一种带有显示灯的风机过滤单元的制作方法

文档序号:11093845阅读:549来源:国知局
一种带有显示灯的风机过滤单元的制造方法与工艺

本实用新型涉及净化设备技术领域,具体为一种带有显示灯的风机过滤单元。



背景技术:

随着半导体制造业的快速发展,对半导体器件的要求也逐渐提高,对应的因离子污染物造成半导体器件不良的情况也逐渐上升,因而如何有效洁净室内的离子污染物成为重中之重,由于半导体制造方法的工艺越来越复杂,同时使用的工具(如气体、化学药品等)也逐渐加重了洁净室内的空气污染情况,进而导致风机过滤单元的超负荷工作,导致风机过滤单元的寿命缩短,于是便有了带有显示灯的风机过滤单元,但是,现有的风机过滤单元为了防止灰尘堆积,影响显示灯的使用寿命,对显示灯进行密封,虽然有效的防止灰尘的堆积,但同时由于密封,使得固定槽内的灯具产生的热量无法快速排出,从而造成内部热量堆积,使得显示灯经常因过热而造成损坏,为此,我们提出一种带有显示灯的风机过滤单元。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种带有显示灯的风机过滤单元,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种带有显示灯的风机过滤单元,包括风机,所述风机的下方设有框架,框架内安装有固定槽,在固定槽之间以及框架之间安装有密封件,固定槽的外侧通过卡扣扣接有透明密封罩,固定槽的内部设有隔板,且隔板将固定槽的内部分隔为位于上部的密封腔以及位于下方的安装腔,密封腔内注入有散热液体,在安装腔的两侧面上设有相对应的卡槽,卡槽内卡接有显示灯面板,显示灯面板上集成有LED灯,在安装腔的其中一侧面还设有温控开关,所述固定槽的顶面上设有与密封腔连通的接头,在固定槽的顶面上还安装有微型循环泵和散热架,微型循环泵的出口与散热架进口连通,微型循环泵的进口与散热架的出口分别与密封腔连通的接头连通。

优选的,所述隔板的上下表面上均设有长条形的凸起。

优选的,所述密封腔内注入的散热液体为导热油或者导热油与水的混合物。

优选的,所述散热架通过支架固定在固定槽上。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该带有显示灯的风机过滤单元在原来的密封的结构上对固定槽的内部进行改变,在安装显示灯面板的上方设置内部注入有散热液体的密封腔,利用微型循环泵带动密封腔内的散热液体在密封腔与散热架之间循环,而安装腔内的温控开关则根据安装腔内的温度自动调节微型循环泵的转速,从而有效的将显示灯面板上显示灯产生的热量快速散发出去,并通过风机带到外界。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图;

图2为本实用新型的仰视结构示意图;

图3为本实用新型的固定槽内部安装结构示意图。

图中:1风机、2框架、3固定槽、4密封件、5透明密封罩、6隔板、7密封腔、8安装腔、9卡槽、10显示灯面板、11凸起、12温控开关、13微型循环泵、14支架、15散热架。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3,本实用新型提供一种技术方案:一种带有显示灯的风机过滤单元,包括风机1,风机1的下方设有框架2,框架2内安装有固定槽3,在固定槽3之间以及框架2之间安装有密封件4,固定槽3的外侧通过卡扣扣接有透明密封罩5,固定槽3的内部设有隔板6,且隔板6将固定槽3的内部分隔为位于上部的密封腔7以及位于下方的安装腔8,密封腔7内注入有散热液体,散热液体为导热油或者导热油与水的混合物,在安装腔8的两侧面上设有相对应的卡槽9,卡槽9内卡接有显示灯面板10,显示灯面板10上集成有LED灯,在安装腔8的其中一侧面还设有温控开关12,固定槽3的顶面上设有与密封腔7连通的接头,在固定槽3的顶面上还安装有微型循环泵13和散热架15,散热架15通过支架14固定在固定槽3上,微型循环泵13的出口与散热架15进口连通,微型循环泵13的进口与散热架15的出口分别与密封腔7连通的接头连通,隔板6的上下表面上均设有长条形的凸起11,凸起11加快了密封腔7与安装腔8热量交换速率,该带有显示灯的风机过滤单元在原来的密封的结构上对固定槽3的内部进行改变,在安装显示灯面板10的上方设置内部注入有散热液体的密封腔7,利用微型循环泵13带动密封腔7内的散热液体在密封腔7与散热架15之间循环,而安装腔8内的温控开关12则根据安装腔8内的温度自动调节微型循环泵13的转速,从而有效的将显示灯面板10上显示灯产生的热量快速散发出去,并通过风机带到外界。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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