带有上锁机构的活门和集成阀的制作方法

本发明涉及带有上锁机构的活门和集成阀，例如涉及在半导体制造装置的集成化气体供给系统中使用的带有上锁机构的手动阀和具有它的集成阀。

背景技术：

在半导体制造装置的气体供给系统中，使用在气体棒等具有流路的集成阀单元上以串联状连接着手动阀、自动阀、放气阀等各种阀、或过滤器、调节器、压力传感器、质量流量控制器等的集成阀。这样的集成阀相互以并列状铺设，实现了尽可能的气体供给系统的紧凑化。

连接在这种集成阀上的手动阀设在集成阀的流路的入口或出口处，通常是通过作业者转动手柄来将供给气体的流路整体开闭的结构，需要可靠地上锁以免在手柄全闭状态下手柄意外向开方向转动的功能。作为这样的上锁机构，有具有上锁孔的结构，作为带有上锁孔的上锁机构，通常是在手柄全闭状态下将荷包锁等上锁部件装接到上锁机构的上锁孔中来将手柄的转动固定来维持全闭状态的。

此外，在带有上锁孔的上锁机构中，还要求有能够防止作业者误在手柄全闭（或全开）位置以外的位置将手柄上锁那样的误操作的功能。更一般地，在手动的开闭操作机构中，如果具备上述那样的上锁机构则是更优选的。

作为具备上述那样的误操作防止功能的具有上锁孔的带有上锁机构的活门，提出了专利文献1～3。专利文献1表示了在阀体借助螺纹机构相对于阀座移动的手动阀中、由在外周形成有缺口槽的手柄、形成在阀主体上的固定槽、能够沿着固定槽滑动且形成有锁止孔的板构成的锁止机构。在该锁止机构中，是在阀闭状态时板卡合到阀主体的固定槽和手柄的缺口槽中、在该卡合状态下在板上装接锁止部件来将阀闭状态锁止的结构。

在专利文献2的附图（图1～图3等）中，表示了安装在致动器上部、经由支点设在手柄内部的带有上锁孔的滑动部件。从该文献的附图中，表示了如果将突出到该滑动部件的手柄上侧的把持部在手柄全闭位置抬起、则滑动部件经由支点转动、支点相反侧卡止于设在致动器壳体上部的凹部中来将手柄锁止的锁止机构。

在专利文献3中，表示了在手动操作机构部中具备锁止机构的复合自动阀。该文献的手动操作机构部的锁止机构在操作手柄上形成锁止孔，使出入自如地设在活门主体上的锁止板的锁止卡合部（在操作手柄的闭位置）与该锁止孔重合，用荷包锁等锁止部件将操作手柄固接在活门主体上。此外，作为出入自如地设在活门主体上的锁止板，公开了用固定销旋转自如地轴装接在活门主体上使得在旋转时锁止孔侧从活门主体上表面区域突出的结构、在底面部上装接弹簧并借助该弹簧的反弹力上下运动的结构。

专利文献1：日本特开2005－291380号公报。

专利文献2：WO2014/062534。

专利文献3：日本特开2005－163949号公报。

另一方面，作为近来的趋势，例如对半导体制造装置的气体供给系统等要求进一步的小型化·集成化，具备上述那样的误操作防止功能的具有上锁孔的带有上锁机构的活门连接于小型化·集成化的集成阀的各种各样的装置密集的场所的情况也不少。

但是，专利文献1的锁止机构的构造由于板卡合在阀主体的固定槽和手柄的缺口槽中，所以是形成有锁止孔的板在相对于阀主体的侧面在垂直方向上竖立的状态下滑动的构造。因此，是没有避免设在板或保持该板的壳体上的框架从活门躯干部的上表面区域向水平方向突出的构造。

在想要将具有从活门躯干部的上表面区域向水平方向突出的锁止机构的活门装置连接于尽可能实现了小型化·集成化的集成阀的密集场所的情况下，从占有区域向水平方向突出的部分与相邻装置干涉，活门变得不能连接，或者连接的场所或方向等被限制。或者，即使没有在特定的装置的连接状态下偶尔干涉的情况，由于活门躯干部的上表面区域是作为与集成阀连接的各种活门装置的占有区域应分别确保的区域，所以作为与集成阀连接的活门装置，部件向相邻装置的占有区域突出也并不被优选。

