的底板3是直接的发热部件，将本实用新型所提供装置中的励磁线圈5放置于底板3 下部。使用时，打开控制器7的开关，高频电源6产生交流(1ΙΓ40ΚΗΖ)电信号，该电信号施加于励磁线圈5上，励磁线圈5表面产生交变的磁场，就会在底板3中产生涡流，涡流使底板3中的金属原子做高速无规则的热运动，原子之间互相剧烈碰撞而使底板3本身温度升高，以此达到加热扩散泵油的目的。由此可见，这一加热过程并非利用外界热源辐射到底板 3，而是底板3直接作为发热源，所以热效率可以达到90%以上，比电炉加热的热效率高出近一倍。因此该方法具有升温快、热效率高、无明火、不产生有害气体、对外界热辐射小、体积小、安全性好的优点。而其产生的非常有限的电磁辐射可以通过磁屏蔽外壳4加以屏蔽。
权利要求1. 一种用于真空系统中的油扩散泵的加热装置，其特征在于包括依次相接的励磁线圈(5)、高频电源(6)和控制器(7)，励磁线圈(5)的外侧设置有上部敞开的磁屏蔽外壳(4)。
专利摘要本实用新型涉及油扩散泵技术领域，具体涉及一种用于真空系统中的油扩散泵加热装置。现有的加热方式使用不方便电阻丝很容易烧断，需要经常更换；影响产品的质量加热方式不稳定，影响真空系统的正常工作；热效率低；生产效率低。为克服现有技术存在的问题，本实用新型提供的一种用于真空系统中的油扩散泵的加热装置，其特征在于包括依次相接的励磁线圈、高频电源和控制器，励磁线圈的外侧设置有上部敞开的磁屏蔽外壳。本实用新型改变了原有的加热方式，利用电磁感应的方式，直接在底板内产生涡流，最终实现加热扩散泵油的目的。本实用新型的优点是热效率高、升温迅速、易于温控、拆卸方便，加热装置的使用寿命长，使用更方便。
文档编号F04F9/00GK201982385SQ20112009561
公开日2011年9月21日 申请日期2011年4月2日 优先权日2011年4月2日
发明者弥谦, 徐均琪, 惠迎雪, 杭凌侠, 梁海锋, 苏俊宏 申请人:西安工业大学