具有双文丘里流动路径的文丘里装置的制作方法

文档序号:12781752阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种文丘里装置,包括:

本体,其限定通道,所述通道具有驱动区段和排放区段,所述驱动区段和所述排放区段彼此间隔开一距离,以限定文丘里间隙并且二者朝向所述文丘里间隙会聚;所述本体限定第一抽吸端口和第二抽吸端口,所述第一抽吸端口和所述第二抽吸端口彼此大致相对并且每个都与所述文丘里间隙流体连通;所述本体还限定腔室,所述腔室具有所述驱动区段的出口端和所述排放区段的入口端,其中,所述驱动区段的出口端在所述腔室提供围绕所述出口端整个外表面的流体流的位置处、延伸到所述腔室中;所述排放区段的入口端在所述腔室提供围绕所述排放区段入口端整个外表面的流体流的位置处、延伸到所述腔室中;

其中,所述腔室包括多个指部,其径向向内且轴向远离所述本体的通道延伸,所述多个指部中的每一个都具有基部,其中基部处的宽度大于顶点处的宽度,并且所述多个指部中的每一个都包括在所述基部开始且从所述基部轴向远离地突出的镜像指部;其中所述多个指部限定作为截止阀一部分的密封构件用的承座。

2.根据权利要求1所述的文丘里装置,其中,所述本体还限定位于所述第一和第二抽吸端口下游的旁通端口。

3.根据权利要求2所述的文丘里装置,其中,所述所述旁通端口限定截止阀的出口。

4.一种系统,包括:

如权利要求1所述的文丘里装置;

驱动流源,其流体连通到所述文丘里装置的驱动区段;以及

需要真空的第一装置,其连接到所述文丘里装置的第一抽吸端口和/或所述第二抽吸端口。

5.根据权利要求4所述的系统,还包括需要真空的第二装置,其中所述需要真空的第一装置与所述第一抽吸端口流体连通,且所述需要真空的第二装置与所述第二抽吸端口流体连通。

6.根据权利要求4所述的系统,还包括第一抽吸壳体,其用不透流体的密封而连接到所述本体,以便限定所述第一抽吸端口用的第一抽吸通道;其中,所述第一抽吸通道流体流通到所述需要真空的第一装置。

7.根据权利要求6所述的系统,还包括第二抽吸壳体,其用不透流体的密封而连接到所述本体,以便限定所述第二抽吸端口用的第二抽吸通道;其中,所述第二抽吸通道流体连通到所述需要真空的第一装置或所述需要真空的第二装置。

8.根据权利要求4所述的系统,其中,位于所述第一和第二抽吸端口下游的旁通端口限定第二截止阀的出口。

9.根据权利要求4所述的系统,其中,所述流体流在靠近所述第一抽吸端口处分叉,一部分流体流流过辅助通道到达所述第二抽吸端口。

10.如权利要求4所述的系统,其中,与所述第一抽吸端口和所述第二抽吸端口之间的大致中心点处相比,所述文丘里间隙在靠近所述第一抽吸端口和所述第二抽吸端口处较宽。

11.一种文丘里装置,包括:

本体,其限定通道,所述通道具有驱动区段和排放区段,所述驱动区段和所述排放区段彼此间隔开一距离,以限定文丘里间隙并且二者朝向所述文丘里间隙会聚;所述本体还限定第一抽吸端口和第二抽吸端口,所述第一抽吸端口和所述第二抽吸端口彼此大致相对并且每个都与所述文丘里间隙流体连通;

其中,所述第一抽吸端口限定截止阀的出口,并且所述第二抽吸端口通过从所述截止阀延伸到所述第二抽吸端口的一个或多于一个分叉通道、而与同一截止阀流体连通。

12.如权利要求11所述的文丘里装置,其中,所述一个或多于一个分叉通道大致平行于所述文丘里间隙。

13.如权利要求11所述的文丘里装置,其中,还包括第一抽吸壳体,其用不透流体的密封而连接到所述本体,以便限定所述第一抽吸端口用的第一抽吸通道;以及盖,其覆盖所述第二抽吸端口。

14.如权利要求11所述的文丘里装置,其中,所述本体还限定腔室,所述腔室具有所述驱动区段的出口端和所述排放区段的入口端,其中,所述驱动区段的出口端在所述腔室提供围绕所述出口端整个外表面的流体流的位置处、延伸到所述腔室中;所述排放区段的入口端在所述腔室提供围绕所述排放区段入口端整个外表面的流体流的位置处、延伸到所述腔室中,并且所述腔室包括多个指部,其沿一方向径向向内且轴向远离所述本体的通道延伸,以限定作为截止阀一部分的密封构件用的承座。

15.一种系统,包括:

如权利要求11所述的文丘里装置;

驱动流源,其流体连通到所述文丘里装置的驱动区段;以及

需要真空的第一装置,其连接到所述文丘里装置的第一抽吸端口和/或所述第二抽吸端口。

16.如权利要求15所述的系统,还包括第一抽吸壳体,其用不透流体的密封而连接到所述本体,以便限定所述第一抽吸端口用的第一抽吸通道;其中,所述第一抽吸通道流体流通到所述需要真空的第一装置。

17.如权利要求16所述的系统,还包括覆盖所述第二抽吸端口的盖。

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