对于这一点，在专利文献2的锁止机构的构造中，由于设置成，带有上锁孔的滑动部件向手柄的正上方方向滑动，滑动部件等不从活门主体的上表面区域向水平方向突出，所以不会与相邻装置干涉。但是，由于该滑动部件在非锁止时被收纳到手柄的内部，在锁止时能够将向手柄的上侧突出的滑动部件的把持部抬起来锁止，所以手柄的内部构造及滑动部件的构造过于复杂化。因此，该文献的锁止机构中，制造成本等的负担变得过大。此外，由于滑动部件的把持部总是从手柄突出，所以在作业者的手柄操作时，该突出的把持部与手指接触，操作感触较差，所以操作性受损。

在专利文献3的锁止机构中，由于在操作手柄上形成有锁止孔，所以操作性受损，并且不得不做成复杂的手柄形状。此外，在锁止板旋转自如地轴装接在活门主体上的情况下，在旋转时，锁止板从基座的上表面区域向水平方向突出，所以有可能如上述那样与相邻装置干涉。

技术实现要素：

因此，本发明是为了解决上述问题而开发的，其目的是提供一种带有上锁机构的活门和集成阀，前述带有上锁机构的活门和集成阀构造紧凑，即使将活门连接于集成阀等的装置的密集场所也不会向相邻装置干涉，是简单的构造，成本性良好并且不会损害手柄的形状及操作性，并且具备仅在阀闭时或阀开时的必要时能够进行手柄的上锁的误操作防止功能。

为了达到上述目的，有关技术方案1的发明，是一种带有上锁机构的活门，是在内置有用来将阀体开闭的阀轴的活门主体的上部转动操作自如地设有具有把持部的手柄主体的活门，其特征在于，在位于前述手柄主体的下方的前述活门主体的外周围的一部分上形成缺口台阶部面，在该缺口台阶部面内经由轴装接部转动自如地收纳具有上锁孔的上锁板材，并且设置成，当使该上锁板材转动到活门主体的全闭时或全开时的某个位置时，能够使上锁孔面向活门主体的上表面区域来上锁。

有关技术方案2的发明，是一种带有上锁机构的活门，在手柄主体的把持部的下部上设有在活门主体的上表面区域内旋转的旋转板，在该旋转板的一部分上形成缺口部，前述缺口部能够转动地设置上锁板材，在该缺口部以外的旋转板的外周下表面上设置卡止部，在上锁板材的全开时或全闭时的某个时使上锁板材卡止，使该卡止部不能转动。

有关技术方案3的发明，是一种带有上锁机构的活门，将活门主体的箱体形成为圆筒形状，将上锁板材的转动区域构成为位于圆筒形箱体的大致径向内，并且，将缺口台阶部面的阶差部作为上锁板材的全开时或全闭时的转动卡止面。

有关技术方案4的发明，是一种带有上锁机构的活门，在手柄主体的旋转板上开设开口窗，借助旋转板的旋转，能够分别视觉辨识设在活门主体的上表面上的全开、全闭的显示部。

有关技术方案5的发明，是一种集成阀，将带有上锁机构的活门集成到具有流路的基座体上来构成。

根据技术方案1所记载的发明，由于在活门主体的外周围的一部分上形成缺口台阶部面，将上锁板材收存在该缺口台阶部面内，所以上锁板材不会从活门主体向水平方向突出或向活门主体的内方侵入，能够得到尽量抑制了上锁板材的收存空间的浪费的紧凑的带有上锁机构的活门，并且手柄操作性也良好。此外，即使将该活门向集成阀的密集场所等连接，也不会与相邻装置干涉。并且，由于设置成能够使上锁孔面向活门主体的上表面区域来上锁，所以还能够避免上锁时的上锁部件与相邻装置等的干涉。

此外，由于上锁板材设在与手柄主体离开的活门主体的下方，所以大致完全没有由于设置上锁板材带来的向手柄主体的构造的影响，没有手柄主体的构造复杂化或手柄的操作性受损的情况。

进而，由于转动自如地轴装接的上锁板材被利用缺口台阶部面作为其滑动面引导转动，所以能够构成框架或弹簧等支承某个上锁板材的滑动的部件不需要的零件件数较少就足够的简单的构造的上锁机构。

