隔膜真空泵的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种隔膜真空泵，详细而言，涉及将多个具有一对泵室的隔膜真空泵单元相连结而成的隔膜真空泵。
【背景技术】
[0002]作为隔膜真空泵，存在如下一种隔膜真空泵，其包括:泵室，其通过安装于连杆的隔膜而扩大或缩小，该连杆利用设于旋转轴的曲轴机构进行往复运动；与该泵室相连通的进气通路和排气通路；进气侧止回阀，其用于限制流体自所述泵室向所述进气通路逆流；以及排气侧止回阀，其用于限制流体自所述排气通路向所述泵室逆流(例如，参照专利文献I。)。另外，还存在一种以如下方式形成的隔膜真空泵:在一个马达的两侧的旋转轴设置两个曲轴机构，在利用各曲轴机构进行往复运动的连杆的两端分别安装隔膜，合计设置利用各隔膜而扩大或缩小的4个泵室并将各泵室串联连接(例如，参照专利文献2。)。
[0003]专利文献1:日本特开平4 - 224286号公报
[0004]专利文献2:日本特开平6 - 185466号公报(图2、图3)
【发明内容】
_5] 发明要解决的问题
[0006]但是，所述专利文献2所记载的隔膜真空泵的构造复杂，用于将泵室连接的管设置在外壳内，因此，其用途仅限于提高极限真空度，另外，由于在马达的两侧设有泵室，因而存在设置面积较大这样的问题。
[0007]因此，本发明的目的在于，提供一种能够减小设置面积而也可谋求构造的简化、且不仅能够提高极限真空度而且还能够谋求提高排气速度的隔膜真空泵。
_8] 用于解决问题的方案
[0009]为了实现所述目的，本发明提供一种隔膜真空泵，其特征在于，该隔膜真空泵通过如下方式形成，即，形成隔膜真空泵单元，将该隔膜真空泵单元沿上下方向叠放多层，利用齿形带将在上下方向上相邻的所述隔膜真空泵单元的凸轮轴彼此连结起来，并将一个隔膜真空泵单元的所述凸轮轴连接于马达，该隔膜真空泵单元包括:所述凸轮轴，其两端部以能够旋转的方式支承于外壳；曲轴机构，其通过该凸轮轴的旋转进行工作；连接构件，其能利用该曲轴机构而沿与所述凸轮轴的轴线正交的水平方向进行往复运动；隔膜，其分别安装于该连接构件的两端部；一对泵室，该一对泵室的容积通过该隔膜的动作而扩大或缩小；与各泵室相连通的进气通路和排气通路；进气侧止回阀，其用于限制流体自所述泵室向所述进气通路逆流；以及排气侧止回阀，其用于限制流体自所述排气通路向所述泵室逆流。
[0010]另外，优选的是，利用连结管将一个泵室的所述排气通路和另一个泵室的所述进气通路连接起来，该连结管由形成为日文3字状的透明且具有耐化学药品性的树脂制的管来形成，并在该连结管的两端部分别一体地设有以能够装卸的方式借助密封构件连接于所述进气通路或所述排气通路的连结部。
[0011]发明的效果
[0012]采用本发明的隔膜真空泵，在隔膜真空泵单元中，分别沿水平方向排列设置一对泵室，并利用与通过马达而旋转的旋转轴一体地旋转的I个曲轴机构来使所述一对泵室工作，因此，能够使隔膜真空泵单元小型化。另外，隔膜真空泵是通过将隔膜真空泵单元沿上下方向叠放并将隔膜真空泵单元相连结而形成的，由此能够谋求提高排气量和极限真空度并使整个装置小型化而减小设置面积。并且，通过利用齿形带将在上下方向上相邻的隔膜真空泵单元的所述旋转轴相连结，能够利用I台马达来使多个泵室良好地工作。
[0013]另外，通过利用形成为日文3字状的、透明且具有耐化学药品性的树脂制的管来形成用于将一个泵室的排气通路和另一个泵室的进气通路连接的连结管，能够将连结管简单地连接于排气通路和进气通路，并能够利用具有密封构件的连结部来确保较高的密封性。并且，由于能够掌握运转时的泵室内部的结露、污垢的状态，因此能够确认维护的时刻。
