直接浮动装置制造方法
直接浮动装置制造方法
【专利摘要】根据直接浮动装置的一个实施例的气体滑动装置(1)具有矩形的滑动轴(2)，以及框架形状的滑动器(3)，滑动器具有平面形状、并面对着要被支撑的目标(21)的空气静力支承表面(31A-31D)。在形成空气静力支承表面(31A-31D)的多孔层(32A-32D)的背侧，滑动器(3)具有供气通道(33A-33D)，包括以沿着滑动轴(2)要被支撑的表面(21)的边缘的图案设置的供气槽。由此可以获得实现更高精度的线性引导的直接浮动装置。
【专利说明】直接浮动装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种直接浮动装置(direct levitat1n device),在没有接触的情况下，该装置相对于滑动轴使滑动器沿着轴中心方向运动，同时利用空气静力支承(aerostatic bearing)使滑动器从滑动轴浮起,更特别地，本发明涉及一种能够获得更高精度的线性引导的供气通道结构。
【背景技术】
[0002]作为沿着矩形滑动轴(固定主体)的轴中心方向的方向引导绕着该滑动轴外周表面设置的滑动器(可移动主体)的气体滑动装置(直接浮动装置)，专利文献I中所描述的用于在真空室中传输半导体等的引导装置是已知的。
[0003]该引导装置包括:长方体形状的滑动轴，其在外周上具有四个平面形状的引导表面；以及管形滑动器，该管形滑动器具有运动表面，每一表面面对着内周中的滑动轴的对应引导表面。
[0004]沿着滑动轴轴中心方向(滑动器移动方向)的气垫设置在滑动轴四个引导表面的每一个上，且到达所有气垫的公共压缩气体供给流动路径被设置在滑动轴内侧。此外，在滑动轴的四个引导表面中每一个上，收集供给的压缩气体的环形收集槽绕着对应的气垫形成，以及到达收集槽的排出路径被设置在滑动轴内侧。
[0005]在这种结构中，一旦压缩气体提供到滑动轴供给流动路径，压缩空气在相同的压力下从滑动轴的四个引导表面的气垫喷出，从而在滑动轴的外周表面(四个引导表面)以及滑动器的内周表面(四个运动表面)之间形成气层，从而使得滑动器可以在滑动器相对于滑动轴浮起的状态下沿着滑动轴的轴中心方向移动。此外，由于从滑动轴的每个引导表面上的气垫喷出的压缩气体被绕着对应气垫的收集槽收集，压缩气体通过滑动轴中的排出路径排出到真空腔的外侧，而不会在滑动轴的引导表面和滑动器的运动表面之间泄漏。
[0006]引用列表
[0007]专利文献
[0008]专利文献1:日本专利申请特开N0.2011-247405。
【发明内容】
[0009]技术问题
[0010]在专利文献I中所述的引导装置滑动轴其引导表面中，仅靠近中央区域设置气垫，所述中央区域包括在专利文献I所描述的引导装置的滑动轴的引导表面中沿着滑动轴的轴中心方向的中心线，但所述气垫不靠近滑动轴宽度方向的侧部设置。因此，压缩气体不可能在宽度方向上送到滑动轴引导表面以及滑动器运动表面两者侧部的附近。因此，可以认为在滑动轴宽度方向上，滑动轴引导表面和滑动器运动表面之间间隙中的压力从设置气垫的中央区域向着滑动轴运动表面的两侧减少。在产生这样的压力梯度时，例如，如果负载变化(如冲击)施加到滑动轴或者滑动器，滑动器和滑动轴可能绕着滑动轴的轴中心相对地摆动。
[0011]此外，在专利文献I中所述的引导装置中，在结构中，压缩气体不可能沿轴中心方向送到滑动轴引导表面以及滑动器运动表面两者的端部附近。因此，当弯曲载荷施加到滑动轴时，滑动轴可能弯曲且滑动器的直线稳定性降低。
[0012]本发明根据上述情况而做出，且本发明的目的在于提供能够实现更高精度线性引导的直接浮动装置。
[0013]问题的解决方案
[0014]为了解决上述问题，根据本发明的气体滑动装置包括:
[0015]柱形滑动轴，其具有沿着轴中心方向的多个侧表面；及
[0016]滑动器，其包括绕着滑动轴的轴中心围绕滑动轴的内壁表面，且每一个内壁表面面对着滑动轴的一个侧表面，滑动器沿着轴中心方向相对于滑动轴移动，
[0017]在滑动轴的侧表面以及滑动器的内壁表面的相对表面中，任意一个表面都包括空气静力支承表面，其在不接触的情况下，支撑其他作为要被支撑的目标表面的表面，及
[0018]在滑动轴和滑动器中，具有空气静力支承表面的一部分具有:
[0019]基座部件，其具有槽形成表面，每一个槽形成表面面向对应的要被支撑的目标表面,且在每一个槽形成表面上供气槽以沿着空气静力支承表面边缘的方式形成,从空气静力支承表面向着要被支撑的每一目标表面喷出的压缩气体供给到供气槽；以及
[0020]多孔层，堆叠在基座部件的槽形成表面上并形成空气静力支承表面。
[0021]本发明的有益效果
[0022]根据本发明，足够的浮力作用在矩形滑动轴的每一侧表面或者面对着滑动轴的每一侧表面的滑动器内壁的外周区域上，这样能够防止滑动器或者滑动轴绕着其轴中心摆动，以及增加滑动轴对抗力矩的刚度。结果，能够实现更高精度的线性引导。
【专利附图】
【附图说明】
[0023][图1]图1㈧为根据本发明一个实施方式的气体滑动装置I的外部视图，图1(B)为图UA)中所示的气体滑动装置I的A-A截面图。
[0024][图2]图2(A)为滑动器3的外部视图，图2 (B)为图2 (A)所示滑动器3的B-B截面图。
[0025][图3]图3(A)和3 (B)为在滑动器3中设置为相互面对的两块板30B和30D的前视图和底视图，图3 (C)和⑶为图3 (A)中所示板30B和30D的C-C截面图以及D-D截面图。
[0026][图4]图4(A)和4 (B)为在滑动器3中设置为相互面对的另两块板30A和30C中的一块板30A的前视图和后视图，图4(C) ,4(D)和4(E)为图4(A)中所示的板30A的E-E、F-F及G-G截面图。
[0027][图5]图5㈧为在滑动器3中设置为相互面对的其他两块板30A和30C中的另一块板30C的前视图，图5⑶、5 (C)和5 (D)为图5 (A)所示的板30A的H_H、1-1及G-G截面图。
[0028][图6]图6为解释施加到滑动轴2的浮力的视图。
【具体实施方式】
[0029]下面将参照【专利附图】
【附图说明】本发明的一个实施方式。
