专利名称：螺杆式真空泵的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种螺杆式真空泵。
背景技术：
螺杆式真空泵在由泵壳体限定的增压室内包括两个螺杆转子。所述螺杆转子通常 两侧受支承并且能够具有不同的螺距轮廓。如例如“mitz”真空技术手册2010年第十版 270-277页所述，所述转子可以具有对称或不对称的齿廓。这种转子通常具有内置的压缩 比，即吸入侧室与压力侧室之间小于4的室容积比。当吸入压力高时，较高的压缩比导致非 常高的功率输入值。这将需要使用不成比例的大型驱动发动机(对比“mitz”，出处同上， 276页)。而且，压缩增强将导致螺杆转子的压力侧区域出现高温的问题。在这种情况下， 所需的散热不可能再通过泵壳体实现，使得散热将必须由螺杆转子的内部冷却实现。但是， 这种做法在技术层面上是复杂的，并且可能增加会制造和维护螺杆式真空泵的成本。为了允许高内置压缩比，“VDI-BeriCht”No. 1932,2006中描述了间隙高度应当进 行改变。在所述公布中，描述了吸入侧的间隙高度即尤其是螺杆转子与泵壳体之间的距离 应当构造为大于压力侧的间隙高度。由于随压力变化的流动类型是粘滞性的或分子型的， 因此在吸入侧的较大间隙是可以接受的。通过结合转子的转速减小，这一间隙具有这样的 效果在较高的吸入压力下，内部压缩将减小。其结果是压缩性能减弱，从而导致热量产生 减少。但是，不利地，这种内部压缩的减小还将导致吸入性能的减弱。而且，仅在一侧受支承或者以悬臂方式受支承的转子是已知的。其具有轴承仅需 设置于转子一侧的显著优点。这些轴承设置于压力侧，即传动侧。在这种设置中，不需要将 位于低压区域中的轴承安置于吸入侧。但是，以悬臂方式支承的螺杆转子必须具有短小设 计的转子，否则将产生在操作过程中转子之间相互接触的危险。转子的相对较短的构造长 度使得线圈的数目很小。而且，这种悬臂转子具有比较大的直径。转子长度与转子轴距之 间的比通常小于2. 5。泵元件通常由电机驱动。为了能够以简单的方式改变真空泵的转速，提供能够轻 易更改发动机转速的变频器是已知的。变频器是敏感电子构件。为了能够进行良好冷却并 且无振动地安置变频器，将变频器与泵分离地设置在独立于真空泵的电气柜中是已知的。 但是，特别是因为电气柜与电机之间所需的布线，所以这是一种复杂的方法。因此，通常优 选地将变频器直接设置于真空泵上。在直接设置于真空泵上的变频器中，提供空气冷却用于将变频器保持在低温是已 知的。在这种情况下，冷却通过外界空气实现，所述外界空气由通风单元吸入并且沿变频器 方向吹送。因此，冷却通过强制转换实现。但是，这种空气冷却装置具有不能实现或者至多 只能能够通过高费用实现高保护级别的缺点。对于较低保护级别而言，同样需要复杂壳体。 特别是在被污染的环境中，由于需要频繁的清洁过程以及过滤器更换，因此必需的维护工 作将增加。而且，通过自然对流冷却变频器是已知的，其中，根据这种方法，变频器的壳体直 接设置有冷却肋片。但是，只有当外界温度相对较低并且将在不会对变频器进行剧烈加热的性能范围内对泵进行操作时，这种设置才能实现。由于必须保证空气的自由进气，因此这 种设置伴随有污染的高风险。而且，提供具有直接水冷的变频器是已知的。在这种情况下，变频器连接于真空泵 的冷却表面。这种方法的缺点在于变频器将受到真空泵的振动的影响。而且，真空泵的冷却 要求必须与变频器的冷却要求相互一致。因此，所使用的变频器必须符合相应的要求。而 且，已知的是，提供用于变频器的单独冷却板，所述板连接于单独的冷却回路。这是相当复 杂的解决方案。一般而言，通过水冷装置冷却变频器具有这样的缺点一旦外界湿度高，则 变频器的内部也将产生冷凝液。考虑到上文所述内容，本发明的目的是提供一种符合现代高要求的螺杆式真空 泵。本发明的目的包括优选地提供具有低功率输入和/或低温度水平和/或低噪声水平和 /或紧凑高鲁棒性和/或长操作寿命和/或低维护密度和/或高内置压缩比的螺杆式真空 泵。本发明的目的尤其在于同时实现这些目的中的多个。