根据技术方案2所记载的发明，由于在旋转板的一部分上形成能够转动地设置上锁板材的缺口部，将该缺口部以外的旋转板的外周下表面作为卡止部，所以能够以很简单的构造，构成在全开时或全闭时的某个时候使上锁板材卡止使其不能转动、防止作业者误在全开时或全闭时以外的时候上锁板材上锁的误操作的误操作防止机构。

根据技术方案3所记载的发明，将活门主体的箱体形成为圆筒形，构成为，使上锁板材的转动区域位于圆筒形箱体的大致径向内，所以上锁板材的转动区域整体不会从与圆筒形箱体的俯视时的圆形外接的正方形的区域突出而包含在其中，不仅不会与相邻装置干涉，还能够使活门很紧凑化，所以作为与集成阀连接的活门装置的上锁机构是很适当的。

此外，由于使缺口台阶部面的阶差部为上锁板材的全开时或全闭时的转动卡止面，所以能够使缺口台阶部面的形状最优化·最小化，使得适合于上锁板材的形状，并且阶差部在收存时抵接在上锁板材的侧面部上而成为止动件，上锁板材向缺口台阶部面内的收存变得可靠。

根据技术方案4所记载的发明，是在手柄主体的旋转板上开设开口窗的很简单的构造，能够设置特别适合作为集成阀的活门开闭显示的、朝向活门上表面侧的显示部。此外，由于开口窗设在手柄上，并且开闭显示与手柄操作连动，所以在手柄操作时容易被作业者辨识。

根据技术方案5所记载的发明，在具有流路的基座体上，具备使得仅在阀闭时或阀开时能够进行手柄的上锁的误操作防止机构，即使将活门连接到集成阀等的装置的密集场所也不会与相邻装置干涉，并且能够使用不会损害手柄的形状及操作性的带有上锁机构的活门构成在半导体制造装置的气体供给系统等中使用的集成阀。

附图说明

图1是表示本发明的带有上锁机构的活门的立体图。

图2是图1中的本发明的带有上锁机构的活门的主视图。

图3是手柄主体为闭位置、借助上锁板材上锁时的本发明的带有上锁机构的活门的主视图。

图4是图1、图2中的本发明的带有上锁机构的活门的放大俯视图。

图5是手柄主体为闭位置、借助上锁板材上锁前的本发明的带有上锁机构的活门的放大俯视图。

图6是图3中的本发明的带有上锁机构的活门的放大俯视图。

图7是图2中的A－A线剖视图。

图8是图3中的B－B线剖视图。

图9是图3中的C－C线剖视图。

图10是表示具有本发明的带有上锁机构的活门的集成阀的一例的外观图。

具体实施方式

以下，基于附图详细地说明本发明的带有上锁机构的活门和集成阀的实施方式的一例。本发明的带有上锁机构的活门特别适合于在半导体制造装置的气体供给系统中使用的开闭手动阀和具有它的集成阀。

图1是表示手柄为开位置（全开状态）的本发明的带有上锁机构的活门1的外观的立体图。在活门主体2的上部，转动操作自如地设有具有把持部4的手柄主体3。活门主体2如后述那样内置有用来将阀体（隔膜）26开闭的阀轴29。在位于手柄主体3的下方的活门主体2的外周围6的一部分上形成有缺口台阶部面7，在该缺口台阶部面7内，经由轴装接部10转动自如地收纳着具有上锁孔9的上锁板材8。

图2是表示从在图1中面向上锁板材8的前面方向观察的本发明的带有上锁机构的活门1的外观主视图。

如图1、图2所示，手柄主体3具有把持部4，把持部4的构造可以根据实施情况来适当选择，但在本实施方式中形成为上侧面11为纵长的圆角六边形状的六角柱状，设有表示流路的方向的方向显示部12。此外，在把持部4的纵长方向的侧面上形成有平面部13，该平面部13形成为，当使手柄主体3为闭位置时与缺口台阶部面7形成的平面为大致同一平面上。

在把持部4的下部，设有在活门主体2的上表面区域内旋转的旋转板14。如图示那样，本实施方式的旋转板14呈与活门主体2的上表面15为相同形状的圆形，在该旋转板14的一部分上，形成有缺口部16，前述缺口部16设置成上锁板材8能够转动。缺口部16的形状根据实施情况来适当选择，但在本实施方式中圆形的旋转板14的一部分被以直线状切掉，该缺口部16形成为与平面部13在大致同一平面上。此外，旋转板14的缺口部16以外的外周部的下表面侧为上锁板材8的卡止部17。进而，如图4～6等所示，在旋转板14上开设有开口窗18。