[0030]首先，对根据该实施例的气体滑动装置I的结构进行说明。此处，滑动轴2通过固定滑动器3在其纵向方向上得到线性引导的结构将通过示例进行描述，在示例中气体滑动装置I被用作需要高精度定位的例如半导体安装装置的高精度定位装置的Z轴可移动机构。
[0031]图1 (A)为根据该实施例的气体滑动装置的外部视图，而图1⑶为这个气体滑动装置I的A-A截面图。此外，图2(A)为形成这个气体滑动装置I的滑动器3其外部视图，而图2(B)为这个滑动器3的B-B截面图。为了进行解释，在正交坐标系中，滑动轴2的纵向被定义为z,而滑动轴2的水平宽度和竖直宽度方向被定义为图1(A)中的X和y,其他附图将利用该坐标系进行充分说明。
[0032]如图所示，根据该实施例的气体滑动装置I包括:固定到高精度定位装置等的z轴上的滑动器3，以及滑动轴2，其外周21在不接触的情况下由滑动器3支撑，并沿着滑动器3的轴中心z (即z方向)引导。
[0033]滑动轴2具有长方体的形状，其具有对应于所需移动距离的长度，且沿着滑动器3的轴中心z的四个侧表面21 (其中两个表面未示出)形成了要通过滑动器3的非接触支撑来引导的表面21 (此后称之为要被支撑的目标表面21)。此外，根据高精度定位装置的应用，在滑动轴2的一端表面22上，比如，用来固定用于吸住工件的吸附夹头的保持件的螺孔25以及使得来自减少吸附夹头中压力的真空泵的抽吸管通过的吸附路径24的开口也在该端表面上形成。
[0034]同时，滑动器3具有框架形状，其具有平的内壁表面31A到31D，每一内壁表面都面对着滑动轴2相应的要被支撑的目标表面21，内壁表面31A到31D绕着滑动轴2的轴中心z围绕滑动轴2，且每一内壁表面31A到31D形成了平面形状的空气静力支承表面31A到31D，它们以跨气体层的预定距离d面对着滑动轴2的相应的要被支撑的目标表面21。该滑动器3通过结合以下的两对板30A到30D (总共四块板)而形成，这四块板包括具有透气性的多孔层32A到32D和位于多孔层32A到32D的背侧的供气路径33A到33D，从而使得每一对板的多孔层(32A和32C，以及32B和32D)相互面对，且继而利用多个六角螺栓37固定板。
[0035]在两对板30A到30D中，两块板30B、30D形成具有相似结构的一对，并被设置为以对应于滑动轴2的水平宽度尺寸的距离而相互面对。图3(A)和3(B)为设置为相互面对的两块板30B、30D的前视图和底视图，而图3(C)和3(D)为图3(A)中所示板30B、30D的C-C截面图以及D-D截面图。
[0036]如所示，板30B、30D每一个都具有方形的背部金属(基体部件)34以及叠置在背部金属34的整个表面(多孔层形成表面)343上的多孔层32B、32D。
[0037]在背部金属34中，多个螺栓插入孔342形成为穿过面对着设置为相互面对的其他两块板30A、30C的两个侧表面341。六角螺栓37通过后面介绍的板30A的螺孔359插入这些螺栓插入孔342中。
[0038]此外，位于多孔层32B、32D背部的供气路径33B、33D形成在背部金属34的多孔层形成表面343上。这些供气路径33B、33D每一个都具有关于背部金属轮廓的对称线(z方向对称线Ol以及y方向对称线02)的对称图案，每一个都包括了穿过背部金属34的多孔层形成表面343的四个角部区域3431的供气槽331以及与这个供气槽331连接并在y方向在两侧的侧表面341上开孔的通风槽332。在本实施例中，供气槽331沿着背部金属34的多孔层形成表面343的外边缘于外周区域3433中形成(从背部金属34的边缘开始的预定宽度的带状区域)，外周区域3433围绕背部金属34的多孔层形成表面343的中央区域3432(即沿着滑动轴2的相对的要被支撑的目标表面21的边缘形成)，且通风槽332形成在背部金属轮廓的I方向对称线02上，跨越该供气槽331。
[0039]多孔层32B、32D层叠在背部金属34的整个多孔层形成表面343上，这样压缩气体流动路径形成在多孔层32B、32D的背部，每个压缩气体流动路径由一侧表面341上的通风槽332的开口、通过沿着背部金属34的多孔层形成表面343的外边缘的供气槽331、到达另一侧表面341上的通风槽332的开口。此外，多孔层32B、32D的表面31B、31D形成了空气静力支承表面31B、31D，这些支承表面31B、31D喷出通过这些流动路径所提供的压缩气体。
[0040]在两对板30A到30D中，形成另一对的两块板30A、30C设置为以对应于滑动轴2的垂直宽度尺寸的距离相互面对，从而使得一对板30B、30D从其侧表面341被两块板30A、30C夹住。
[0041]图4(A)和4(B)为设置为相互面对的另两块板30A、30C中板30A的前视图和后视图，而图4(C)、4 0>)和4(E)为图4(A)所示板30A的E-E、F-F以及G-G截面图。
[0042]如所示，另两块板30A和30C中的板30A包括背部金属(基体部件)35 (比如形成为方形的钢板)以及多孔层32A，所述多孔层堆叠在背部金属35的一个表面353 (多孔层形成表面)上。
[0043]凹部355形成在背部金属35的多孔层形成表面353上，留出带状区域(板附接区域)354，其宽度对应于沿z方向自两侧边缘351起的板30B、30D的厚度。多孔层32A设置在凹部355中，而设置为相互面对的一对板30B、30D的侧面341设置于在该凹部355的两侧上的板附接区域354上。
[0044]设置在多孔层32A的背部的供气路径33A形成在该凹部355的底部表面上。该供气路径33A相对于背部金属轮廓的对称线(z方向对称线03以及X方向对称线04)具有对称图案，并包括穿过凹部355的底部表面3554的四个角部区域3551的供气槽333以及连接到这个供气槽333且在X方向上通到板附接区域354内部的通风槽334。在本实施例中，供气槽333沿着凹部355的底部表面轮廓形成在外周区域3553 (距离凹部355的底部表面3554的轮廓预定宽度的带状区域)中，外周区域3553围绕凹部355的底部表面3554的中心区域3552 (即沿着滑动轴2的相对的要被支撑的目标表面21的边缘而形成)，而通风槽334形成在背部金属轮廓的X方向对称线04上，跨越供气槽333。
