一种真空系统及控制方法与流程

文档序号:16669758发布日期:2019-01-18 23:30阅读:393来源:国知局
一种真空系统及控制方法与流程

本发明涉及抽真空技术领域,尤其涉及一种真空系统及控制方法。



背景技术:

现有的大部分电子元器件加工需要在真空环境下进行,随着真空应用的发展,真空泵的种类已经发展了很多种,但是目前的真空泵在工作运行过程中,普遍都容易产生较高的温度,从而很容易造成真空系统工作效率降低,同时也对于真空泵而言容易造成损坏,甚至如果当真空系统中混合有氧气和易燃易爆气体,在温度升高后还可能会发生爆炸。



技术实现要素:

本发明的目的在于针对现有技术的不足提供一种真空系统及控制方法,本发明可通过工作液冷却系统对真空泵进行冷却降温,从而提高整个真空系统的可运作时间,提升产能,并进一步通过气体收集容器对气体中粉尘颗粒进行收集,避免真空泵升温后,粉尘碰到高温的真空泵发生爆炸。

本发明是通过以下技术方案来实现的,一种真空系统,包括真空容器,所述真空容器的下方设置有真空泵,所述真空容器与真空泵之间设置有真空管,所述真空容器通过真空管与真空泵连通,所述真空泵的下方设置有气体收集容器,所述气体收集容器与真空泵之间设置有气体输送管,所述气体收集容器通过气体输送管与真空泵连通,所述真空泵的旁侧设置有用于给真空泵降温的工作液冷却系统。

作为优选,所述真空管的中部设置有第一电磁阀和用于控制第一电磁阀工作的第一控制器。

作为优选,所述气体输送管的中部设置有第二电磁阀和用于控制第二电磁阀工作的第二控制器。

作为优选,所述气体收集容器包括容器本体,所述容器本体的下半部设置有进气口,所述进气口与气体输送管连通,所述容器本体的中部设置有多孔粉尘过滤层,所述进气口的旁侧设置有吹气管,所述容器本体的上半部设置有排气口,所述容器本体的底部设置有粉尘排放口,所述气体收集容器的下方设置有粉尘收集容器,所述粉尘收集容器通过管道与粉尘排放口连通。

作为优选,所述工作液冷却系统包括冷却水罐,所述冷却水罐与真空泵之间设置有进水管和出水管,所述进水管的两端和所述出水管的两端分别与冷却水罐、真空泵连通,所述冷却水罐、真空泵、进水管、出水管形成封闭的循环管路。

作为优选,所述冷却水罐内设置有温度传感器,所述真空泵的进水口和出水口分别设置有第三电磁阀和第四电磁阀,所述第三电磁阀和第四电磁阀分别与温度传感器电连接。

一种真空系统的控制方法,包括以下几个步骤:a.第一控制器控制第一电磁阀打开真空管,真空泵开始对真空容器进行抽真空;b.气体收集容器收集从真空容器内抽出的气体,并对气体中粉尘进行收集处理;c.工作液冷却系统对真空泵进行冷却处理,提高真空泵连续工作时间。

作为优选,所述步骤b具体包括以下步骤:b1.从真空容器内抽出的气体通过进气口进入容器本体内;b2.进气口的旁侧的吹气管将气体往容器本体的上端吹动;b3.气体经过多孔粉尘过滤层,气体内的粉尘颗粒会经过多孔粉尘过滤层过滤下来,过滤后的气体则通过多孔粉尘过滤层继续往容器本体的上端流动;b4.排气口将过滤后的气体排出;b5.待气体排放后,关闭排气口和吹气管,粉尘颗粒从多孔粉尘过滤层掉落,并通过粉尘排放口排放至粉尘收集容器内。

作为优选,所述步骤c具体包括以下步骤:c1.冷却水罐内的冷却水通过进水管进入真空泵内并进行热交换,带走真空泵的热量,随后冷却水通过出水管回流至冷却水罐内,循环使用;c2.温度传感器检测到冷却水罐内冷却水升温后,会控制第三电磁阀和第四电磁阀关闭真空泵的进水口和出水口;待冷却水罐内的冷却水降温或者操作员更换冷却水后,再打开真空泵的进水口和出水口,继续进行冷却。

本发明的有益效果:一种真空系统,包括真空容器,所述真空容器的下方设置有真空泵,所述真空容器与真空泵之间设置有真空管,所述真空容器通过真空管与真空泵连通,所述真空泵的下方设置有气体收集容器,所述气体收集容器与真空泵之间设置有气体输送管,所述气体收集容器通过气体输送管与真空泵连通,所述真空泵的旁侧设置有用于给真空泵降温的工作液冷却系统,本发明可通过工作液冷却系统对真空泵进行冷却降温,从而提高整个真空系统的可运作时间,提升产能,并进一步通过气体收集容器对气体中粉尘颗粒进行收集,避免真空泵升温后,粉尘碰到高温的真空泵发生爆炸。

附图说明

图1为本发明的立体结构示意图。

图2为本发明的主视图。

图3为本发明气体收集容器的结构示意图。

图4本发明工作液冷却系统的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图1至附图4,以及具体实施方式对本发明做进一步地说明。