切断部43的平面部13被延长，形成为将把持部4的侧面部与旋转板14的上表面部相连的肋板状，切断部43的一面与平面部13相连而成为同一平面状。

如图1、图2所示，活门主体2具有上部箱体19和下部箱体20。另外，连接部件21是将后述的集成阀40的基座体39与活门主体2连接的部件。箱体的外形没有被特别限制，在本实施方式中上部箱体19、下部箱体20形成为圆筒形状，在上部箱体19的外周围6的一部分上形成有缺口台阶部面7，在该缺口台阶部面7内收纳着上锁板材8。

活门主体的上表面区域，是在将活门主体从上表面侧观察的俯视中的活门主体的占有平面区域中、比该占有平面区域在活门主体的垂直方向上靠上侧的空间区域。本实施方式的上表面区域是比圆筒形状的上部箱体19的呈俯视时的大致圆形的活门主体2的上表面15在垂直方向上靠上侧的空间区域。

上锁板材8只要具有上锁孔9，经由轴装接部10转动自如地收纳在缺口台阶部面7内即可，其结构没有被特别限制，缺口台阶部面7也只要形成为收纳上锁板材8即可，其结构没有被特别限制。

在本实施方式中，缺口台阶部面7与上部箱体19的外周围6经由阶差部70设置，该阶差部70的形状形成为适合于上锁板材8的形状。如图2所示，上锁板材8形成为将3处圆弧部A、B、C用3处直线状的侧面部a、b、c连接来封闭的形状，沿着缺口台阶部面7的方向转动自如地被轴装接部10固定。上锁部件使用例如荷包锁或既定粗细的钢丝条锁等。上锁孔9可以适当选择以便能够装接上锁部件，但在本实施方式中在圆弧部A部分处形成为适合于荷包锁的脚的形状的圆形。此外，轴装接部10设在圆弧部B部分处，例如如图9所示那样将销100压入来构成。

本实施方式的缺口台阶部面7与圆筒形状的上部箱体19的轴心方向大致并行，是使距外周围6的深度比上锁板材8的厚度大既定的程度、并且将上部箱体19的外周围的一部分切掉以使其向活门主体2的上表面15侧脱离（抜ける）来形成的。此外，经由阶差部70与外周围6相连，该阶差部70在图1、图2所示的收存时（上锁板材8的全开时）形成为与上述上锁板材8的形状的一部分大致相同形状。在收存时，上锁板材8的在图1、图2中为下侧的侧面部a、b及圆弧部C被阶差部70承接（抵接），并且上侧的侧面部c与旋转板14的下表面侧的卡止部17经由稍稍的间隙大致并行。

如上述那样，上锁板材8是为了从活门主体2的外周围6轴装接既定的厚度的上锁板材8所需要的最低限度的深度，被收存到外周围6的沿着大致径向的缺口台阶部面7中，所以相对于活门主体2，上锁板材8的收存空间的浪费被抑制，能够使活门1紧凑化。

接着，说明本发明的带有上锁机构的活门的上锁动作。本发明的上锁板材在转动到活门主体的全闭时或全开时的某个位置时，能够使上锁孔面向活门主体的上表面区域来上锁。在以下说明的本实施方式中，是当转动到活门主体2的全闭时的位置时使上锁孔9面向活门主体2的上表面区域来上锁的结构。

首先，图1、图2如上述说明那样表示上锁板材8的收存时（全开时），上锁板材8收存在缺口台阶部面7内。本发明的旋转板的卡止部在上锁板材的全开时或全闭时的某一个时使上锁板材卡止，变得不能转动，在本实施方式中，上锁板材8是在全开时被卡止的，由于凸边状的旋转板14的下表面侧的卡止部17伸出到向缺口台阶部面7的上表面15侧脱离的部分来覆盖，所以上侧的侧面部c被卡止部17遮挡向上方向的转动，变得不能转动。

此外，本发明的缺口台阶部面的阶差部为上锁板材的全开时的转动卡止面，在本实施方式的上锁板材8的全开时，阶差部70进行承接（抵接），使得与侧面部a、b及圆弧部C的形状适合，成为将上锁板材8的向开方向的转动卡止的转动卡止面。