[0045]此外，通过通风槽334通向供气槽333的供气开口 357形成在背部金属35的另一个表面356上。
[0046]多孔层32A堆叠在多孔层形成表面353 —侧的背部金属35的凹部355上，使得压缩气体流动路径形成在该多孔表面32A的背侧，所述压缩气体流动路径从位于背部金属35的另一个表面356的中部中的供气开口 357，经由沿着背部金属35的凹部355的底部表面轮廓的供气槽333，通向板附接区域354中的通风槽端部3341。此外，多孔层32A的表面31A形成了喷出经由该流动路径所供应的压缩空气的空气静力支承表面31A。
[0047]此外，在背部金属35的另一表面356上，螺孔359形成在与板附接区域354中的板30B、30D的侧表面341的螺栓插入孔342对应的位置。
[0048]图5 (A)为相互面对设置的其他板30A、30C中的其他板30C的前视图，而图5⑶、5 (C)和5 (D)为图5 (A)中所示板30C的H_H、1-1以及J-J截面图。
[0049]如所示，其他两块板30A、30C中的其他板30C具有背部金属(基体部件)36 (比如方形钢板)以及堆叠在背部金属36的一表面(多孔层形成表面)363上的多孔层32C。
[0050]背部金属36的多孔层形成表面363具有与板30A的多孔层形成表面相似的表面形状。更特别地，多孔层32C设置在凹部365上，凹部365在背部金属36的多孔层形成表面363上形成，留下了带状区域364(板附接区域)，带状区域364的宽度对应于沿z方向板30B、30D从两个侧边缘361起的厚度，位于多孔层32C的背部上的供气通道33C形成在该凹部365的底部表面上。该供气路径33C关于背部金属轮廓的对称线(z方向对称线05以及X方向对称线06)具有对称图案，并包括穿过凹部365的底部表面的四个角部区域的供气槽335，以及连接到该供气槽335并到达板附接区域364内部的通风槽336。在本实施例中，供气槽335沿着背部金属36的多孔层形成表面363的凹部365的底部表面轮廓形成在外周区域3653中(从凹部365的底部表面3655的轮廓起，具有预定宽度的带状区域)，外周区域3653围绕该凹部365的底部表面3655的中心区域3652(即沿着滑动轴2的相对的要被支撑的目标表面21的边缘而形成)，且通风槽336形成在背部金属轮廓的X方向对称线06上，跨越供气槽335。
[0051]多孔层32C堆叠在多孔层形成表面363侧的背部金属36的凹部365上,从而使得从板附接区域364的通风槽端部3361沿着背部金属36的凹部365的底部表面轮廓通往供气槽336的压缩气体流动路径形成在该多孔层32C的背部上。此外，多孔层32C的表面31C形成了喷出通过该流动路径所供给的压缩气体的空气静力支承表面31C。
[0052]仍然进一步地，在背部金属36的板附接区域364中，多个螺孔369形成在与位于板附接区域364中的板30B和30D的其他侧表面341的螺纹插入孔342对应的位置。
[0053]滑动器3通过如下组装这样的四块板30A到30D而形成。
[0054]两块板30B和30D在多孔层32B和32D相互面对的状态下，在板30C的两侧上一个靠一个地设置在板附接区域364上。在这点上，通过对齐板30B、30D的其他侧表面341的螺栓插入孔342与板30C的板附接区域364的螺孔369，板30B和30D的其他表面341中的通风槽332的开口与板30C的板附接区域364的通风槽端部3361连接。
[0055]此外，板30A设置在两块板30B、30D的侧表面341上，使得板30A的板附接区域354与两块板30B、30D的其他侧表面接触。在这点上，通过使板30A的两侧上的板附接区域354的螺孔359与板30B、30D的侧表面341的螺栓插入孔342相对准，板30B、30D的侧表面341中的通风槽332的开口与板30D的板附接区域354的通风槽端部3341连接。
[0056]因此，四块板30A到30D的供气路径33A到33D相互连接，如图1⑷中虚线所示。在这种状态下，六角螺栓37从板30A的螺孔359插入到板30B、30D的螺栓插入孔342，以将这些六角螺栓37的螺纹部分紧固到板30C的螺孔369。这使得四块板30A到30D以框型固定，从而成为滑动器3。通过组合以这种方式制造的框形滑动器3以及长方体形状的滑动轴2，制造能够防止滑动轴2绕着滑动器3的轴中心z旋转的气体滑动装置I。
[0057]此外，根据这样的滑动器3，一旦压缩气体从耦接到仅一块板30A的供气开口 357的泵的供气管提供，压缩气体通住在四块板30A到30D的多孔层32A到32D的背侧上的整个气体供给路径33A到33D，并经由四块板30A到30D的多孔层32A到32D中的细孔从整个空气静力支承表面3IA到3ID喷出。
[0058]此处，由于供气槽331、333、335以沿着滑动轴2的要被支撑目标表面21的边缘的模式在多孔层32A到32D的背侧上设置，滑动器3的空气静力支承表面31A到31D以及插入到滑动器3的滑动轴2的要被支撑目标表面21之间的间隙中的压力在供气槽331、333、335上方的区域(即滑动轴2的要被支撑目标表面21的外周区域中)中变得高于不具有供气槽331、333、335的区域。因此，如图6(A)所示，滑动轴2的要被支撑目标表面21的两端部(滑动轴2的水平宽度和竖直宽度的两端部)通过足够的浮力在xy平面中得到支撑。因此，能够防止滑动轴2绕着轴中心摆动，即使负载变化(例如冲击)施加到滑动轴2也是如此。此外，如图6(B)所示，由于滑动轴2的整个外周上的带状区域60、61在滑动轴2的轴中心的两个位置上受到足够的浮力，滑动轴2的刚性力矩得以增加。因此，可以防止滑动轴2的直线稳定性下降。此外，由于压缩气体从整个空气静力支承表面31A到31D喷出，滑动轴2的要被支撑的目标表面21和滑动器3的空气静力支承表面31A到31D之间的间隙中的压力分布与仅在滑动轴的引导表面的中央区域中提供气垫的传统引导装置相比，更为均匀。因此，滑动轴2的浮动稳定性增强。因此，根据本实施例的气体滑动装置I可以实现具有更高精度线性引导的滑动轴2。
