一种高压比复合分子泵的制作方法

本实用新型属于真空技术领域，具体涉及一种高压比复合分子泵。

背景技术：

复合分子泵属于高速旋转的真空获得设备，由动叶轮、静叶片、高速电机、滚动轴承等组成。复合分子泵包括涡轮段和牵引段，涡轮段由多组动叶轮和静叶片组成，实现大抽速；牵引段由牵引鼓筒和牵引槽筒组成，实现高压比。如果压比不够高，在前级加气负载时，真空腔内部的压力会升高，影响测量结果，甚至会损坏高精度的测量仪器。

目前，亟需一种高压比复合分子泵。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是提供一种高压比复合分子泵。

本实用新型的高压比复合分子泵，其特点是，包括内磁环、泵壳、球轴承组件、底座组件、外槽筒、牵引槽盘、静叶片、定位环、动叶轮、永磁轴承外磁环、牵引盘、芯轴、牵引鼓筒、永磁电机转子；其连接关系是，所述的泵壳与底座组件沿底座组件的圆周固定，球轴承组件放置在泵壳中心的空腔中，与底座组件圆周固定，泵壳中心安装有芯轴；所述的外槽筒、牵引槽盘、静叶片、定位环从下至上依次与芯轴同轴安装在泵壳中心的空腔中，在泵壳的内腔壁上定位固定；所述的动叶轮、永磁轴承外磁环、牵引盘、牵引鼓筒依次过盈装配在芯轴上，永磁电机转子粘接在芯轴上；所述的芯轴的下端支承固定于球轴承组件，芯轴的上端由泵壳顶端的内磁环、外磁环构成的永磁轴承支承，内磁环安装在泵壳的上端，外磁环安装在动叶轮的内孔腔。所述的牵引槽盘的上表面刻有上牵引槽，下表面刻有下牵引槽，上牵引槽的外径小于下牵引槽的外径。

所述的牵引槽盘采用双面牵引槽结构，牵引槽轮廓为圆弧或直线。

所述的牵引槽盘采用两瓣结构，使用止口定位。

所述的牵引槽盘的材料为铝合金。

所述的牵引盘采用平面盘形结构。

所述的牵引盘的材料为铝合金，铝合金的抗拉强度高于400MPa。

本实用新型的高压比复合分子泵的压比量级为10¹⁰~10¹¹，该高压比复合分子泵在动叶轮上装配有牵引盘、在外槽筒上安装双面有槽的牵引槽盘，增加了两级盘式牵引功能，提高了分子泵的压比，降低了真空腔内部的真空压力，提高复合分子泵的抽气性能，满足仪器对超低真空的要求。

附图说明

图1为本实用新型的高压比复合分子泵结构示意图；

图2为本实用新型的高压比复合分子泵的上牵引槽示意图；

图3为本实用新型的高压比复合分子泵的下牵引槽示意图；

图中：1.内磁环 2.泵壳 3.球轴承组件 4.底座组件 5.外槽筒 6.牵引槽盘 7.静叶片 8.定位环 9.动叶轮 10.外磁环 11.牵引盘 12.芯轴 13.牵引鼓筒 14.永磁电机转子 601.上牵引槽 602.下牵引槽。

具体实施方式

下面结合附图详细说明本实用新型。

如图1~图3所示，高压比复合分子泵，包括内磁环1、泵壳2、球轴承组件3、底座组件4、外槽筒5、牵引槽盘6、静叶片7、定位环8、动叶轮9、永磁轴承外磁环10、牵引盘11、芯轴12、牵引鼓筒13、永磁电机转子14；其连接关系是，所述的泵壳2与底座组件4沿底座组件4的圆周固定，球轴承组件3放置在泵壳2中心的空腔中，与底座组件4圆周固定，泵壳2中心安装有芯轴12；所述的外槽筒5、牵引槽盘6、静叶片7、定位环8从下至上依次与芯轴12同轴安装在泵壳2中心的空腔中，在泵壳2的内腔壁上定位固定；所述的动叶轮9、永磁轴承外磁环10、牵引盘11、牵引鼓筒13依次过盈装配在芯轴12上，永磁电机转子14粘接在芯轴12上；所述的芯轴12的下端支承固定于球轴承组件3，芯轴12的上端由泵壳2顶端的内磁环1、外磁环10构成的永磁轴承支承，内磁环1安装在泵壳2的上端，外磁环10安装在动叶轮9的内孔腔；所述的牵引槽盘6的上表面刻有上牵引槽601，下表面刻有下牵引槽602，上牵引槽601的外径小于下牵引槽602的外径。

所述的牵引槽盘6采用双面牵引槽结构，牵引槽轮廓为圆弧或直线。

所述的牵引槽盘6采用两瓣结构，使用止口定位。

所述的牵引槽盘6的材料为铝合金。

所述的牵引盘11采用平面盘形结构。

所述的牵引盘11的材料为铝合金，铝合金的抗拉强度高于400MPa。

本实用新型的高压比复合分子泵工作过程如下：

底座组件4中的电机驱动动芯轴12高速旋转，气体分子被动叶轮9和静叶片7向下驱赶，再由牵引盘11和牵引槽盘6、牵引鼓筒13和外槽筒5驱赶至前级泵，最后排入大气。所增加的牵引盘11和牵引槽盘6的结构，能进一步提高压比，满足高压比的要求。

本实用新型不局限于上述具体实施方式，所属技术领域的技术人员从上述构思出发，不经过创造性的劳动，所作出的种种变换，均落在本实用新型的保护范围之内。