一种晶圆生产用的甩干机密封圈的制作方法

文档序号:14180149阅读:614来源:国知局
一种晶圆生产用的甩干机密封圈的制作方法

本实用新型属于PLC晶圆生产技术领域,涉及晶圆生产用的甩干机,尤其是一种晶圆生产用的甩干机密封圈。



背景技术:

在PLC晶圆生产中,甩干机作为CLEAN工艺(湿法清洗工艺)的最后一道工序所用设备,其所起到的作用非常重要,直接关乎到产品的最终质量。

在晶圆被甩干的过程中,甩干机的密封圈通氮气后,密封圈便会随之膨胀,以使甩干机形成真空状态。

然而,实践表明,现有技术中,用于甩干机的矩形断面密封圈1',如图1、2所示,经长期使用后容易产生变形,并随之膨胀形成粉末碎屑,因此而直接影响到甩干机的密封效果,导致晶圆的异物率上升,产品合格率大幅降低。

为此,业内人士迫切期待对甩干机密封圈的结构加以改进,以有效地增强甩干机密封圈的密封性,减少密封圈膨胀后所产生的碎屑。



技术实现要素:

本实用新型的目的是克服现有技术的不足或缺陷,提供一种晶圆生产用的甩干机密封圈,保证甩干机密封圈的密封性,降低密封圈的变形概率,减少密封圈碎屑的产生。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

一种晶圆生产用的甩干机密封圈,包括密封圈本体,其特征在于,所述密封圈本体的断面呈弓形。

与现有技术相比,本实用新型具有以下有益效果:

本实用新型涉及的晶圆生产用的甩干机密封圈由于其断面呈弓形,与以往的矩形断面密封圈相比,可有效地保证甩干机密封圈的密封性,降低密封圈的变形概率,减少密封圈碎屑的产生。

附图说明

图1是现有技术中晶圆生产用的甩干机采用的密封圈主视结构示意图;

图2是图1中A-A线的剖面放大结构示意图;

图3是本实用新型涉及的晶圆生产用的甩干机密封圈主视结构示意图;

图4是图3中B-B线的剖面放大结构示意图。

具体实施方式

下面将结合附图,对本实用新型作进一步说明。

请参阅图3、4,图中示出了本实用新型涉及的一种晶圆生产用的甩干机密封圈,其关键技术方案在于:

本实用新型晶圆生产用的甩干机密封圈主要包括密封圈本体1,密封圈本体1的断面呈弓形。

本实用新型涉及的晶圆生产用的甩干机密封圈1,由于其断面呈弓形,与以往的矩形断面密封圈1'相比,可有效地保证晶圆生产用的甩干机密封圈的密封性,降低密封圈1的变形概率,同时还可以有效地减少密封圈1膨胀后产生的碎屑。

以上实施例仅供说明本实用新型之用,而非对本实用新型的限制,有关技术领域的技术人员,在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下,还可以作出各种变换或变型,因此所有等同的技术方案也应该属于本实用新型的范畴,应由各权利要求所限定。

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