[0059]此外，由于四块板30A到30D的多孔层32A到32D的背部上的供气槽331、333、335通过组装四块板30A到30D借助通风槽332、334、336相互连接，因此仅在一块板30A中提供用于供给压缩气体的一个供气开口 357就足够了。因此，由于不需要排布来自泵的多个供气管，供气管以及其他部件的干扰及类似情况基本不会发生，这有利于组装期间的调整。
[0060]应注意到，尽管滑动器3是固定的并且滑动轴2沿着滑动器3的轴中心z引导的情况已在本实施例中说明，但滑动轴2可以在纵向z上固定以引导滑动器3。在此情况下，可以实现滑动器3的高精度线性引导。
[0061]此外，尽管被用作如半导体安装装置的高精度定位装置的z轴线可移动机构的气体滑动装置I已经作为示例进行说明，但根据本实施例的气体滑动装置I的应用并不限于此。比如，也可以将其用作其他需要高精度线性引导的装置的移动机构，例如检测装置的工作台移动机构等。
[0062]此外，尽管在本实施例中供气槽331形成两块板30B、30D的背部金属34的多孔层形成表面343的外周区域中，但通到供气槽331或者通风槽332的供气槽可以基于滑动器3的尺寸而进一步形成在供气槽331所围绕的中心区域中。相同情况也应用于其他两块板30A、30C。
[0063]此外，尽管与供气槽331交叉的通风槽332和在背部金属34两侧上的侧表面341中的开口形成在本实施例中的两块板30B和30D的背部金属34的多孔层形成表面343上，与供气槽331交叉的通孔可以从每一背部金属34的一个侧表面341向着另一侧表面341形成，从而取状这些通风槽332。穿过这些通孔的开口的具有适当长度的槽可以形成在板30B、30D的两侧表面341上，这样无论有没有发生失准，这些通孔都连接到下述另两块板30A、30C的通风槽端部3341、3361上。可替换地，在z方向上与通风槽端部3341、3346交叉的具有适当长度的槽可以形成在另两块板30A、30D的板附接区域354、364中。
[0064]此外，尽管在本实施例中，使用了四个侧表面21为要被支撑的目标表面的长方柱形滑动轴2，但是滑动轴2可以具有多边形的柱状形状，其横截面为多边形而非方形。在此情况下，围绕滑动轴2的滑动器3的形状为对应于滑动轴2横截面形状的框形。
[0065]此外，尽管滑动轴2的每一侧表面21为要被支撑的目标表面，且绕滑动轴2的轴中心Z围绕着滑动轴2的呈框形的滑动器3的内壁表面31A到31D在本实施例中都是空气静力支承表面，与此相反，滑动轴2的每个侧表面21可以是空气静力支承表面，并且滑动器3的四个内壁表面31A到31D可以是要被支撑的目标表面。更加具体地说，与上述滑动器3相类似，在滑动轴2的每个侧表面21上，形成以沿着相对的要支撑的目标表面31A到31D的边缘的图案设置的供气槽、以及将相邻侧表面21的供气槽连接起来的通风槽，且多孔层可以堆叠在它们上面。由此，因为滑动器3的每一要被支撑的目标表面31A到31D的外周区域由足够的浮力支撑，且滑动器3绕着轴中心的摆动得以防止，同时滑动轴2抵抗力矩的刚性增加，因此可以实现与上述情况相似的滑动器3的高精度线性引导。应注意到，在此情况下，滑动轴2可以通过组装多个采用与上述滑动器3所采用的板30A到30D的结构相同结构的板而形成，使得多孔层面对着外侧。
[0066]在上述情况下，多孔层32A到32D可由任意材料形成，比如多孔金属、陶瓷，只要该材料具有透气性即可。比如，当多孔层32A到32D为多孔金属烧结层，可以使用OILES公司的 0ILES#2000 作为板 30A 到 30D。
[0067]工业实用性
[0068]当需要更高精度线性引导时，本发明被广泛应用于直接浮动装置。
[0069]附图标记
[0070]1:气体滑动装置，2:滑动轴，3:滑动器，21:滑动轴的要被支撑的目标表面(侧表面，外周)，22:滑动轴的端表面，24:抽吸路径，25:螺孔，30A到30D:板，31A到31D:多孔层的空气静力支承表面(多孔层表面，滑动器内壁表面)，32A到32D:多孔层，33A到33D:供气路径，34到36:背部金属，37:六角螺栓，331、333、335:供气槽，332、334、336:通风槽，341:背部金属的侧表面,342:螺栓插入孔,343、353、363:背部金属的一个表面(多孔层形成表面)，351、361:背部金属的多孔形成层的两边缘，354、364:板附接区域，355、365:凹部,356:背部金属的另一表面，357:供气开口，359:螺栓，369:螺孔，3341、3361:通风槽端部
【权利要求】
1.一种直接浮动装置，包括: 柱状滑动轴，其包括沿着轴中心方向的多个侧表面；和 滑动器，其包括绕滑动轴的轴中心围绕滑动轴的内壁表面，且每一内壁表面面对着滑动轴的一个侧表面，滑动器相对于滑动轴沿着轴中心的方向移动； 在滑动轴的侧表面和滑动器的内壁表面中的相对表面中，任意一个表面包括在不接触另一表面的情况下支撑作为要被支撑的目标表面的另一表面的空气静力支承表面； 在滑动轴和滑动器中，具有空气静力支承表面的一部分包括: 基体部件，其具有槽形成表面，每个槽形成表面面向对应的要被支撑的目标表面，并且在每个槽形成表面上以沿着空气静力支承表面的边缘的图案形成供气槽，要从空气静力支承表面喷向每个要被支撑的目标表面的压缩气体被提供给供气槽，以及多孔层，堆叠在基体部件的槽形成表面上，并形成空气静力支承表面。
2.根据权利要求1所述的直接浮动装置，其中， 滑动器包括多块板，每块板具有基体部件以及多孔层，并且组装所述多块板使得多孔层朝向滑动轴的要被支撑的目标表面； 通风路径进一步形成在每块板的基体部件上，通风路径与形成在基体部件上的供气槽交叉并连接到与该板相邻的另一板的基体部件的通风路径， 连接到形成在基体部件中的供气槽的供气开口形成在与多块板中的一块板的基体部件的槽形成表面相对的相对表面上。
3.根据权利要求1或2所述的直接浮动部件，其中，多孔层为陶瓷或者多孔金属烧结层。
【文档编号】F16C32/06GK104204570SQ201380013111
【公开日】2014年12月10日 申请日期:2013年2月21日 优先权日:2012年3月6日
【发明者】上田智士 申请人:奥依列斯工业株式会社
