一种干泵的制作方法

本发明涉及真空获得设备，具体涉及一种干泵。

背景技术：

1、为真空获得设备，复合式涡轮分子泵在获得高真空行业中具有广泛的应用，在一些半导体行业等行业，产品的加工制作要求要有较高的真空环境。

2、一般来说，为了获得高真空，人们通常会使用高真空泵，如分子泵、扩散泵+冷阱。但这些高真空泵在使用时必须要配置前级泵，不能直排大气。否则会造成电机烧毁、转子叶片打碎、扩散泵油氧化等事故。如cn116221151a中公开的复合式涡轮分子泵能够抽出封闭空间内大部分空气，但需要与其它种类的泵配合方能将气体排入大气中，以使空间达到要求的极限真空环境。

技术实现思路

1、因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的高真空泵在获得高真空时，需要与其它种类的泵配合方能将气体排入大气中的缺陷，从而提供一种干泵。

2、为了解决上述问题，本发明提供了一种干泵，包括：

3、壳体组件，所述壳体组件设有内部腔室，所述壳体组件的侧壁设有进气口，所述壳体组件包括低真空侧壳体；

4、复合叶轮，设于所述内部腔室内，所述复合叶轮设有涡轮级，所述涡轮级以吸入自进气口进入的气体；

5、主轴，设于所述内部腔室内，所述主轴包括连接段和螺杆段，所述复合叶轮套设于连接段的外周壁上，所述螺杆段的外周壁上设有第一螺旋凹槽，所述低真空侧壳体套设于螺旋段的外周，所述低真空侧壳体对应第一螺旋凹槽的侧壁上设有排气口，在工作状态下，主轴转动，所述涡轮级先吸入气体，使气体再在第一螺旋凹槽内受到压缩，气体随第一螺旋凹槽转动而排出至排气口外。

6、可选地，所述壳体组件还包括高真空侧壳体和内套筒，所述高真空侧壳体套设于内套筒的外周，所述高真空侧壳体与低真空侧壳体连接，所述低真空侧壳体与内套筒固定连接，所述复合叶轮还包括第一牵引段，所述内套筒套设于第一牵引段的外周，所述第一牵引段的外周面设有第二螺旋凹槽。

7、可选地，所述低真空侧壳体设有第二牵引段，所述第二牵引段的外周面设有第三螺旋凹槽，所述第一牵引段套设于第二牵引段的外周。

8、可选地，所述第一牵引段背离涡轮级的端面与低真空侧壳体的端面间留有第一空隙，所述低真空侧壳体的第二牵引段的端面与第一牵引段的内端面间留有第二空隙。

9、可选地，所述第二螺旋凹槽的螺旋升角大于第三螺旋凹槽的螺旋升角、所述第二螺旋凹槽的螺旋槽深等于第三螺旋凹槽的螺旋槽深、所述第二螺旋凹槽的螺旋槽宽度大于第三螺旋凹槽的螺旋槽宽度；所述第三螺旋凹槽的螺旋升角大于第一螺旋凹槽的螺旋升角、所述第三螺旋凹槽的螺旋槽深等于第一螺旋凹槽的螺旋槽深、所述第三螺旋凹槽的螺旋槽宽度大于第一螺旋凹槽的螺旋槽宽度。

10、可选地，所述第二螺旋凹槽的螺旋升角大于或等于第三螺旋凹槽的螺旋升角。

11、可选地，所述壳体组件还包括高真空侧轴承座和低真空侧轴承压盖，所述高真空侧轴承座和低真空侧轴承压盖分设于主轴的两端。

12、可选地，还包括气密航插件和动力驱动件，所述动力驱动件设于低真空侧壳体与主轴之间，所述动力驱动件包括定转子和动转子，所述动转子套设于主轴的外周面，所述定转子与低真空侧壳体固定连接，所述气密航插件与动力驱动件线路连接。

13、可选地，还包括风冷组件，所述风冷组件与低真空侧轴承压盖固定连接。

14、可选地，所述涡轮级包括动叶轮和静叶轮，所述动叶轮和静叶轮依次间隔设置。

15、本发明技术方案，具有如下优点：

16、1.本发明提供的干泵，包括：壳体组件，设有内部腔室，壳体组件的侧壁设有进气口，壳体组件包括低真空侧壳体；复合叶轮，设于内部腔室内，复合叶轮设有涡轮级，涡轮级以吸收自进气口进入的气体；主轴，设于内部腔室内，主轴包括螺杆段和连接端段，复合叶轮套设于连接段的外周壁上，螺杆段的外周壁上设有第一螺旋凹槽，低真空侧壳体套设于螺旋段的外周，低真空侧壳体对应第一螺旋凹槽的侧壁上设有排气口。

