专利名称：一种波纹管固定架的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种固定架，具体涉及一种用于MOCVD设备气体管道连接处的波纹管固定架。
背景技术：
MOCVD (金属有机化学气相沉积)设备，是LED外延芯片生产所必需的设备之一。MOCVD设备上大部分气体管道中间是用波纹管连接的，经过长时间使用后，波纹管会出现变形的情况，导致波纹管连接处的卡箍由于变形松动带来漏气，从而导致工艺参数发生变化，不利于外延生长。
实用新型内容本实用新型的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种结构简单、操作方便、能够避免波纹管在安装后出现松动，从而造成漏气故障的波纹管固定架。一种波纹管固定架，包括底板，所述底板两端分别设有与其相垂直的波纹管，所述波纹管之间套设有与底板相平行的调节板，所述调节板具有沿波纹管移动的自由度，所述调节板与波纹管的相接端设有固定调节板位置的调节螺母。本实用新型结构简单，制作方便，可方便将波纹管的长度固定，使其不会由于长时间使用发生变形连接处松动漏气，而且操作方便，制造成本也较低。
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
实施例1参见图1，本实用新型提供的一种波纹管固定架，包括底板I，所述底板I两端分别设有与其相垂直的波纹管2，所述波纹管2之间套设有与底板I相平行的调节板3，所述调节板3具有沿波纹管2移动的自由度，所述调节板3与波纹管2的相接端设有固定调节板3位置的调节螺母4。使用时，通过旋动调节螺母4，便可实现对调节板3的位置调节，当波纹管2被调节板3带动，调整至合适长度时，锁紧调节螺母4，波纹管2的长度便得到了固定，不会由于外界原因而导致伸长或缩短，使连接处松动，从而发生漏气而影响工艺参数。
权利要求1.一种波纹管固定架，包括底板，其特征在于所述底板两端分别设有与其相垂直的波纹管，所述波纹管之间套设有与底板相平行的调节板，所述调节板具有沿波纹管移动的自由度，所述调节板与波纹管的相接端设有固定调节板位置的调节螺母。
专利摘要本实用新型公开了一种波纹管固定架，包括底板，所述底板两端分别设有与其相垂直的波纹管，所述波纹管之间套设有与底板相平行的调节板，所述调节板具有沿波纹管移动的自由度，所述调节板与波纹管的相接端设有固定调节板位置的调节螺母。本实用新型结构简单，制作方便，可方便将波纹管的长度固定，使其不会由于长时间使用发生变形连接处松动漏气，而且操作方便，制造成本也较低。
文档编号F16L3/00GK202868055SQ20122054070
公开日2013年4月10日 申请日期2012年10月22日 优先权日2012年10月22日
发明者林长军 申请人:合肥彩虹蓝光科技有限公司