【专利摘要】根据直接浮动装置的一个实施例的气体滑动装置(1)具有矩形的滑动轴(2)，以及框架形状的滑动器(3)，滑动器具有平面形状、并面对着要被支撑的目标(21)的空气静力支承表面(31A-31D)。在形成空气静力支承表面(31A-31D)的多孔层(32A-32D)的背侧，滑动器(3)具有供气通道(33A-33D)，包括以沿着滑动轴(2)要被支撑的表面(21)的边缘的图案设置的供气槽。由此可以获得实现更高精度的线性引导的直接浮动装置。
【专利说明】直接浮动装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种直接浮动装置(direct levitat1n device),在没有接触的情况下，该装置相对于滑动轴使滑动器沿着轴中心方向运动，同时利用空气静力支承(aerostatic bearing)使滑动器从滑动轴浮起,更特别地，本发明涉及一种能够获得更高精度的线性引导的供气通道结构。
【背景技术】
[0002]作为沿着矩形滑动轴(固定主体)的轴中心方向的方向引导绕着该滑动轴外周表面设置的滑动器(可移动主体)的气体滑动装置(直接浮动装置)，专利文献I中所描述的用于在真空室中传输半导体等的引导装置是已知的。
[0003]该引导装置包括:长方体形状的滑动轴，其在外周上具有四个平面形状的引导表面；以及管形滑动器，该管形滑动器具有运动表面，每一表面面对着内周中的滑动轴的对应引导表面。
[0004]沿着滑动轴轴中心方向(滑动器移动方向)的气垫设置在滑动轴四个引导表面的每一个上，且到达所有气垫的公共压缩气体供给流动路径被设置在滑动轴内侧。此外，在滑动轴的四个引导表面中每一个上，收集供给的压缩气体的环形收集槽绕着对应的气垫形成，以及到达收集槽的排出路径被设置在滑动轴内侧。
[0005]在这种结构中，一旦压缩气体提供到滑动轴供给流动路径，压缩空气在相同的压力下从滑动轴的四个引导表面的气垫喷出，从而在滑动轴的外周表面(四个引导表面)以及滑动器的内周表面(四个运动表面)之间形成气层，从而使得滑动器可以在滑动器相对于滑动轴浮起的状态下沿着滑动轴的轴中心方向移动。此外，由于从滑动轴的每个引导表面上的气垫喷出的压缩气体被绕着对应气垫的收集槽收集，压缩气体通过滑动轴中的排出路径排出到真空腔的外侧，而不会在滑动轴的引导表面和滑动器的运动表面之间泄漏。
[0006]引用列表
[0007]专利文献
[0008]专利文献1:日本专利申请特开N0.2011-247405。
【发明内容】
[0009]技术问题
[0010]在专利文献I中所述的引导装置滑动轴其引导表面中，仅靠近中央区域设置气垫，所述中央区域包括在专利文献I所描述的引导装置的滑动轴的引导表面中沿着滑动轴的轴中心方向的中心线，但所述气垫不靠近滑动轴宽度方向的侧部设置。因此，压缩气体不可能在宽度方向上送到滑动轴引导表面以及滑动器运动表面两者侧部的附近。因此，可以认为在滑动轴宽度方向上，滑动轴引导表面和滑动器运动表面之间间隙中的压力从设置气垫的中央区域向着滑动轴运动表面的两侧减少。在产生这样的压力梯度时，例如，如果负载变化(如冲击)施加到滑动轴或者滑动器，滑动器和滑动轴可能绕着滑动轴的轴中心相对地摆动。
[0011]此外，在专利文献I中所述的引导装置中，在结构中，压缩气体不可能沿轴中心方向送到滑动轴引导表面以及滑动器运动表面两者的端部附近。因此，当弯曲载荷施加到滑动轴时，滑动轴可能弯曲且滑动器的直线稳定性降低。
[0012]本发明根据上述情况而做出，且本发明的目的在于提供能够实现更高精度线性引导的直接浮动装置。
[0013]问题的解决方案
[0014]为了解决上述问题，根据本发明的气体滑动装置包括:
[0015]柱形滑动轴，其具有沿着轴中心方向的多个侧表面；及
[0016]滑动器，其包括绕着滑动轴的轴中心围绕滑动轴的内壁表面，且每一个内壁表面面对着滑动轴的一个侧表面，滑动器沿着轴中心方向相对于滑动轴移动，
[0017]在滑动轴的侧表面以及滑动器的内壁表面的相对表面中，任意一个表面都包括空气静力支承表面，其在不接触的情况下，支撑其他作为要被支撑的目标表面的表面，及
[0018]在滑动轴和滑动器中，具有空气静力支承表面的一部分具有:
[0019]基座部件，其具有槽形成表面，每一个槽形成表面面向对应的要被支撑的目标表面,且在每一个槽形成表面上供气槽以沿着空气静力支承表面边缘的方式形成,从空气静力支承表面向着要被支撑的每一目标表面喷出的压缩气体供给到供气槽；以及
[0020]多孔层，堆叠在基座部件的槽形成表面上并形成空气静力支承表面。
[0021]本发明的有益效果
[0022]根据本发明，足够的浮力作用在矩形滑动轴的每一侧表面或者面对着滑动轴的每一侧表面的滑动器内壁的外周区域上，这样能够防止滑动器或者滑动轴绕着其轴中心摆动，以及增加滑动轴对抗力矩的刚度。结果，能够实现更高精度的线性引导。
【专利附图】
【附图说明】
[0023][图1]图1㈧为根据本发明一个实施方式的气体滑动装置I的外部视图，图1(B)为图UA)中所示的气体滑动装置I的A-A截面图。
[0024][图2]图2(A)为滑动器3的外部视图，图2 (B)为图2 (A)所示滑动器3的B-B截面图。
[0025][图3]图3(A)和3 (B)为在滑动器3中设置为相互面对的两块板30B和30D的前视图和底视图，图3 (C)和⑶为图3 (A)中所示板30B和30D的C-C截面图以及D-D截面图。
[0026][图4]图4(A)和4 (B)为在滑动器3中设置为相互面对的另两块板30A和30C中的一块板30A的前视图和后视图，图4(C) ,4(D)和4(E)为图4(A)中所示的板30A的E-E、F-F及G-G截面图。
[0027][图5]图5㈧为在滑动器3中设置为相互面对的其他两块板30A和30C中的另一块板30C的前视图，图5⑶、5 (C)和5 (D)为图5 (A)所示的板30A的H_H、1-1及G-G截面图。
[0028][图6]图6为解释施加到滑动轴2的浮力的视图。
【具体实施方式】
[0029]下面将参照【专利附图】
【附图说明】本发明的一个实施方式。