17、在工作状态下，主轴转动，涡轮级先吸入气体，使气体再在第一螺旋凹槽内受到压缩，气体随第一螺旋凹槽转动而排出至排气口外。通过涡轮级和第一螺旋凹槽的设置，由涡轮级进行转动使自进气口进入的气体进行定向流动，产生抽气的效果，再使气体进入第一螺旋凹槽内受到压缩，排出至排气口外。需要注意的是，螺杆段转动时，螺杆段作为转子、低真空侧壳体作为定子，以在同一泵体内实现抽气和压缩的功能，且复合叶轮和螺杆段均随同一主轴进行转动，由涡轮级和螺杆段配合，实现气体直排大气的功能需求。

18、2.本发明提供的干泵，壳体组件还包括高真空侧壳体和内套筒，高真空侧壳体套设于内套筒的外周，高真空侧壳体与低真空侧壳体连接，低真空侧壳体与内套筒固定连接，复合叶轮还包括第一牵引段，内套筒设于第一牵引段的外周，第一牵引段的外周面设有第二螺旋凹槽。实现第一牵引段作为转子、内套筒作为定子，以使气体依次经涡轮级、第二螺旋凹槽、第一螺旋凹槽排出至排气口外。由于涡轮级抽到的气体具有较大的抽速，通过第一牵引段的设置，以缓冲气体的速度，更好地匹配涡轮级的出来的气体的速度，以降低进入第一螺旋凹槽内的气体的速度。

19、3.本发明提供的干泵，低真空侧壳体设有第二牵引段，第二牵引段的外周面设有第三螺旋凹槽，第一牵引段套设于第二牵引段的外周。实现第一牵引段的内侧壁作为转子、第二牵引段作为定子，使气体经第一牵引段后再经第二牵引段后进入第一螺旋凹槽内，第二牵引段以进一步降低自第一牵引段进入的气体的速度。

20、4.本发明提供的干泵，第一牵引段背离涡轮级的端面与低真空侧壳体的端面间留有第一空隙，低真空侧壳体的第二牵引段的端面与第一牵引段的内端面间留有第二空隙。第一空隙起到连接第三螺旋凹槽和第一螺旋凹槽的目的，第二空隙起到第二螺旋凹槽和第一螺旋凹槽的目的，由于第一空隙和第二空隙的布置，使主轴的螺杆段、低真空侧壳体的第二牵引段和复合叶轮的第一牵引段可以沿主轴的周向依次进行排列，使整体结构更加紧凑、减小壳体组件的体积，且抽气效果更好。

21、5.本发明提供的干泵，第二螺旋凹槽的螺旋升角大于第三螺旋凹槽的螺旋升角、第二螺旋凹槽的螺旋槽深等于第三螺旋凹槽的深度、第二螺旋凹槽的螺旋槽宽度大于第三螺旋凹槽的螺旋槽宽度；第三螺旋凹槽的螺旋升角大于第一螺旋凹槽的螺旋升角、第三螺旋凹槽的螺旋槽深等于第一螺旋凹槽的螺旋槽深、第三螺旋凹槽的螺旋槽宽度大于第一螺旋凹槽的螺旋槽宽度，以使第二螺旋凹槽容纳的气体体积大于第三螺旋凹槽，第三螺旋凹槽容纳的气体体积大于第一螺旋凹槽。

22、6.本发明提供的干泵，第二螺旋凹槽的螺旋升角大于或等于第三螺旋凹槽的螺旋升角。

23、7.本发明提供的干泵，壳体组件还包括高真空侧轴承座和低真空侧轴承压盖，高真空侧轴承座和低真空侧轴承压盖分设于主轴的两端，以对主轴进行固定和密封。

24、8.本发明提供的干泵，还包括气密航插件和动力驱动件，动力驱动件设于低真空侧壳体与主轴之间，动力驱动件包括定转子和动转子，动转子套设于主轴的外周面，定转子与低真空侧壳体固定连接，气密航插件与动力驱动件线路连接。动力驱动件驱动主轴进行转动，气密性航插提供电能，使定转子、动转子配合实现将电能转换成动能，最终驱动主轴进行转动。

25、9.本发明提供的干泵，还包括风冷组件，风冷组件与低真空侧轴承压盖固定连接，风冷组件以对整体结构进行冷却。

26、10.本发明提供的干泵，涡轮级包括动叶轮和静叶轮，动叶轮的外周面与进气口对应设置，动叶轮和静叶轮依次间隔设置。