接着，图3是表示在本实施方式中将处于图1、图2所示的开位置的手柄主体3转动90°来成为闭位置（全闭状态）、将上锁板材8以轴装接部10为支点转动到上锁方向的极限、使上锁孔9面向活门主体2的上表面区域来将手柄主体3上锁在闭位置的上锁时（上锁板材8的全闭时）从面向上锁板材8的前表面方向观察的主视外观图。

本发明的旋转板的缺口部设置成上锁板材能够转动，在该图所示的本实施方式的手柄主体3的闭位置，把持部4的平面部13、旋转板14的缺口部16和缺口台阶部面7相互在大致同一平面上，确保了转动引导区域，能够以轴装接部10为支点，使上锁板材8的上锁孔9侧向活门主体2的上方向滑动转动。

缺口部16由于在旋转板14的全闭时以外的位置上不与缺口台阶部面7平行，所以手柄主体3即使要在全闭时以外的位置将上锁板材8转动，也被卡止部17钩挂卡止。因此，防止手柄主体3在全闭时以外的位置上误将上锁板材8上锁的误操作。这样，在本实施方式的缺口部16中，在是只不过将旋转板14的一部分切掉形成为直线状的很简单的构造的同时，能够可靠地防止误操作。

在上锁板材8的全闭时，如图3所示，在活门主体2的侧视时，上锁孔9的全区域为旋转板14的上侧，面向活门主体2的上表面区域。进而，如后述的图7所示，在活门主体2的侧视时，以将上锁孔9的内侧所占的圆形状的区域与手柄主体3重复的区域切掉的方式，在把持部4上缺口形成有凹部22。本实施方式的凹部22切掉形成为截面半圆弧状，使得适合于截面圆形的上锁部件（荷包锁的脚）的形状。在形成这样的凹部22的情况下，能够将上锁板材8的尺寸形成得更小。

此外，本发明的缺口台阶部面的阶差部为上锁板材的全闭时的转动卡止面，在本实施方式的上锁板材8的全闭时，阶差部70为与侧面部c抵接来将上锁板材8向闭方向的转动卡止的转动卡止面。

这样，如果阶差部70的形状适合于既定形状的上锁板材8的转动区域占用的形状来形成，并且形成为承接转动的卡止面，则能够将形成在外周围6上的缺口台阶部面7的面积抑制为所需最小限度，使上锁板材8的收存空间最优化·最小化，并且上锁板材8向缺口台阶部面7内的收存变得稳定而可靠。

在本实施方式中，在从图1、图2所示的上锁板材8的全开位置向图3所示的全闭位置的转动的途中位置中，上锁板材8的上锁孔9也以面向活门主体2的上表面区域的方式取位，但在该途中位置，附设在把持部4上的切断部43与上锁孔9重合，所以上锁部件向上锁孔9的装接被切断。因此，能够防止上锁部件向上锁板材8的全闭位置以外的途中位置处的上锁孔9的误装接。

图4～图6是在本实施方式中将上锁板材8的前表面侧作为图面下侧而将活门主体2从上表面15侧观察的外观俯视图。图4表示图1、图2的俯视图，图5表示手柄主体3是闭位置的上锁板材8的全开时，图6表示图3的俯视图。另外，用单点划线表示的大致正方形的区域S是在它们的俯视图中与圆筒形上部箱体19的活门主体2的上表面15（或与其同形状的旋转板14）形成的大致圆形状的区域T大致外接的四边形状区域。

在图4中，手柄主体3是开位置，设在把持部4的上侧面11上的方向显示部12在附图的右方表示流路的流动方向。

在本发明的旋转板上开设有开口窗，在活门主体的上表面上，设置成能够通过旋转板的旋转分别视觉辨识全开、全闭的显示部。在本实施方式中，在旋转板14上开设有既定形状的开口窗18，经由该开口窗18，能够视觉辨识设在活门主体2的上表面15上的全开的显示部5。因此，显示部5设在使手柄主体3为开位置时开口窗18面向的位置处。在该图中，作为显示的一例而以既定的形态显示有字符“OPEN”。设置开口窗18的位置、大小、形状等可以适当选择。

在该图的状态下，可知上锁板材8被旋转板14的下表面侧的卡止部17遮挡。上锁板材8的转动区域由于是向附图垂直方向的滑动，所以可知上锁板材8的滑动转动被卡止部17卡止。

