一种新型的快速抽空方法

文档序号:5504549阅读:351来源:国知局
专利名称:一种新型的快速抽空方法
技术领域
本发明属于一种抽真空的方法。
现采用的旋片式和扩散式抽真空的方法所需时间较长,用排液法、即先向被抽元、器件灌液体,再将液体抽出的方法,又会对被抽空件造成污染。
本发明提供了一种克服了上述缺点,采用真空泵对被抽空件间接抽空的方法。
本发明包括真空容器,被抽空件、连通阀和泵。其主要特征是间接快速抽空,泵先对一系列真空容器抽空,被抽空件用快速接头与一多通阀连接,然后用多通阀依次接通真空容器,使被抽件迅速达到所要求的真空度。
以下结合附图
对本发明进行解释附图为本发明的原理图和一个实施例的原理图。
见附图,本发明采用先将几个一定容量的真空容器〔1a〕、〔1b〕至〔1n〕用泵〔4a〕、〔4b〕至〔4n〕抽空到真空度按顺序增加的真空容器然后,将被抽空件〔2〕通过多通阀〔3〕依次与〔1a〕、〔1b〕至〔1n〕连通。根据平衡原理,被抽空件〔2〕的真空度将会依次递增,且决定于真空容器〔1〕的容积和真空度,以及被抽空件本身的空积,抽空时间决定于多通阀〔3〕的转换时间,加上很小的适当的平衡时间。
本发明亦可用于快速向需加压件加压、原理相同,不同的是不用泵对容器抽空是用泵对容器加压。
附图是本发明的一个实施例在采用负压法的氦质谱仪〔5〕检漏时,要求先将被检件〔2〕抽空,但用于流水生产线时,则要求在较短的时间(一般为十几秒)将被检件抽空到10-1~10-2τ,采用常规抽真空办法是很难做到的,使用本发明则可达到要求,其实施过程是这样的,先用泵〔4a〕、〔4b〕至〔4n〕分别对应对真空容器〔1a〕、〔1b〕至〔1n〕抽空,且〔1a〕、〔1b〕至〔1n〕的真空度是依次递增的,与真空容器相接有一多通阀〔3〕、其中〔3a〕、〔3b〕至〔3n〕分别是与对应的真空容器相接的,被抽空件〔2〕与〔3〕之间有一快速管按头连接,多通阀〔3〕最后一个通道与氦质谱仪〔5〕或其他检测仪连接。当操作多通阀由〔3a〕一直到〔3n〕时,被测件的真空度与〔1n〕的真空度一致,这时多通阀通道打到〔3X〕,使〔2〕与〔5〕连接,即可检到〔2〕的泄漏情况。
本发明的主要优点是抽真空或加压时间非常之短,适用于现代化流水生产线上进行检测。
权利要求
1.快速抽真空的方法,其主要特征是间接快速抽空,泵先对一系列真空容器抽空,被抽空件用快速接头与一多通阀连接,然后用多通阀依次接通真空容器,使被抽件迅速达到所要求的真空度。
2.根据权利要求1所述的快速抽真空的方法,其特征是,当用泵向容器加压时,可快速地对需加压件加压。
全文摘要
一种快速抽真空的方法,采用泵、真空容器和多通阀,先将多个真空容器抽成按顺序真空度依次递增的真空等级,然后用多通阀连接被抽件和系列真空容器,当多通阀依次接通真空容器时,根据平衡原理,被抽件能在极短时间内达到所要求的真空度。本发明还有流程简单,适用于流水生产线上将产品迅速抽空或进行负压检漏。
文档编号F04F9/04GK1032382SQ8710209
公开日1989年4月12日 申请日期1987年9月29日 优先权日1987年9月29日
发明者李季霞 申请人:李季霞
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