专利名称：多级双爪式转子真空泵的制作方法
技术领域：
本实用新型属于真空技术设备领域，特别涉及到一种具有多级型的爪式转子真空泵。
迄今为止，作为真空技术设备中必不可少的主要设备——真空泵，已经随着科技进步的飞速发展而不断更新换代推陈出新，现在的双爪式转子无油真空泵已比用真空泵油作工作介质的传统真空泵具有无可比拟的优点，例如国家专利96241897.8以及97226078.1等授权专利，都已清楚的记载了单级或双级爪式转子真空泵的主要结构及其优越的性能。科学技术总是在不断的进步与发展，为了更进一步的提高无油抽真空泵的性能，也为了获得更大的抽速，更高的极限真空度以及较长的使用寿命，就需要再一次的提高与完善这类真空泵的结构设计，这也是科学进步赋予本行业技术的责任。
本实用新型的目的，是为了克服已有技术中尚存在的极限真空度与抽速有待进一步提高等问题，而在此基础上设计一种高抽速、真空性能指标更高的多级爪式转子真空泵。
本实用新型是依靠下述技术方案来实现的，一种多级双爪式转子真空泵，主要包括具有密封装置及循环水道的泵体、爪式转子对、驱动电机，其特征在于，所述爪式转子为对称的双爪形式；所述泵体由多级泵腔结构叠放固紧组合，多级相互隔离的泵腔内各含有一对悬浮着的爪式转子，多级泵腔之间的位置关系为串联组合结构，其第一级泵腔连接总泵体的进气口，最后一级泵腔连接总泵体排气口，各泵腔之间有增大了直径的气体通道连通；所述泵体中通过轴承支撑着两根垂直平行安放的转动轴——主动轴及从动轴，并分别通过主动轴与从动齿轮的带动而与驱动电机同步运转，该转动轴又分别带动各级主动转子及从动转子同步运转，它们由轴承密封装置隔绝齿轮箱中的润滑油对泵腔的污染。
所述泵体内设有循环冷却水道，其水流方向为自下而上。
所述泵体多级泵腔内隔板的气体通道处安装有镇气阀，可防止可凝性气体在泵腔内凝结，同时可由此处充入工艺性气体，该气镇阀由节流阀与单相阀组成。
所述泵体多级泵腔中最后一级泵腔排气口处安装有简易消音装置，该装置由排气阀及消音管组成。
本实用新型的积极效果是，它可以在确保真空环境无油污染的情况下，可以大量抽除可凝性气体及易燃、易爆气体，对被抽气体种类、性质无限制，其极限压力可达1Pa，比现有的同类真空泵具有更优越的性能，由于采用对称的双爪式转子，在工作中，双爪的脉动冲击较小，使转动体受力平衡，均匀，不仅有利于抽气性能，而且可延长使用寿命，实验结果证明该真空泵具有较高的极限真空度及较高的抽速，抽速范围为0.5l/s---500l/s，从而真空泵的使用范围明显拓宽，适用于各行业的清洁抽真空要求，成为各无油中、高真空泵的前级泵，与之组成无油中、高真空机组。结构简单、体积小、噪音低、寿命长，并且维护成本低廉。
以下结合附图进一步说明实施例。
图1为多级双爪式转子真空泵剖面结构示意图；图2为双爪式转子的工作状态示意图；图3为图1所示结构的左视剖面示意图。
图1给出一个四级结构的实施例示意图。其中1为泵体顶罩，2为驱动电机，其下方连接着电机齿轮3，依次咬合着过渡轮4及主动齿轮5，6为各固定锁钉，7与10分别表示循环水的出水口与入水口，气体通道8连接各泵腔之间的通道，气镇阀9分别连接在各级泵腔隔板的气体通道处，11为排气腔，消音排气阀装置在排气口13中心处。图2中所列一对双爪式转子，每个双爪式转子包含位置对称的两个外凸单爪14，两个位置对称的凹弧槽17与相应的外凸单爪构成双爪式转子，每两个双爪式转子组成一个转子对；极间排气口与极间进气口分别为15和18，冷却水槽16分别置于双爪式转子对的两侧，这些即为本真空泵的核心部分。图3中表示的泵体总进气口19，通过过滤网20使被抽气体进入泵体，顶轴承座21与顶轴承22分别支撑着主动轴23a(即AX)及从动轴23b(即AX’)，它们垂直平行安放，24为顶盖气道，各叠放组合腔体之间依靠定位锁25分别在周边定位并固紧，泵体密封装置27包含有密封座、密封体及密封盖，作为通用的密封件，它们按常规方法连接固定，起到总体密封与连接固定作用，齿轮箱28内安装有主动齿轮5、过渡轮4及从动齿轮29，它们分别浸放在齿轮润滑油30之中，31为泵体底座，它向上依次支撑着32a，32b，32c，32d四级泵体，及依次装入的33a、33a’，33b、33b’，33c、33c’，33d、33d’四级主动及从动转子对，最上方由顶盖34将四级腔体盖住，并装配成一个完整的泵式结构。
权利要求1.一种多级双爪式转子真空泵，主要包括具有密封装置及循环水道的泵体、爪式转子对、驱动电机，其特征在于，所述爪式转子为对称的双爪形式；所述泵体由多级泵腔结构叠放固紧组合，多级相互隔离的泵腔内各含有一对悬浮着的双爪式转子，多级泵腔之间的位置关系为串联组合结构，其第一级泵腔连接总泵体的进气口，最后一级泵腔连接总泵体排气口，各泵腔之间有增大了直径的气体通道连通；所述泵体中通过轴承支撑着两根垂直平行安放的转动轴——主动轴及从动轴，并分别通过主动轴与从动齿轮的带动而与驱动电机同步运转，该转动轴又分别带动各级主动转子及从动转子同步运转，它们由轴承密封装置隔绝齿轮箱中的润滑油对泵腔的污染。
2.按照权利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述泵体内设有循环冷却水道，其水流方向为自下而上。
3.按照权利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述泵体多级泵腔内隔板的气体通道处安装有镇气阀，可防止可凝性气体在泵腔内凝结，同时可由此处充入工艺性气体，该气镇阀由节流阀与单相阀组成。
4.按照权利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述泵体多级泵腔中最后一级泵腔排气口处安装有简易消音装置，该装置由排气阀及消音管组成。
专利摘要一种多级双爪式转子真空泵,所述爪式转子为对称的双爪式,泵体由多级泵腔结构叠放固紧组合,多级相互隔离的泵腔内各含有一对悬浮着的双爪式转子,多级泵腔之间的位置关系为串联组合,各泵腔之间有增大了直径的气体通道,以大量抽除可凝性气体,其极限压力可达1Pa,比现有的同类真空泵具有更高的极限真空度及较高的抽速,抽速为0.5 l/s—500 l/s使用范围明显拓宽,为各无油中、高真空泵的前级泵,与之组成无油中、高真空机组。
文档编号F04C18/12GK2398446SQ9925537
公开日2000年9月27日 申请日期1999年12月3日 优先权日1999年12月3日
发明者邵华龙, 崔殿龙, 王伟, 郑金涛 申请人:崔殿龙