发明内容根据本发明的一方面，提供一种螺杆式真空泵，包括限定泵室的泵壳体；设置于 所述泵室中的两个螺杆转子，所述螺杆转子分别由两个轴承元件支承于所述泵壳体中并且 转子长度与转子轴距之间的比大于3. 0 ；其特征在于，所述螺杆转子具有可变螺距以及至 少7个线圈。根据本发明的另一方面，提供一种螺杆式真空泵，包括限定泵室的泵壳体；设置 于所述泵室中的至少一个螺杆转子；用于驱动所述至少一个螺杆转子的电机；以及变频 器，该变频器连接于所述电机，用于改变所述电机的转速；其特征在于，所述变频器设置于 与所述泵壳体直接连接的变频器壳体中；以及空气冷却装置和液冷装置，所述空气冷却装 置和液冷装置用于冷却设置于所述变频器壳体中的所述变频器。根据本发明的还一方面，提供一种螺杆式真空泵，包括限定泵室的泵壳体；设置 于所述泵室中的两个螺杆转子，所述螺杆转子分别由两个轴承元件支承于所述泵壳体中； 其特征在于驱动马达的转子，所述驱动马达的转子连接于两个转子轴中的一个并且优选地 由该轴支承。本发明的螺杆式真空泵包括其中限定了泵室的泵壳体。在所述泵室中设置有两个 螺杆转子。由于本发明的螺杆转子具有很大长度，因此这些螺杆转子分别在两侧受支承。 因此，设置有两个轴承元件用于各个螺杆转子。而且，螺杆转子具有相对较小的直径，使得 螺杆转子的长度与转子轴距之间的比大于3. 0，优选地大于3. 5并且更优选地大于4. 0。而 且，本发明的螺杆转子具有可变螺距并且包括至少7个优选地至少9个且更优选地至少11 个线圈。优选的冷凝比为至少4. 5，更优选地为至少5。考虑到本发明设置的高压缩比，为 了避免对转子的过热，转子在压力侧包括多个线圈，所述线圈的螺距仅略微变化或者完全 不变。因此，根据本发明，线圈一半之后的螺距小于转子出口处螺距的两倍。特别地，线圈 一半之后的螺距小于转子出口处螺距的1.5倍。由于本发明在转子的压力侧的螺距以及 优选地相应选择的间隙高度上的微小变化，压缩将沿转子的更长区域发生。根据本发明，由 于这种设置将增加散热，因此是相当有利的。其原因在于冷凝工作以及因此而产生的散热将基本发生在高压区域，并且根据本发明，由于产生这种高压的区域明显增大，因此吸收热 量的壳体表面区域也变大。根据本发明的螺杆式真空泵的优选实施方式，设置有螺杆转子， 每个所述螺杆转子仅包括一个螺纹。因此，通过本发明设置的螺杆转子的螺距仅有微小变化的压力侧的较长区域，实 现至少4. 5的压缩比以及耗散所产生的热量是可能的，从而防止转子变得过热。在这点上， 必须考虑到，在具有低压和相应高真空的区域中，由于低气体密度使得不能获得传递至壳 体的足够热量，因此散热仅发生在压力侧区域。本发明设计的具有高内置容量比的螺杆转子还具有另一个优点在低压的情况
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下，功率输入将很小。从而，在吸入能力方面，当输出压力在IOmbar时，能够实现小于
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的功率输入。根据特别优选的实施方式，散热仅通过泵壳体发生。因此，除了通过介质本身发生 的散热，散热优选地仅通过泵壳体以水冷和/或空气冷却的方式发生。这消除了在技术上 非常复杂的对转子进行内部冷却的需要。而且，本发明设置的转子的压力侧的螺距仅有微小改变的多个线圈具有显著减小 噪声产生的优点。这是由于压缩将沿较长区域发生，因此，上一室与气体排放区域之间的压 力差异将变小。从而减小了向后通风，否则这种向后通风将使得压力波导致噪声产生。由 于向后通风减小，自由吹出的噪声产生也将减小3-6dB(A)。由此产生的显著优点在于能够 提供较小的消音元件。由于能够减小所述消音器的结构体积，因此至少能够部分补偿由于 较长的螺杆转子导致的真空泵的结构长度的增加。而且，螺杆转子的轮廓优选地基本对称。优选形状包括梯形、圆滚线或渐开线轮 廓。优选地，间隙高度即尤其是螺杆转子与壳体内壁之间的距离选择为将产生压缩在转子 的出口侧的较长区域上延伸的效果。采用特别优选的方式，在螺杆式真空泵的冷状态下，冷
