一种蒸发设备冷却水系统失效的改造方法及结构的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种蒸发设备冷却水系统失效的改造方法及结构。该方法是在蒸发设备内加装一套冷阱，以便更快速的凝结蒸发设备中的水蒸气和其它高沸点气体，提高蒸发设备的抽速，提高系统真空度。本发明通过在蒸发设备内加装冷阱的方法来控制油分子上返，可以更快速的凝结真空系统中的水蒸气和其它高沸点气体，减少扩散泵返油造成的真空室污染，提高真空系统的抽速，提高系统真空度。
【专利说明】
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种蒸发设备冷却水系统失效的改造方法及结构，属于半导体生产设 备改造【技术领域】。 一种蒸发设备冷却水系统失效的改造方法及结构
【背景技术】
[0002] 现有的蒸发设备外壁设有放开式循环冷却水系统，该冷却水系统中的冷却水管太 细，使用一段时间之后，冷却水管通常会被污染和腐蚀，冷却水管内充满了污泥和菌藻类物 质，造成冷却水管堵塞，致使制冷效果变差，蒸发设备经常出现问题，影响产品质量，降低了 产品的成品率，会给企业带来很大的损失。
【发明内容】
[0003] 本发明的目的在于，提供一种蒸发设备冷却水系统失效的改造方法及结构，以解 决蒸发设备冷却水系统失效后制冷效果变差的问题，从而克服现有技术的不足。
[0004] 本发明的技术方案： 一种蒸发设备冷却水系统失效的改造方法，该方法是在蒸发设备内加装一套冷阱，以 便更快速的凝结蒸发设备中的水蒸汽和其它高沸点气体，提高蒸发设备的抽速，提高系统 真空度。
[0005] 前述方法中，所述冷阱底部设有油分子挡板，通过油分子挡板减少扩散泵返油造 成的真空室污染。
[0006] 前述方法中，所述冷阱的形状底部直径大于顶部直径的螺旋管，冷却水从冷阱底 部的螺旋管入口进入从冷阱顶部的螺旋管出口流出，通过冷却水使冷阱始终处于低温状 态，加速蒸发设备中水蒸汽在冷阱表面的凝结。
[0007] 根据上述方法构成的本发明的一种蒸发设备结构，包括蒸发设备的筒体，筒体的 下方设有加热器，筒体底部装有硅油，硅油液面以上的筒壁上设有排气口，筒体内设有蒸汽 导管，蒸汽导管顶部设有喷嘴，筒体的外壁设有冷却水管；所述蒸汽导管与筒体之间设有冷 阱。
[0008] 根据前述方法构成的蒸发设备结构中，所述排气口以上的筒体内壁设有油分子挡 板，冷阱坐落在油分子挡板上。
[0009] 根据前述方法构成的蒸发设备结构中，所述冷阱的形状为底大顶小的螺旋管，冷 阱底端设有进水口，冷阱顶端设有出水口。
[0010] 由于采用了上述技术方案，本发明与现有技术相比，本发明通过在蒸发设备内加 装冷阱的方法来控制油分子上返，可以更快速的凝结真空系统中的水蒸汽和其它高沸点气 体，减少扩散栗返油造成的真空室污染，提1?真空系统的抽速，提1?系统真空度。
【专利附图】
【附图说明】
[0011] 图1是本发明的结构示意图.
[0012] 图中的标记为：1-硅油、2-排气口、3-蒸汽导管、4-筒壁、5-喷嘴、6-冷却水管、 7-电炉、8-冷讲、9-油分子挡板、10-进水口、11-出水口。
【具体实施方式】
[0013] 下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明，但不作为对本发明的任何 限制。
[0014] 一种蒸发设备冷却水系统失效的改造方法，如图1所示，该方法是在蒸发设备内 加装一套冷阱，以便更快速的凝结蒸发设备中的水蒸汽和其它高沸点气体，提高蒸发设备 的抽速，提高系统真空度。冷阱底部设有油分子挡板，通过油分子挡板减少扩散泵返油造成 的真空室污染。冷阱的形状底部直径大于顶部直径的螺旋管，冷却水从冷阱底部的螺旋管 入口进入从冷阱顶部的螺旋管出口流出，通过冷却水使冷阱始终处于低温状态，加速蒸发 设备中水蒸汽在冷阱表面的凝结。根据上述方法构成的本发明的一种蒸发设备结构的结 构示意图如图1所示，该蒸发设备结构包括筒体4,筒体4的下方设有加热器7,筒体4底部 装有硅油1，硅油1液面以上的筒壁上设有排气口 2,筒体4内设有蒸汽导管3,蒸汽导管3 顶部设有喷嘴5,筒体4的外壁设有冷却水管6 ;所述蒸汽导管3与筒体4之间设有冷阱8。 排气口 2以上的筒体4内壁设有油分子挡板9,冷阱8坐落在油分子挡板9上，冷阱8的形 状为底大顶小的螺旋管，冷阱8底端设有进水口 10,冷阱8顶端设有出水口 11。
【权利要求】
1. 一种蒸发设备冷却水系统失效的改造方法，其特征在于：该方法是在蒸发设备内加 装一套冷阱，以便更快速的凝结蒸发设备中的水蒸汽和其它高沸点气体，提高蒸发设备的 抽速，提1?系统真空度。
2. 根据权利要求1所述方法，其特征在于：所述冷阱底部设有油分子挡板，通过油分子 挡板减少扩散泵返油造成的真空室污染。
3. 根据权利要求1所述方法，其特征在于：所述冷阱的形状底部直径大于顶部直径的 螺旋管，冷却水从冷阱底部的螺旋管入口进入从冷阱顶部的螺旋管出口流出，通过冷却水 使冷阱始终处于低温状态，加速蒸发设备中水蒸汽在冷阱表面的凝结。
4. 一种根据权利要求1-3任一权利要求所述方法构成的蒸发设备结构，包括蒸发设备 的筒体（4)，其特征在于：在筒体（4)的下方设有加热器（7)，筒体（4)底部装有硅油（1)，硅 油（1)液面以上的筒壁上设有排气口（2)，筒体（4)内设有蒸汽导管（3)，蒸汽导管（3)顶部 设有喷嘴（5)，筒体(4)的外壁设有冷却水管（6);所述蒸汽导管（3)与筒体（4)之间设有冷 阱(8)。
5. 根据权利要求4所述蒸发设备结构，其特征在于：所述排气口（2)以上的筒体（4)内 壁设有油分子挡板（9)，冷阱（8)坐落在油分子挡板（9)上。
6. 根据权利要求5所述蒸发设备结构，其特征在于：所述冷阱（8)的形状为底大顶小的 螺旋管，冷阱（8)底端设有进水口（ 10)，冷阱（8)顶端设有出水口（ 11)。
【文档编号】B01D1/00GK104056458SQ201410169932
【公开日】2014年9月24日 申请日期:2014年4月25日 优先权日:2014年4月25日
【发明者】贺波, 刘态铭, 朱建凯, 蒋秀英 申请人:中国振华集团永光电子有限公司