在图5中，表示将手柄主体3从图4所示的开位置向闭位置转动90°、并且上锁板材8为全开时的状态。方向显示部12显示与流路的流动方向垂直的图的下方向，经由开口窗18，能够视觉辨识设在活门主体2的上表面15上的全闭的显示部5。该全闭的显示部5也与全开的显示部5同样，设于在全闭时开口窗面向的位置。在该图中，作为显示的一例而将字符“CLOSE”以既定的形态显示。

在该图的状态下，可知旋转板14的直线状的缺口部16位于与缺口台阶部面7大致同一平面上，上锁板材8的滑动转动的转动区域被开放。

在图6中，表示使在图5中表示的全开时的上锁板材8向活门主体2的上方滑动转动而成为全闭时的状态。因此，在图5中，上锁孔9是图中左侧，而在图6中为图中右侧。在该图的状态下，可知上锁板材8将缺口部16卡止，旋转板14（手柄主体3）不能转动地被上锁。

本发明的上锁板材的转动区域构成为，位于圆筒形箱体的大致径向。在本实施方式中，如图2、图3所示，上锁板材8向圆筒形上部箱体19的外周围6方向（大致径向）滑动转动。此外，如图4～图6所示，可知上锁板材8从全开时到全闭时，在全部的转动区域中包含在四边形状的区域S内。由于转动区域包含在区域S中，所以上锁板材8的转动区域是圆形的区域T的接线方向、是与区域T的直径宽度大致相同或稍小的区域，所以构成为，位于圆筒形上部箱体19的大致径向上。

这里，例如连接在半导体制造装置的集成阀单元上的装置代替尽可能紧凑地实现节省空间化，需要在各个装置的占用区域内将空间没有浪费地最优地利用，所以必须可靠地确保各个装置的占用区域。例如在1.125C－seal集成化气体供给系统中，将28.6mm×28.6mm四方的尺寸既定为规格尺寸。由于本实施方式的活门1的占用区域至少是连接部件21的上表面区域内，所以只要转动区域是上部箱体19的大致径向内即可，当将活门1向后述的图10所示的基座体39等连接时，上锁板材8就至少不会突出到相邻装置的占用区域中。因此，即使将活门1朝向任意的方向连接到基座体39的任意的地方，也不会向相邻装置干涉。

接着，说明本发明的带有上锁机构的活门1的内部构造和动作。图7是表示手柄主体3为开位置的状态的图2中的A－A线剖视图，图8是表示手柄主体3为闭位置、上锁板材8为全闭时的状态的图3中的B－B线剖视图。另外，本实施方式的带有上锁机构的活门1如以下所示那样是隔膜活门，但本发明的带有上锁机构的活门并不限定于此，对于能够连接到基座体39上的各种各样的活门都能够应用。

在图7中，活门主体2的外装由上部箱体19、下部箱体20、连接部件21构成。上部箱体19在嵌合在下部箱体20上部的环状部中的状态下用固定螺钉（止ねじ）23拧紧固接。下部箱体20的形成于下端部的阳螺纹部螺纹接合到形成于连接部件21上的阴螺纹部中来固接。另外，在连接部件21的内周嵌合固接着阀盖24，阀盖24将推压部件25的上下运动引导，借助推压部件25的推压，隔膜（阀体）26压接在阀座27上，活门1的流路28被封闭。

手柄主体3转动操作自如地设在活门主体2的上部，具有把持部4和其下部的旋转板14。在把持部4上，如上述那样，缺口形成了截面半圆弧状的凹部22。此外，如在图4等中说明那样，在旋转板14上开设有开口窗18。在手柄主体3内部的轴心方向上，一体或分体地轴装接着阀轴29。

上部箱体19位于手柄主体3的下方，在外周围6的上部形成有缺口台阶部面7，在该缺口台阶部面7内，经由销100转动自如地收纳着上锁板材8。如在图1、图2中说明那样，在图7中表示在活门全开时上锁板材8的侧面部c被旋转板14的卡止部17遮挡而成为不能转动的状态。

阀轴29与手柄主体3一体地连动，绕上部箱体19内部的轴心旋转滑动。手柄主体3的转动经由该阀轴29的连结机构部30被向螺纹接合部件34传递。此外，在阀轴29的凸缘部31与上部箱体19、下部箱体20之间适当设有轴承部件，在本实施方式中，分别夹装着推力垫圈32、33。