间隙的高度与轴距之间的比〉^。而且，优选地，在操作状态下，即当达到操作温度时，
12
冷间隙的高度与轴距之间的比。根据本发明，间隙高度优选地以这样的方式进行选
择在最终压力下的操作中，泵室压力将仅在从出口侧测量的大约20%的转子长度之后下 降为低于IOOmbar的平均泵室压力。根据优选的实施方式，本发明的螺杆式真空泵具有大于5000转/分的公称转速。 而且，为了避免过量增压，可以在螺杆转子的压力侧区域设置过压阀。除了设置过压阀，能 够可替换地或者另外地设置转速控制器。还能够通过适当地降低转速来避免过压。通过这 两种措施，能够有效地减小功率输入并且因此有效地降低内置马达性能。在本发明的真空泵中，根据独立实施方式，能够使设置于增压室中的所述至少一 个螺杆转子由电机驱动。为了改变电机的转速，电机连接于变频器。所述变频器连接于变 频器壳体——在下文中称作FC壳体，该FC壳体直接附连于泵壳体。根据本发明，所述FC 壳体包括空气冷却装置和液冷装置，空气冷却装置和液冷装置二者均用于冷却变频器。通 过本发明的空气制冷装置与液冷装置的结合，即使在高热应力作用于变频器的情况下也能 够保证变频器的可靠冷却，同时还避免了发生冷凝。[0021]优选地，FC壳体与泵壳体设置为一体单元，但是另一方面，所述两个壳体当然还能 够包括多个独立部件。FC壳体优选地直接连接于泵壳体，从而允许紧凑结构设计。所述空气冷却装置优选地包括鼓风机单元，以用于在FC壳体中产生冷却气流。根 据本发明，气流的冷却由液冷装置执行。这具有变频器不直接连接于冷却板等而是变频器 的冷却通过由液冷单元冷却的气流实现的优点。这种措施显著地减小了尤其是在变频器内 形成冷凝的风险。FC壳体能够闭合，使得将形成空气循环。不需要吸入可能受到污染的外界空气。优选地，液冷装置包括设置于FC壳体中或FC壳体上的冷却元件。空气将沿所述 冷却元件流动，该冷却元件优选地包括冷却肋片以用于增大表面。所述冷却肋片以及气流 动所沿的所述冷却元件的表面分别优选地沿变频器的方向定向。根据优选的实施方式，液 冷装置包括冷却板，该冷却板中设置有至少一个冷却盘管。相应的冷却板可以形成FC壳体 的一部分。根据本发明特别优选的实施方式，所述液冷装置结合于真空泵的冷却剂回路中。 因此，仅设有一个冷却剂回路。从而由于不必连接用于冷却变频器的其它冷却剂回路，因此 便于将真空泵连接于冷却剂回路。根据另一个优选的实施方式，所述电机同样设置于FC壳体中。在这一实施方式 中，液冷装置优选地至少部分地围绕电机。因此，液冷装置一方面用于冷却电机，而另一方 面用于对冷却变频器的气流进行冷却。特别地，在这一实施方式中，液冷装置以冷却盘管的方式完全围绕电机。优选地，FC壳体热耦连于电机的液冷装置或者热耦连于电机的相应液冷壳体。这 种热耦连将保证良好的散热。根据本发明，由于变频器通过气流进行冷却，因此不需要将变频器直接连接于冷 却板。从而实现了变频器可以由减振元件支承的发明优点。通过使用防振电子装置以及使用铸型来联结或围住部件，能够进一步避免发生由 于振动造成的对变频器的损坏。而且，变频器附连于减振结构是可能的。由于变频器不直接连接于水回路，因此本发明的显著优点在于避免了变频器的电 子装置的腐蚀损坏。因而出现在最冷部件上的冷凝将发生在空气冷却装置或液冷装置上， 而另一方面，因为变频器将在操作过程中进行散热，所以冷凝不会出现在变频器本身上。在 泵的切断状态下，由于变频器不进行冷却，因此同样避免了冷凝。而且，空气冷却装置的鼓 风机单元优选地与变频器的操作相关联。