[0030]首先，对根据该实施例的气体滑动装置I的结构进行说明。此处，滑动轴2通过固定滑动器3在其纵向方向上得到线性引导的结构将通过示例进行描述，在示例中气体滑动装置I被用作需要高精度定位的例如半导体安装装置的高精度定位装置的Z轴可移动机构。
[0031]图1 (A)为根据该实施例的气体滑动装置的外部视图，而图1⑶为这个气体滑动装置I的A-A截面图。此外，图2(A)为形成这个气体滑动装置I的滑动器3其外部视图，而图2(B)为这个滑动器3的B-B截面图。为了进行解释，在正交坐标系中，滑动轴2的纵向被定义为z,而滑动轴2的水平宽度和竖直宽度方向被定义为图1(A)中的X和y,其他附图将利用该坐标系进行充分说明。
[0032]如图所示，根据该实施例的气体滑动装置I包括:固定到高精度定位装置等的z轴上的滑动器3，以及滑动轴2，其外周21在不接触的情况下由滑动器3支撑，并沿着滑动器3的轴中心z (即z方向)引导。
[0033]滑动轴2具有长方体的形状，其具有对应于所需移动距离的长度，且沿着滑动器3的轴中心z的四个侧表面21 (其中两个表面未示出)形成了要通过滑动器3的非接触支撑来引导的表面21 (此后称之为要被支撑的目标表面21)。此外，根据高精度定位装置的应用，在滑动轴2的一端表面22上，比如，用来固定用于吸住工件的吸附夹头的保持件的螺孔25以及使得来自减少吸附夹头中压力的真空泵的抽吸管通过的吸附路径24的开口也在该端表面上形成。
[0034]同时，滑动器3具有框架形状，其具有平的内壁表面31A到31D，每一内壁表面都面对着滑动轴2相应的要被支撑的目标表面21，内壁表面31A到31D绕着滑动轴2的轴中心z围绕滑动轴2，且每一内壁表面31A到31D形成了平面形状的空气静力支承表面31A到31D，它们以跨气体层的预定距离d面对着滑动轴2的相应的要被支撑的目标表面21。该滑动器3通过结合以下的两对板30A到30D (总共四块板)而形成，这四块板包括具有透气性的多孔层32A到32D和位于多孔层32A到32D的背侧的供气路径33A到33D，从而使得每一对板的多孔层(32A和32C，以及32B和32D)相互面对，且继而利用多个六角螺栓37固定板。
[0035]在两对板30A到30D中，两块板30B、30D形成具有相似结构的一对，并被设置为以对应于滑动轴2的水平宽度尺寸的距离而相互面对。图3(A)和3(B)为设置为相互面对的两块板30B、30D的前视图和底视图，而图3(C)和3(D)为图3(A)中所示板30B、30D的C-C截面图以及D-D截面图。
[0036]如所示，板30B、30D每一个都具有方形的背部金属(基体部件)34以及叠置在背部金属34的整个表面(多孔层形成表面)343上的多孔层32B、32D。
[0037]在背部金属34中，多个螺栓插入孔342形成为穿过面对着设置为相互面对的其他两块板30A、30C的两个侧表面341。六角螺栓37通过后面介绍的板30A的螺孔359插入这些螺栓插入孔342中。
[0038]此外，位于多孔层32B、32D背部的供气路径33B、33D形成在背部金属34的多孔层形成表面343上。这些供气路径33B、33D每一个都具有关于背部金属轮廓的对称线(z方向对称线Ol以及y方向对称线02)的对称图案，每一个都包括了穿过背部金属34的多孔层形成表面343的四个角部区域3431的供气槽331以及与这个供气槽331连接并在y方向在两侧的侧表面341上开孔的通风槽332。在本实施例中，供气槽331沿着背部金属34的多孔层形成表面343的外边缘于外周区域3433中形成(从背部金属34的边缘开始的预定宽度的带状区域)，外周区域3433围绕背部金属34的多孔层形成表面343的中央区域3432(即沿着滑动轴2的相对的要被支撑的目标表面21的边缘形成)，且通风槽332形成在背部金属轮廓的I方向对称线02上，跨越该供气槽331。
[0039]多孔层32B、32D层叠在背部金属34的整个多孔层形成表面343上，这样压缩气体流动路径形成在多孔层32B、32D的背部，每个压缩气体流动路径由一侧表面341上的通风槽332的开口、通过沿着背部金属34的多孔层形成表面343的外边缘的供气槽331、到达另一侧表面341上的通风槽332的开口。此外，多孔层32B、32D的表面31B、31D形成了空气静力支承表面31B、31D，这些支承表面31B、31D喷出通过这些流动路径所提供的压缩气体。
[0040]在两对板30A到30D中，形成另一对的两块板30A、30C设置为以对应于滑动轴2的垂直宽度尺寸的距离相互面对，从而使得一对板30B、30D从其侧表面341被两块板30A、30C夹住。
[0041]图4(A)和4(B)为设置为相互面对的另两块板30A、30C中板30A的前视图和后视图，而图4(C)、4 0>)和4(E)为图4(A)所示板30A的E-E、F-F以及G-G截面图。
[0042]如所示，另两块板30A和30C中的板30A包括背部金属(基体部件)35 (比如形成为方形的钢板)以及多孔层32A，所述多孔层堆叠在背部金属35的一个表面353 (多孔层形成表面)上。
[0043]凹部355形成在背部金属35的多孔层形成表面353上，留出带状区域(板附接区域)354，其宽度对应于沿z方向自两侧边缘351起的板30B、30D的厚度。多孔层32A设置在凹部355中，而设置为相互面对的一对板30B、30D的侧面341设置于在该凹部355的两侧上的板附接区域354上。
[0044]设置在多孔层32A的背部的供气路径33A形成在该凹部355的底部表面上。该供气路径33A相对于背部金属轮廓的对称线(z方向对称线03以及X方向对称线04)具有对称图案，并包括穿过凹部355的底部表面3554的四个角部区域3551的供气槽333以及连接到这个供气槽333且在X方向上通到板附接区域354内部的通风槽334。在本实施例中，供气槽333沿着凹部355的底部表面轮廓形成在外周区域3553 (距离凹部355的底部表面3554的轮廓预定宽度的带状区域)中，外周区域3553围绕凹部355的底部表面3554的中心区域3552 (即沿着滑动轴2的相对的要被支撑的目标表面21的边缘而形成)，而通风槽334形成在背部金属轮廓的X方向对称线04上，跨越供气槽333。
[0045]此外，通过通风槽334通向供气槽333的供气开口 357形成在背部金属35的另一个表面356上。
