1.具有过滤器的真空系统，包括扩散泵，扩散泵上端设有主阀，主阀通过粗抽阀连接导气管，扩散泵通过前级阀连接导气管，导气管另一端连接罗茨泵、罗茨泵连接滑阀泵，其特征在于：在导气管与罗茨泵之间设置有过滤器组件，所述导气管输出端连接过滤器组件的输入端，过滤器组件的输出端连接罗茨泵；所述的过滤器组件包括外壳，导气管连接外壳下端的进口，外壳上端的出口连接罗茨泵，在外壳内部下端设有过滤结构，所述过滤结构包括钢网构成的过滤箱，过滤箱内设有钢丝球，在外壳内部侧壁上交错设置有数个挡板，所述挡板长度为外壳宽度的一半，所述挡板设置于过滤箱上方。
2.根据权利要求1所述的具有过滤器的真空系统，其特征在于：在外壳下端设有观察窗。
3.根据权利要求1所述的具有过滤器的真空系统，其特征在于：在外壳底部设有回收嘴，回收嘴上设有阀门。
4.根据权利要求1所述的具有过滤器的真空系统，其特征在于：所述前级阀通过维持泵阀连接有维持泵。