优选地，冷凝排水管道可以设置于FC壳体中。由于变频器是对温度最敏感的部件，因此在普通冷却回路中，冷却剂将优选地首 先用于冷却变频器、接着用于冷却电机并且接着用于冷却泵。此外，可以提供对水冷却装置 的适当控制。对比电气柜中变频器的装置，在本发明中将变频器结合于泵壳体以及相应的FC 壳体中具有仅有少量空气量需要传输的优点。特别地，在FC壳体内能够实现目标非常明确 的空气引导。由于本发明的变频器的装置包括发明设计的冷却设置，因此能够实现例如IPM 等的高保护级别。根据螺杆式真空泵的另一个实施方式，形成泵室的泵壳体又容纳两个螺杆转子，该实施方式代表了独立发明。此处，两个转子轴中的一个直接连接于例如电机等驱动马达 的转子。优选地，转子轴带动驱动马达的转子。为了实现简单的结构设计，驱动马达的定子 优选地结合于泵壳体中。这另外还具有马达冷却装置能够结合于泵壳体中的优点。这能够 通过设置于泵壳体中的冷却盘管以及直接连接于壳体外侧的冷却肋片实现。两个转子轴的同步优选地通过设置于两个转子轴中每一个上的齿轮实现，所述两 个齿轮彼此啮合。从而，能够以非常简单的方式实现高精度的同步。根据本发明的优选实施方式，螺杆转子通过滚子轴承以X形构造设置。在这一实 施方式中，借助于支承凸缘优选地在泵壳体中设置有支承件。根据优选的实施方式，所述滚 子轴承通过油进行润滑。而且优选的是，滚子轴承中的一个特别地借助于弹簧或另一种类 型的张力调整元件偏置。优选地，螺杆转子属于相同设计并且彼此啮合。尤其是在油润滑的轴承中，增压室与设置有轴承的区域之间的密封是非常重要 的。在这一点上，优选方式是使用组合密封。优选地为活塞环密封以及迷宫式密封。此外， 能够提供具有油分离器的迂回线。螺杆转子优选地由钢或铸铁(GGG)制成。壳体优选地由铸铁(GG或GGG)制成，而 马达和传动装置壳体优选地由铸铝制成。根据本发明特别优选的实施方式，单独的发明及其上述的更多实施方式彼此结 合。这使得能够提供一种螺杆式真空泵，通过这种螺杆式真空泵能够特别地实现上文提出 的多个目的。
在下文的说明中将参照附图对本发明的完整并且可行的公开进行更加详细的描 述，所述本发明完整并且可行的公开包括其最佳实施方式并且使得领域内的普通技术人员 能够实施本发明，其中图1是本发明第一优选实施方式的示意性侧视图；图2是本发明第二优选实施方式的示意性侧视图；图3是根据本发明设计的两个螺杆转子的示意性平面图；图4是对比根据本发明的螺杆转子与根据现有技术的螺杆转子的示意性视图，以 及压力发展状态的示意性图表。
具体实施方式
在图1和图2中，螺杆式真空泵的示例是以高度示意性的方式示出的。在这些泵 中，壳体10在其内部中限定了增压室12，所述增压室12中设置有作为泵元件的两个螺杆 转子14用以沿彼此相反的方向转动。转动通过设置于所述两个螺杆转子14之间的传动 装置(未示于图中)以常规方式实现。通过两个泵元件14的转动将沿箭头16标出的方向 通过入口开口 18吸入介质，并且接着将所述介质沿箭头22标出的方向通过出口开口 20排 出ο根据图1所示的本发明的第一优选实施方式，电机M设置于壳体的部分沈中。所 述电机M通过其输出轴28连接于所述两个泵螺杆14中的一个。
9[0049]为了控制电机M的转速，设置有电连接于电机M的变频器30。所述变频器30设 置于变频器壳体32 (FC壳体)中。所述FC壳体32直接连接于泵壳体10或者与泵壳体10 形成一体。为了冷却变频器30，设置有空气冷却装置34和液冷装置36。在所示实施方式 中，所述空气冷却装置34包括鼓风机单元38。鼓风机单元38设置于FC壳体32内并且用 于在FC壳体内产生空气循环。以使气流沿所述液冷装置36流动的方式引导鼓风机单元38 所产生的气流。在所示实施方式中，空气被引导为沿液冷装置36的冷却肋片40流动。所 述冷却肋片40指向FC壳体32的内部并且分别朝向变频器30。