专利名称：Mems阀运行轮廓的制作方法
技术领域：
本公开总的涉及微机电系统(MEMS)，且更特定地涉及用于实现来自MEMS阀的修改的输出响应的阀轮廓。
背景技术：
在此部分中的陈述仅提供了与本公开相关的背景信息且可以或可以不构成现有技术。典型的微机电系统(MEMS)控制阀是使用微制造技术合并在硅基片上的微阀。这些系统具有带有在微米范围内测量的特征的机械部件和电部件。多种微阀装置已用于控制流体回路内的流体流动。典型的微阀装置包括通过装置的固定的体部分支承且运行地联接到促动器的可移动阀。可移动阀能够响应于提供到微阀的电信号而交替地阻断口，这产生了液压信号响应。在先前的应用中，通过微阀提供的液压响应已适合于应用的要求。然而，当在进一步的应用中利用微阀技术时，应用的属性已要求更精确的流体压力信号，这使用当前的线性阀位置输入已无法实现。作·为结果，当利用在要求这样的响应的应用中时，存在对优化微阀的流体压力响应的方法的需求。因此，当利用在要求此响应的应用中时，在现有技术中存在优化微阀的流体压力响应的方法的余地。
发明内容
提供了微机电流体控制装置，所述装置包括第一板、第二板和中间板。中间板定位在第一板和第二板之间。第一板包括一对电触点腔。第二板包括第一口、第二口和第三口。中间板包括阀、阀腔和促动器。第一口、第二口和第三口与阀腔连通。阀布置在腔内。阀连接到促动器。阀包括细长部分和阻断部分，且阻断部分包括第一部分、第二部分和第三部分。在本发明的另一个示例中，阻断部分的第一部分包括第一和第二凸表面和第一平面表面。第一凸表面与第二凸表面对置，且第一凸表面和第二凸表面通过第一平面表面连接。在本发明的另一个示例中，阻断部分的第二部分包括第二和第三平面表面。第二平面表面连接到第一凸表面，且第三平面表面连接到第二凸表面。在本发明的再另一个示例中，阻断部分的第三部分包括第三和第四凸表面和第四平面表面。第三凸表面与第四凸表面对置，第三和第四凸表面通过第四平面表面连接，第三凸表面连接到第二平面表面，且第四凸表面连接到第三平面表面。在本发明的再另一个示例中，阻断部分的第一部分包括与第一口选择地连通的第一流体通道。在本发明的再另一个示例中，阻断部分的第二部分包括第二流体通道，且第二流体通道与第一流体通道和第二口连通。在本发明的再另一个示例中，阻断部分的第三部分包括第三流体通道，第三流体通道与第二流体通道连通，且第三流体通道与第三口选择地连通。在本发明的再另一个示例中，阻断部分的第一部分包括通过如下等式限定的流动面积:
权利要求
1.一种微机电流体控制装置，所述装置包括: 第一板、第二板和中间板，其中中间板定位在第一板和第二板之间，第一板包括一对电触点腔，第二板包括第一口、第二口和第三口，且中间板包括阀、阀腔和促动器；且 其中第一口、第二口和第三口与阀腔连通，阀布置在腔内，且阀连接到促动器；且 其中阀包括细长部分和阻断部分，且阻断部分包括第一部分、第二部分和第三部分。
2.根据权利要求1所述的微机电流体控制装置，其中阻断部分的第一部分包括第一和第二凸表面和第一平面表面，第一凸表面与第二凸表面对置，且第一凸表面和第二凸表面通过第一平面表面连接。
3.根据权利要求2所述的微机电流体控制装置，其中阻断部分的第二部分包括第二和第三平面表面，第二平面表面连接到第一凸表面，且第三平面表面连接到第二凸表面。
4.根据权利要求3所述的微机电流体控制装置，其中阻断部分的第三部分包括第三和第四凸表面和第四平面表面，第三凸表面与第四凸表面对置，第三和第四凸表面通过第四平面表面连接，第三凸表面连接到第二平面表面，且第四凸表面连接到第三平面表面。
5.根据权利要求1所述的微机电流体控制装置，其中阻断部分的第一部分包括与第一口选择地连通的第一流体通道。
6.根据权利要求5所述的微机电流体控制装置，其中阻断部分的第二部分包括第二流体通道，且第二流体通道与第一流体通道和第二口连通。
7.根据权利要求6所述的微机电流体控制装置，其中阻断部分的第三部分包括第三流体通道，第三流体通道与第二流体通道连通，且第三流体通道与第三口选择地连通。
8.根据权利要求1所述的微机电流体控制装置，其中阻断部分的第一部分包括通过如下等式限定的流动面积:—.1)M=-ιΗ--z~m 其中H表示对于第一部分和第二部分的总流动面积，k是对于阀设计的常数，且X是在阻断部分的移动方向上的距离。
9.根据权利要求8所述的微机电流体控制装置，其中阻断部分的第三部分包括通过如下等式限定的流动面积: A2 = H~ j41 °
10.一种MEMS流体控制系统，包括: 微机电系统，所述系统包括多个口、腔、阀、促动器和一对电触点，其中多个口与腔连通，阀布置在腔内，且阀连接到促动器；和 液压回路，所述液压回路具有与第一多个口连通的压力供给管线，与第二多个口连通的控制管线，和与第三多个口连通的排出管线， 其中阀包括细长部分和阻断部分，所述阻断部分包括第一、第二和第三部分。
全文摘要
本发明涉及MEMS阀运行轮廓。提供了一种具有微机电系统的MEMS流体控制系统。所述系统包括多个口、腔、阀、促动器和一对电触点。多个口与腔连通，阀布置在腔内，且阀连接到促动器。系统进一步包括液压回路，所述液压回路具有与第一多个口连通的压力供给管线，与第二多个口连通的控制管线，和与第三多个口连通的排出管线。阀包括细长部分和阻断部分，所述阻断部分包括第一、第二和第三部分。
文档编号F16K31/02GK103225702SQ201310035240
公开日2013年7月31日 申请日期2013年1月30日 优先权日2012年1月30日
发明者Z.谢 申请人:通用汽车环球科技运作有限责任公司