[0014]并且，由于连结管能够任意与多个进气通路和多个排气通路相连接，因此，能够通过适当地重新设计连结管的连接方式而与使用目的相对应地改变排气量和真空度。
【附图说明】
[0015]图1是表示本发明的第I实施例的隔膜真空泵单元的截面平面图。
[0016]图2是该隔膜真空泵单元的连结管的主要部分的说明图。
[0017]图3是表示该隔膜真空泵单元的工作状态的说明图。
[0018]图4是该隔膜真空泵的主视图。
[0019]图5是图4的A — A向视图。
[0020]图6是表示本发明的第I实施例的隔膜真空泵的工作状态的说明图。
[0021]图7是表示本发明的第2实施例的隔膜真空泵的工作状态的说明图。
[0022]图8是表示本发明的第3实施例的隔膜真空泵的工作状态的说明图
【具体实施方式】
[0023]图1?图6是表示本发明的隔膜真空泵的第I实施例的图，本实施例的隔膜真空泵I是通过将隔膜真空泵单元IlaUlb在上下方向上叠放两层并将隔膜真空泵单元11a、Ilb连结起来而形成的。
[0024]如图1?图3所示，本实施例的隔膜真空泵I中的第I隔膜真空泵单元Ila包括:马达12 ;凸轮轴12a，其与自该马达12沿水平方向突出的输出轴12b相连结而进行旋转；曲轴机构13，其通过设于该凸轮轴12a的偏心凸轮13a进行工作；连接构件14，其安装于该曲轴机构13，能沿与凸轮轴12b正交的水平方向进行往复运动；隔膜15、16，该隔膜15、16分别安装于该连接构件14的两端部；一对泵室17、18，该一对泵室17、18的容积通过该隔膜
15、16的进退而扩大或缩小；与泵室17相连通的进气通路17a和排气通路17b ;与泵室18相连通的进气通路18a和排气通路18b ;进气侧止回阀17c、18c，该进气侧止回阀17c、18c用于限制空气自泵室17、18向进气通路17a、18a逆流；以及排气侧止回阀17d、18d，该排气侧止回阀17d、18d用于限制空气自排气通路17b、18b向泵室17、18逆流。
[0025]曲轴机构13包括:偏心凸轮13a，其以与凸轮轴12a正交的方式安装于凸轮轴12a且与该凸轮轴12a构成一体地进行旋转；从动构件13c，其借助第I轴承13b以能够转动的方式连结于该偏心凸轮13a的外周；以及所述连接构件14，其借助第2轴承13d和连结销13e而连结于该从动构件13c。偏心凸轮13a是安装于凸轮轴12a的外周的圆形的构件，以该偏心凸轮13a的中心轴线与凸轮轴12a的中心轴线位于不同的位置的方式配置。从动构件13c形成为具有形成于一端侧的大径部13f和形成于另一端侧的小径部13g的大致不倒翁形状，该从动构件13c借助安装于在大径部13f上形成的安装孔的所述第I轴承13b而与偏心凸轮13a相连结，并借助安装于在小径部13g上形成的安装孔的第2轴承13d而安装有连结销13e，在该连结销13e上连结有所述连接构件14。
[0026]连接构件14用于隔着从动构件13c将覆盖从动构件13c的一侧面和两端面的框构件14a及覆盖从动构件13c的另一侧面的板构件14b之间接合，在连接构件14的一端侧形成有供凸轮轴12a贯穿且容许连接构件14沿水平方向移动的由长孔构成的贯穿孔14c，在连接构件14的另一端侧形成有供与从动构件13c相连结的所述连结销13e嵌合的连结销嵌合孔14d。并且，在框构件14a的两端部设有用于安装隔膜15、16的安装部14e、14e。另外，连接构件14的在水平方向上的长度形成为如下长度:在一个隔膜15位于上止点时另一个隔膜16位于下止点