所述液冷装置36包括例如冷却板42等冷却元件，所述冷却板42在所示实施方式 中同时形成了 FC壳体32的侧壁。上述冷却肋片40连接于所述冷却板42的内侧。冷却板 42的内部设置有优选地具有曲折形状的冷却盘管44。所述冷却盘管44连接于冷却剂管道 46。为了更易查看，图1中仅示出了这种冷却剂管道46起始的一部分。根据优选的实施方 式，冷却剂管道46连接于电机M的液冷系统并且同样连接于真空泵本身的液冷系统。在 这种设置中，冷却剂管道46优选地在壳体内延伸或者直接沿壳体的内壁延伸。通过减振器48，变频器30保持附连于FC壳体32的一个壳体壁。在将在下文中描述的第二优选实施方式(图幻的上下文中，与第一实施方式中的 部件相似或相同的部件将由相同的参考标号标出。与第一实施方式(图1)的本质不同在于 电机M设置于FC壳体32内。因此，不再需要单独的冷却元件用于构成变频器30的液冷 装置。电机M被液冷装置50围绕。所述液冷装置50优选地完全围绕电机M并且包括 向外朝向的冷却肋片52。围绕电机M构造为螺旋形的冷却盘管M设置于液冷装置50内。 所述冷却盘管讨本身连接于冷却剂管道46。与第一实施方式(图1)类似，鼓风机单元38设置于FC壳体32内。所述鼓风机 单元38操作为在FC壳体32中产生空气循环，同时以使空气沿所述肋片52流动的方式引 导空气进行冷却。电机M优选地如图3所示地设置。在这种设置中，电机M的转子60固定连接于 轴118。如果假设在图1和图2所示的实施方式的上下文情况下，则轴118将对应于轴观。 电机M的定子62设置于壳体部分64的内部并且由此结合于壳体中。优选地，所述定子62 铸造于所述壳体部分64中。壳体部分64本身直接设置于外部壳体66内。在所示实施方 式中，冷却通道68设置于壳体66内，从而能够在壳体内以简单的方式耗散特别是由电机M 产生的热量。除了所述冷却通道68之外或者作为所述冷却通道68的替代，冷却肋片可以 设置于壳体66的外侧70。图3所示的两个螺杆转子设置于泵壳体(未示出)中。所述泵壳体限定了增压室 110，两个螺杆转子112和114设置于所述增压室110中。所述两个螺杆转子的两侧包括轴 头116和118，所述轴头116和118通过轴承元件120可转动地设置于泵壳体内。为了驱动 所述两个螺杆转子112和114，轴头118或可替换的轴头116以常见方式直接连接于或通 过传动装置连接于驱动马达。第二螺杆转子由相同的驱动马达通过相应的带齿装置140驱 动，使得两个螺杆转子112与114彼此同步并且将沿相反方向转动。为此目的，所述带齿装 置140包括两个齿轮142，所述两个齿轮142分别紧密连接于所述轴头118或可替换地连接 于所述轴头116并且彼此啮合。螺杆转子112和114是高效的，从而实现待传输的介质在 吸入侧的吸入(箭头122)以及介质在压力侧的排出(箭头124)。
10[0056]通过斜线1 使得螺杆转子的螺距形象化。在图3中，能够看到螺距沿转子的长度 I是变化的。在压力侧区域128中，螺距显著小于吸入侧区域130中的螺距。根据本发明， 此处压力侧区域1 中的螺距设置为使得区域131中位于线圈中部处的螺距最大为转子出 口 1 处的螺距的两倍。因此，形成了相对较长的压力侧区域128，其中的螺距仅作微小改 变。在压力侧区域128中，将出现穿过入口与出口之间的主要压力差异部分的压缩。因此， 在区域1 中，还进行大部分压缩工作。其结果是，待耗散的热量将基本在这一区域产生。 根据本发明，散热由在压力侧区域中围绕螺杆转子112和114的壳体完成。根据本发明，螺杆转子112和114具有很大的结构长度。因此，如本发明所设置的， 螺杆转子112和114的长度I与转子轴距d之间的比大于3. 0。在图4的上部，所示的根据本发明的螺杆转子112对应于图1中的螺杆转子112 和114。所述螺杆转子112的下方示出了现有技术的螺杆转子132。螺杆转子132较短并 且其压力侧区域包括数目较小的线圈，所述线圈的螺距仅做微小改变。在现有技术的转子 132中，压力发展状态将采用由线134代表的过程。通过线134，显而易见螺杆转子132的 压力侧区域136将出现明显的压力增大。由于根据本发明的转子112的构造，压力侧区域1 明显变长。而且，相应地选择