如图1至图2所示,包括真空容器1,所述真空容器1的下方设置有真空泵2,所述真空容器1与真空泵2之间设置有真空管3,所述真空容器1通过真空管3与真空泵2连通,所述真空泵2的下方设置有气体收集容器4,所述气体收集容器4与真空泵2之间设置有气体输送管5,所述气体收集容器4通过气体输送管5与真空泵2连通,所述真空泵2的旁侧设置有用于给真空泵2降温的工作液冷却系统6。

本实施例中通过工作液冷却系统6对真空泵2进行冷却降温,从而提高整个真空系统的可运作时间,提升产能,并进一步的通过气体收集容器4对气体中粉尘颗粒进行收集,避免真空泵2升温后,粉尘碰到高温的真空泵2发生爆炸。

本实施例中,所述真空管3的中部设置有第一电磁阀31和用于控制第一电磁阀31工作的第一控制器,第一控制器控制第一电磁阀31打开真空管3,真空泵2开始对真空容器1进行抽真空。

本实施例中,所述气体输送管5的中部设置有第二电磁阀51和用于控制第二电磁阀51工作的第二控制器,第二控制器控制第二电磁阀51打开气体输送管5,气体收集容器4收集从真空泵2中抽出的气体。

本实施例中,所述气体收集容器4包括容器本体41,所述容器本体41的下半部设置有进气口42,所述进气口42与气体输送管5连通,所述容器本体41的中部设置有多孔粉尘过滤层43,所述进气口42的旁侧设置有吹气管44,所述容器本体41的上半部设置有排气口45,所述容器本体41的底部设置有粉尘排放口46,所述气体收集容器4的下方设置有粉尘收集容器7,所述粉尘收集容器7通过管道与粉尘排放口46连通,从真空容器1内抽出的气体通过进气口42进入容器本体41内;进气口42的旁侧的吹气管44将气体往容器本体41的上端吹动;气体经过多孔粉尘过滤层43,气体内的粉尘颗粒会经过多孔粉尘过滤层43过滤下来,过滤后的气体则通过多孔粉尘过滤层43继续往容器本体的上端流动;排气口45将过滤后的气体排出;待气体排放后,关闭排气口45和吹气管44,粉尘颗粒从多孔粉尘过滤层43掉落,并通过粉尘排放口46排放至粉尘收集容器7内。

本实施例中,所述工作液冷却系统6包括冷却水罐61,所述冷却水罐61与真空泵2之间设置有进水管62和出水管63,所述进水管62的两端和所述出水管63的两端分别与冷却水罐61、真空泵2连通,所述冷却水罐61、真空泵2、进水管62、出水管63形成封闭的循环管路,冷却水罐61内的冷却水通过进水管62进入真空泵2内并进行热交换,带走真空泵2的热量,随后冷却水通过出水管63回流至冷却水罐61内,循环使用。

本实施例中,所述冷却水罐61内设置有温度传感器64,所述真空泵2的进水口和出水口分别设置有第三电磁阀65和第四电磁阀66,所述第三电磁阀65和第四电磁阀66分别与温度传感器64电连接,温度传感器64检测到冷却水罐61内冷却水升温后,会控制第三电磁阀65和第四电磁阀66关闭真空泵2的进水口和出水口;待冷却水罐61内的冷却水降温或者操作员更换冷却水后,再打开真空泵2的进水口和出水口,继续进行冷却。

一种真空系统的控制方法,包括以下几个步骤:a.第一控制器控制第一电磁阀31打开真空管3,真空泵2开始对真空容器1进行抽真空;b.气体收集容器4收集从真空容器1内抽出的气体,并对气体中粉尘进行收集处理;c.工作液冷却系统6对真空泵2进行冷却处理,提高真空泵2连续工作时间。

本实施例中,所述步骤b具体包括以下步骤:b1.从真空容器1内抽出的气体通过进气口42进入容器本体41内;b2.进气口42的旁侧的吹气管44将气体往容器本体41的上端吹动;b3.气体经过多孔粉尘过滤层43,气体内的粉尘颗粒会经过多孔粉尘过滤层43过滤下来,过滤后的气体则通过多孔粉尘过滤层43继续往容器本体的上端流动;b4.排气口45将过滤后的气体排出;待气体排放后,关闭排气口45和吹气管44,粉尘颗粒从多孔粉尘过滤层43掉落,并通过粉尘排放口46排放至粉尘收集容器7内。

本实施例中,所述步骤c具体包括以下步骤:c1.冷却水罐61内的冷却水通过进水管62进入真空泵2内并进行热交换,带走真空泵2的热量,随后冷却水通过出水管63回流至冷却水罐61内,循环使用;c2.温度传感器64检测到冷却水罐61内冷却水升温后,会控制第三电磁阀65和第四电磁阀66关闭真空泵2的进水口和出水口;待冷却水罐61内的冷却水降温或者操作员更换冷却水后,再打开真空泵2的进水口和出水口,继续进行冷却。

以上内容仅为本发明的较佳实施例,对于本领域的普通技术人员,依据本发明的思想,在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处,本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

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