技术总结
本实用新型是涉及一种具有过滤器的真空系统。具有过滤器的真空系统,包括扩散泵,扩散泵上端设有主阀,主阀通过粗抽阀连接导气管,扩散泵通过前级阀连接导气管,导气管另一端连接罗茨泵、罗茨泵连接滑阀泵,在导气管与罗茨泵之间设置有过滤器组件。本实用新型设计了一种过滤器,根据粘结剂遇机械泵油凝结这一现象,过滤器组件内部滤芯采用日常生活中常见的钢丝球,成本低廉,只需在使用前从上面淋下机械泵油即可。粘结剂经过过滤器组件时,即凝结在钢丝球上,定期更换钢丝球便可以实现设备维护。钢丝球价格低廉,易于购买,机械泵油可回收反复使用,经济实惠。
技术研发人员:郭赛南;王溪岩
受保护的技术使用者:爱发科真空技术(沈阳)有限公司
技术研发日:2018.04.04
技术公布日:2018.11.13