间隙高度(冷间隙的高度/轴距 >」一并且暖间隙的高度/轴距)。其结果是压
1000 1000
力的增大采用较为平缓的过程，如图表中的线138所示。尽管已经参照本发明具体的说明性实施方式对本发明进行了描述和图示，但是期 望本发明不限于那些所说明的实施方式。本领域内的普通技术人员将认识到，在不脱离由 权利要求限定的本发明的真正范围的情况下，能够进行变型和改型。因此，期望将落入所附 权利要求及其等效物的范围内的所有这些变型和改型都包括在本发明中。
权利要求1.一种螺杆式真空泵，包括限定泵室(110)的泵壳体；设置于所述泵室(110)中的两个螺杆转子(112，114)，所述螺杆转子(112，114)分别由 两个轴承元件(120)支承于所述泵壳体中并且转子长度(I)与转子轴距(d)之间的比大于 3. 0 ；其特征在于，所述螺杆转子(112，114)具有可变螺距以及至少7个线圈。
2.如权利要求1所述的螺杆式真空泵，其中，所述螺杆转子(112，114)具有至少为4.5 的内置压缩比。
3.如权利要求1所述的螺杆式真空泵，其中，在所述线圈的一半之后，所述螺距小于压 力侧转子出口(124)处螺距的2倍。
4.如权利要求1所述的螺杆式真空泵，其中，每个螺杆转子(112，114)都仅有一个螺纹。
5.如权利要求1所述的螺杆式真空泵，其中，所述螺杆转子(112，114)的轮廓基本对称 或不对称。
6.如权利要求1所述的螺杆式真空泵，其中，所述转子长度(I)与所述转子轴距(d)之 间的比大于3. 5。
7.如权利要求6所述的螺杆式真空泵，其中，所述转子长度(I)与所述转子轴距(d)之 间的比大于4。
8.如权利要求1所述的螺杆式真空泵，其中，每个螺杆转子(112，114)都设置有至少9 个线圈。
9.如权利要求8所述的螺杆式真空泵，其中，每个螺杆转子(112，114)都设置有至少 11个线圈。
10.如权利要求1所述的螺杆式真空泵，其中，所述压缩比至少为5。
11.如权利要求10所述的螺杆式真空泵，其中，所述压缩比至少为6。
12.如权利要求1所述的螺杆式真空泵，其中，最大转速大于5000转/分。
13.如权利要求1所述的螺杆式真空泵，其中，为了避免过量增压，一个或多个过压阀 设置于所述压力侧区域08)中并且/或者转速能够通过转速控制单元进行控制。
14.一种螺杆式真空泵，包括限定泵室(12)的泵壳体(10)；设置于所述泵室(12)中的至少一个螺杆转子(14)；用于驱动所述至少一个螺杆转子(14)的电机04)；以及变频器(30)，该变频器(30)连接于所述电机(M)，用于改变所述电机的转速；其特征在于，所述变频器(30)设置于与所述泵壳体(10)直接连接的变频器壳体(32) 中；以及空气冷却装置(34)和液冷装置(36，50)，所述空气冷却装置(34)和液冷装置(36，50) 用于冷却设置于所述变频器壳体(32)中的所述变频器(30)。
15.如权利要求14所述的螺杆式真空泵，其中，所述变频器壳体(3 与所述泵壳体 (10)形成为一体。
16.如权利要求14所述的螺杆式真空泵，其中，所述冷却装置(34)包括鼓风机单元(38)，该鼓风机单元(38)产生气流以用于冷却所述变频器(30)。
17.如权利要求16所述的螺杆式真空泵，其中，所述液冷装置(36，50)包括设置于所 述变频器壳体(3 中的冷却元件(40，42，44 ；52，，气流被提供为沿所述冷却元件00， 42，44 ；52，54)流动以用于冷却。