[0046]多孔层32A堆叠在多孔层形成表面353 —侧的背部金属35的凹部355上，使得压缩气体流动路径形成在该多孔表面32A的背侧，所述压缩气体流动路径从位于背部金属35的另一个表面356的中部中的供气开口 357，经由沿着背部金属35的凹部355的底部表面轮廓的供气槽333，通向板附接区域354中的通风槽端部3341。此外，多孔层32A的表面31A形成了喷出经由该流动路径所供应的压缩空气的空气静力支承表面31A。
[0047]此外，在背部金属35的另一表面356上，螺孔359形成在与板附接区域354中的板30B、30D的侧表面341的螺栓插入孔342对应的位置。
[0048]图5 (A)为相互面对设置的其他板30A、30C中的其他板30C的前视图，而图5⑶、5 (C)和5 (D)为图5 (A)中所示板30C的H_H、1-1以及J-J截面图。
[0049]如所示，其他两块板30A、30C中的其他板30C具有背部金属(基体部件)36 (比如方形钢板)以及堆叠在背部金属36的一表面(多孔层形成表面)363上的多孔层32C。
[0050]背部金属36的多孔层形成表面363具有与板30A的多孔层形成表面相似的表面形状。更特别地，多孔层32C设置在凹部365上，凹部365在背部金属36的多孔层形成表面363上形成，留下了带状区域364(板附接区域)，带状区域364的宽度对应于沿z方向板30B、30D从两个侧边缘361起的厚度，位于多孔层32C的背部上的供气通道33C形成在该凹部365的底部表面上。该供气路径33C关于背部金属轮廓的对称线(z方向对称线05以及X方向对称线06)具有对称图案，并包括穿过凹部365的底部表面的四个角部区域的供气槽335，以及连接到该供气槽335并到达板附接区域364内部的通风槽336。在本实施例中，供气槽335沿着背部金属36的多孔层形成表面363的凹部365的底部表面轮廓形成在外周区域3653中(从凹部365的底部表面3655的轮廓起，具有预定宽度的带状区域)，外周区域3653围绕该凹部365的底部表面3655的中心区域3652(即沿着滑动轴2的相对的要被支撑的目标表面21的边缘而形成)，且通风槽336形成在背部金属轮廓的X方向对称线06上，跨越供气槽335。
[0051]多孔层32C堆叠在多孔层形成表面363侧的背部金属36的凹部365上,从而使得从板附接区域364的通风槽端部3361沿着背部金属36的凹部365的底部表面轮廓通往供气槽336的压缩气体流动路径形成在该多孔层32C的背部上。此外，多孔层32C的表面31C形成了喷出通过该流动路径所供给的压缩气体的空气静力支承表面31C。
[0052]仍然进一步地，在背部金属36的板附接区域364中，多个螺孔369形成在与位于板附接区域364中的板30B和30D的其他侧表面341的螺纹插入孔342对应的位置。
[0053]滑动器3通过如下组装这样的四块板30A到30D而形成。
[0054]两块板30B和30D在多孔层32B和32D相互面对的状态下，在板30C的两侧上一个靠一个地设置在板附接区域364上。在这点上，通过对齐板30B、30D的其他侧表面341的螺栓插入孔342与板30C的板附接区域364的螺孔369，板30B和30D的其他表面341中的通风槽332的开口与板30C的板附接区域364的通风槽端部3361连接。
[0055]此外，板30A设置在两块板30B、30D的侧表面341上，使得板30A的板附接区域354与两块板30B、30D的其他侧表面接触。在这点上，通过使板30A的两侧上的板附接区域354的螺孔359与板30B、30D的侧表面341的螺栓插入孔342相对准，板30B、30D的侧表面341中的通风槽332的开口与板30D的板附接区域354的通风槽端部3341连接。
[0056]因此，四块板30A到30D的供气路径33A到33D相互连接，如图1⑷中虚线所示。在这种状态下，六角螺栓37从板30A的螺孔359插入到板30B、30D的螺栓插入孔342，以将这些六角螺栓37的螺纹部分紧固到板30C的螺孔369。这使得四块板30A到30D以框型固定，从而成为滑动器3。通过组合以这种方式制造的框形滑动器3以及长方体形状的滑动轴2，制造能够防止滑动轴2绕着滑动器3的轴中心z旋转的气体滑动装置I。
[0057]此外，根据这样的滑动器3，一旦压缩气体从耦接到仅一块板30A的供气开口 357的泵的供气管提供，压缩气体通住在四块板30A到30D的多孔层32A到32D的背侧上的整个气体供给路径33A到33D，并经由四块板30A到30D的多孔层32A到32D中的细孔从整个空气静力支承表面3IA到3ID喷出。
[0058]此处，由于供气槽331、333、335以沿着滑动轴2的要被支撑目标表面21的边缘的模式在多孔层32A到32D的背侧上设置，滑动器3的空气静力支承表面31A到31D以及插入到滑动器3的滑动轴2的要被支撑目标表面21之间的间隙中的压力在供气槽331、333、335上方的区域(即滑动轴2的要被支撑目标表面21的外周区域中)中变得高于不具有供气槽331、333、335的区域。因此，如图6(A)所示，滑动轴2的要被支撑目标表面21的两端部(滑动轴2的水平宽度和竖直宽度的两端部)通过足够的浮力在xy平面中得到支撑。因此，能够防止滑动轴2绕着轴中心摆动，即使负载变化(例如冲击)施加到滑动轴2也是如此。此外，如图6(B)所示，由于滑动轴2的整个外周上的带状区域60、61在滑动轴2的轴中心的两个位置上受到足够的浮力，滑动轴2的刚性力矩得以增加。因此，可以防止滑动轴2的直线稳定性下降。此外，由于压缩气体从整个空气静力支承表面31A到31D喷出，滑动轴2的要被支撑的目标表面21和滑动器3的空气静力支承表面31A到31D之间的间隙中的压力分布与仅在滑动轴的引导表面的中央区域中提供气垫的传统引导装置相比，更为均匀。因此，滑动轴2的浮动稳定性增强。因此，根据本实施例的气体滑动装置I可以实现具有更高精度线性引导的滑动轴2。