连结机构部30只要是进行连结以便能够将阀轴29的旋转运动向螺纹接合部件34的螺纹接合运动变换的机构就可以，没有特别限制，但在本实施方式中由锯齿机构构成，以阀轴29侧为阳侧300、螺纹接合部件34侧为阴侧301的方式相互啮合。

如果将图7所示的阀开时的手柄主体3向闭方向转动，则借助作为阳侧的阀轴29的连结机构部300的转动，作为阴侧的螺纹接合部件34的连结机构部301通过以与阀轴29大致相同的旋转角度转动，将形成在下部箱体20的内周上的阴螺纹部35螺旋前进（螺進），螺纹接合部件34在下部箱体20内部下降。

螺纹接合部件34的下端部由于与在下部箱体20内周面上滑动的滑动部件36抵接，所以通过螺纹接合部件34的下降，滑动部件36被推下。滑动部件36由于下端部抵接在推压部件25的上端部上，所以通过滑动部件36的推下，推压部件25被推下，将隔膜26推下，压接到阀座27上。

图8表示从图7所示的状态将手柄主体3转动90°、隔膜26压接在阀座27上的阀闭时。在该图中，如上述那样，可知手柄主体3的平面部13和缺口台阶部面7在大致同一平面上。该平面部13和缺口台阶部面7在上锁板材8的滑动转动的转动区域进行引导，向活门1上方滑动，将手柄主体3上锁。此外，如上述那样，表示阀闭时的螺纹接合部件34、滑动部件36、推压部件25相对于阀轴29的连结机构部300分别下降了开闭冲程量的状态。另外，37是将阀轴29向手柄主体3拧紧固接的固定螺钉。

图9是在图3中将轴装接部10横截的C－C线剖视图。如图示那样，本实施方式的轴装接部10构成为，将销100压入在上部箱体19的嵌合部101中，在确保上锁板材8所需要的强度等的同时，尽可能实现简单且节省空间。嵌合部101相对于上部箱体19的容积设为所需最小限度。另外，销100也可以通过螺纹接合来轴装接。

本发明的带有上锁机构的活门也可以构成为，使得手柄主体在全开时也能够上锁。在本实施方式中，也可以如图1、图2、图4、图5是手柄主体3的全闭时、图3、图6表示手柄主体3的全开时那样来构成活门1。

图10表示将本实施方式的活门1或其他活门装置38经由连接部件21向具有流路28的基座体39（集成阀单元）上连接来集成的集成阀40。活门装置38并不限于活门1那样的手动阀，是能够连接到基座体39上的各种各样的活门。

连接在该图所示的基座体39上的活门1是用图3所示那样的上锁板材8将阀闭状态上锁的本实施方式的活门1。四边形状的连接部件21用四角的螺栓41固定在基座体39上。附图标记42是流路28的接头，能够在基座体39的端部将流路28连结。例如在半导体制造装置的气体供给系统等中，该图所示的集成阀40以多台相互在长度方向上平行地相邻的方式并列设置，能够实现系统的节省空间化。

本实施方式的活门1即使如上述那样连接在基座体39上，也没有向相邻装置的干涉，所以能够不受场所及方向限制地连接。此外，虽然没有图示，但在将连接着活门1的多个集成阀并列设置、向并列设置了各活门1的集成阀的横向以一列排列、将各活门1的上锁板材8上锁的情况下，上锁孔9在大致一直线上排列，所以例如能够将棒状部件等1个上锁部件共通地插通到各上锁孔9中，将全部的活门1上锁。

进而，本发明并不限定于前述实施方式的记载，在不脱离本发明的权利要求书中记载的发明的主旨的范围中能够进行各种各样的变更。

附图标记说明

1 带有上锁机构的活门；2 活门主体；3 手柄主体；4 把持部；5 显示部；6 外周围；7 缺口台阶部面；70 阶差部；8 上锁板材；9 上锁孔；10 轴装接部；100 销；13 平面部；14 旋转板；15 上表面；16 缺口部；17 卡止部；18 开口窗；19 上部箱体；20 下部箱体；21 连接部件；22 凹部；26 阀体（隔膜）；27 阀座；28 流路；29 阀轴；30 连结机构部；34 螺纹接合部件；39 基座体；40 集成阀；S、T 区域。