18.如权利要求17所述的螺杆式真空泵，其中，为了增大所述冷却元件00，42，44；52， 54)的表面，所述冷却元件00，42，44;52，54)包括沿所述变频器(30)的方向定向的冷却 肋片(40，52)。
19.如权利要求18所述的螺杆式真空泵，其中，所述液冷装置(36)包括连接于冷却盘 管G4)的冷却板(42)，所述冷却盘管04)中流过冷却剂。
20.如权利要求19所述的螺杆式真空泵，其中，所述冷却肋片00)直接连接于所述冷 却板(42)。
21.如权利要求19所述的螺杆式真空泵，其中，所述冷却板02)至少形成所述变频器 壳体(3 的侧壁的一部分。
22.如权利要求14所述的螺杆式真空泵，其中，所述电机04)设置于所述变频器壳体 (32)内，所述电机04)设置有液冷装置(50)以用于冷却。
23.如权利要求22所述的螺杆式真空泵，其中，所述液冷装置(50)至少部分地围绕所 述电机(24) 0
24.如权利要求23所述的螺杆式真空泵，其中，所述液冷装置(50)完全围住所述电机 04)。
25.如权利要求23所述的螺杆式真空泵，其中，所述液冷装置(50)的内部设置有冷却 盘管64)，所述冷却盘管(54)围绕所述电机04)并且具有螺旋形的构造。
26.如权利要求22所述的螺杆式真空泵，其中，所述液冷装置(50)包括径向向外延伸 的冷却肋片(52)。
27.如权利要求1所述的螺杆式真空泵，其中，所述液冷装置(36)结合于所述螺杆式真 空泵的冷却剂回路中。
28.如权利要求1所述的螺杆式真空泵，其中，所述变频器(30)和/或所述变频器壳体 (32)通过减振元件08)保持。
29.如权利要求1所述的螺杆式真空泵，其中，所述液冷装置(50)至少部分地围绕所述 电机(24)。
30.如权利要求1所述的螺杆式真空泵，其中，所述电机04)设置于所述变频器壳体 (32)中。
31.如权利要求1所述的螺杆式真空泵，其中，所述变频器壳体(32)通过热耦连连接于 所述电机04)的液冷壳体。
32.—种螺杆式真空泵，包括限定泵室(110)的泵壳体；设置于所述泵室(110)中的两个螺杆转子(112，114)，所述螺杆转子(112，114)分别由 两个轴承元件(120)支承于所述泵壳体中；其特征在于驱动马达04)的转子(60)，所述驱动马达04)的转子(60)连接于两个转 子轴(116，118)中的一个并且优选地由该轴支承。
33.如权利要求32所述的螺杆式真空泵，其中，所述驱动马达04)的定子(62)结合于 所述泵壳体(66)中。
34.如权利要求32所述的螺杆式真空泵，其中，为了保持同步，所述两个转子轴(116， 118)连接于啮合齿轮(142)。
35.如权利要求1、14或32中任一项所述的螺杆式真空泵，其中，所述螺杆转子(14; 112；114)通过滚子轴承(120)以X形构造设置于所述泵壳体中。
36.如权利要求35所述的螺杆式真空泵，其中，所述滚子轴承(120)中的一个通过弹 簧偏置。
37.如权利要求35所述的螺杆式真空泵，其中，所述滚子轴承(120)是油润滑的并且/ 或者支承于支承凸缘中。
专利摘要一种螺杆式真空泵，其包括设置于增压室(10)中的两个螺杆转子(12，14)。每个所述螺杆转子(12，14)由两个轴承元件(120)支承于泵壳体中并且转子长度(I)与转子轴距(d)之间的比大于3.0。而且，所述螺杆转子(12，14)具有可变螺距、至少7个线圈以及至少为4.5的内置压缩比。在所述线圈一半以后，所述螺距小于压力侧转子出口(124)处螺距的2倍。
文档编号F04C25/02GK201874822SQ20102053672
公开日2011年6月22日 申请日期2010年9月17日 优先权日2010年9月17日
发明者彼得·比尔克, 托马斯·德赖费特, 沃尔夫冈·吉贝曼斯, 罗兰德·米勒, 马格努斯·亚尼茨基 申请人:厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司