[0059]此外，由于四块板30A到30D的多孔层32A到32D的背部上的供气槽331、333、335通过组装四块板30A到30D借助通风槽332、334、336相互连接，因此仅在一块板30A中提供用于供给压缩气体的一个供气开口 357就足够了。因此，由于不需要排布来自泵的多个供气管，供气管以及其他部件的干扰及类似情况基本不会发生，这有利于组装期间的调整。
[0060]应注意到，尽管滑动器3是固定的并且滑动轴2沿着滑动器3的轴中心z引导的情况已在本实施例中说明，但滑动轴2可以在纵向z上固定以引导滑动器3。在此情况下，可以实现滑动器3的高精度线性引导。
[0061]此外，尽管被用作如半导体安装装置的高精度定位装置的z轴线可移动机构的气体滑动装置I已经作为示例进行说明，但根据本实施例的气体滑动装置I的应用并不限于此。比如，也可以将其用作其他需要高精度线性引导的装置的移动机构，例如检测装置的工作台移动机构等。
[0062]此外，尽管在本实施例中供气槽331形成两块板30B、30D的背部金属34的多孔层形成表面343的外周区域中，但通到供气槽331或者通风槽332的供气槽可以基于滑动器3的尺寸而进一步形成在供气槽331所围绕的中心区域中。相同情况也应用于其他两块板30A、30C。
[0063]此外，尽管与供气槽331交叉的通风槽332和在背部金属34两侧上的侧表面341中的开口形成在本实施例中的两块板30B和30D的背部金属34的多孔层形成表面343上，与供气槽331交叉的通孔可以从每一背部金属34的一个侧表面341向着另一侧表面341形成，从而取状这些通风槽332。穿过这些通孔的开口的具有适当长度的槽可以形成在板30B、30D的两侧表面341上，这样无论有没有发生失准，这些通孔都连接到下述另两块板30A、30C的通风槽端部3341、3361上。可替换地，在z方向上与通风槽端部3341、3346交叉的具有适当长度的槽可以形成在另两块板30A、30D的板附接区域354、364中。
[0064]此外，尽管在本实施例中，使用了四个侧表面21为要被支撑的目标表面的长方柱形滑动轴2，但是滑动轴2可以具有多边形的柱状形状，其横截面为多边形而非方形。在此情况下，围绕滑动轴2的滑动器3的形状为对应于滑动轴2横截面形状的框形。
[0065]此外，尽管滑动轴2的每一侧表面21为要被支撑的目标表面，且绕滑动轴2的轴中心Z围绕着滑动轴2的呈框形的滑动器3的内壁表面31A到31D在本实施例中都是空气静力支承表面，与此相反，滑动轴2的每个侧表面21可以是空气静力支承表面，并且滑动器3的四个内壁表面31A到31D可以是要被支撑的目标表面。更加具体地说，与上述滑动器3相类似，在滑动轴2的每个侧表面21上，形成以沿着相对的要支撑的目标表面31A到31D的边缘的图案设置的供气槽、以及将相邻侧表面21的供气槽连接起来的通风槽，且多孔层可以堆叠在它们上面。由此，因为滑动器3的每一要被支撑的目标表面31A到31D的外周区域由足够的浮力支撑，且滑动器3绕着轴中心的摆动得以防止，同时滑动轴2抵抗力矩的刚性增加，因此可以实现与上述情况相似的滑动器3的高精度线性引导。应注意到，在此情况下，滑动轴2可以通过组装多个采用与上述滑动器3所采用的板30A到30D的结构相同结构的板而形成，使得多孔层面对着外侧。
[0066]在上述情况下，多孔层32A到32D可由任意材料形成，比如多孔金属、陶瓷，只要该材料具有透气性即可。比如，当多孔层32A到32D为多孔金属烧结层，可以使用OILES公司的 0ILES#2000 作为板 30A 到 30D。
[0067]工业实用性
[0068]当需要更高精度线性引导时，本发明被广泛应用于直接浮动装置。
[0069]附图标记
[0070]1:气体滑动装置，2:滑动轴，3:滑动器，21:滑动轴的要被支撑的目标表面(侧表面，外周)，22:滑动轴的端表面，24:抽吸路径，25:螺孔，30A到30D:板，31A到31D:多孔层的空气静力支承表面(多孔层表面，滑动器内壁表面)，32A到32D:多孔层，33A到33D:供气路径，34到36:背部金属，37:六角螺栓，331、333、335:供气槽，332、334、336:通风槽，341:背部金属的侧表面,342:螺栓插入孔,343、353、363:背部金属的一个表面(多孔层形成表面)，351、361:背部金属的多孔形成层的两边缘，354、364:板附接区域，355、365:凹部,356:背部金属的另一表面，357:供气开口，359:螺栓，369:螺孔，3341、3361:通风槽端部
【权利要求】
1.一种直接浮动装置，包括: 柱状滑动轴，其包括沿着轴中心方向的多个侧表面；和 滑动器，其包括绕滑动轴的轴中心围绕滑动轴的内壁表面，且每一内壁表面面对着滑动轴的一个侧表面，滑动器相对于滑动轴沿着轴中心的方向移动； 在滑动轴的侧表面和滑动器的内壁表面中的相对表面中，任意一个表面包括在不接触另一表面的情况下支撑作为要被支撑的目标表面的另一表面的空气静力支承表面； 在滑动轴和滑动器中，具有空气静力支承表面的一部分包括: 基体部件，其具有槽形成表面，每个槽形成表面面向对应的要被支撑的目标表面，并且在每个槽形成表面上以沿着空气静力支承表面的边缘的图案形成供气槽，要从空气静力支承表面喷向每个要被支撑的目标表面的压缩气体被提供给供气槽，以及多孔层，堆叠在基体部件的槽形成表面上，并形成空气静力支承表面。
2.根据权利要求1所述的直接浮动装置，其中， 滑动器包括多块板，每块板具有基体部件以及多孔层，并且组装所述多块板使得多孔层朝向滑动轴的要被支撑的目标表面； 通风路径进一步形成在每块板的基体部件上，通风路径与形成在基体部件上的供气槽交叉并连接到与该板相邻的另一板的基体部件的通风路径， 连接到形成在基体部件中的供气槽的供气开口形成在与多块板中的一块板的基体部件的槽形成表面相对的相对表面上。
3.根据权利要求1或2所述的直接浮动部件，其中，多孔层为陶瓷或者多孔金属烧结层。
【文档编号】F16C32/06GK104204570SQ201380013111
【公开日】2014年12月10日 申请日期:2013年2月21日 优先权日:2012年3月6日
【发明者】上田智士 申请人:奥依列斯工业株式会社
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