一种精密减振组件及由其构成的减振平台的制作方法

本发明涉及精密制备技术技术领域，具体为一种精密减振组件及由其构成的减振平台。

背景技术：

光刻机是一种具有复杂结构的微机电装备，分辨率和套刻精度达到纳米级，具有极大的制造难度，已接近精密制造技术的极限。光刻机对于减振系统的要求也达到了极其苛刻的程度，代表了精密减振的最高难度，也是精密减振技术的最典型应用对象。光刻机中的运动部件包括硅片台和掩模台，他们的运动和定位精度是影响光刻机整机精度的重要指标。为了完成一场曝光，掩模台和硅片沿y方向以4：1的速度比反向扫描运动，完成一场曝光后，硅片台沿x向步进到下一场并继续曝光，由此可见，掩模台和硅片台在工作过程中一直在水平面内往复运动，这将造成掩模台硅片台在水平面内的偏转，形成内部振源，同时从基座传递的外部环境微振动与之发生耦合，严重影响运动精度。目前大多数光刻机都使用一套减振系统将光刻机分离为部分：内部世界和外部世界。外部世界为光刻机的整机框架直接与地基相连，光刻机其余部分作为内部世界悬浮于外部世界之上。这样的结构能够起到一定的隔离外部振动的功能。但时。由于减振系统的布置方式，使得减振作用仅在两部分连接处起作用，而对光刻机内部的关键部件硅片台和淹没台的内部振动激励作用不大。经过理论分析和实际测试发现，光刻机的掩模台、硅片台和物镜仍以一定的频率进行微幅振动。因此必须针对关键部件的特征进行分别减振才能满足光刻机精度不断提高的要求。掩模台和硅片台在垂向的定位精度也是影响光刻质量的主要因素，在传统的光刻机中通常采用一套结构复杂的调平调焦机构来完成垂向定位精度的保证，这样会使运动台的结构复杂化，同时由于增大工作台的惯量使得控制难度加大，为此，提出一种精密减振组件及由其构成的减振平台。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种精密减振组件及由其构成的减振平台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种精密减振组件及由其构成的减振平台，包括底座，所述底座下方设置有若干组减震件，所述减震件包括第一固定盘和固定在第一固定盘圆心处的插柱，所述第一固定盘和底座之间通过若干个第一锁紧螺栓连接，所述插柱贯穿第二固定盘插接在第三固定盘内部，所述第二固定盘和第三固定盘之间通过若干个第二锁紧螺栓相连，所述第一固定盘在靠近第二固定盘的一面沿第一固定盘的圆心圆周阵列固定有若干个导向柱，所述第二固定盘上开设有若干个和导向柱相配合的导向孔，所述导向柱和导向孔孔底之间连接有第一弹簧，所述第一弹簧的一端固定在导向柱上，所述第一弹簧的另一端固定在导向孔孔底，所述第二固定盘在靠近第一固定盘的一面沿第二固定盘的圆心圆周阵列开设有若干个凹槽，所述第一固定盘和凹槽槽底之间连接有第二弹簧，所述第二弹簧的一端固定在第一固定盘上，所述第二弹簧的另一端固定在凹槽槽底，所述凹槽槽底在弹簧内部固定有插杆，所述第一固定盘上固定有与插杆相配合的套管，所述插杆在套管内部滑移，所述插柱在远离第一固定盘的一端固定有插块，所述第三固定盘内开设有供插块竖直滑移的滑移槽，所述滑移槽的周壁上固定有防滑垫。

优选的，所述第一固定盘和底座之间设置有第一弹性垫。

优选的，所述第一锁紧螺栓的端部设置有旋转耳。

优选的，所述第一锁紧螺栓和第一固定盘之间设置有第二弹性垫。

优选的，所述插块在远离插柱的一端固定有第一磁性块，所述滑移槽的槽底固定有第二磁性块，所述第一磁性块和第二磁性块相靠近的一面磁性相反。

优选的，所述第二锁紧螺栓为内六角螺栓。

优选的，所述第三固定盘在远离第二固定盘的一面设置有若干个防滑凸起。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：通过当机械设备震动时能够带动第一固定盘上的导向杆在导向孔内滑移，带动导向杆和导向孔之间的第一弹簧伸缩，在第一固定盘上下震动时，将带动插柱上的插块在第三固定盘的滑移槽内滑动，为了增大阻尼系数，将滑移槽的周壁贴覆一层防滑垫，同时使得插块上的第一磁性块和滑移槽槽底的第二磁性块保持相互吸引的力；在插块在滑移槽内滑移时，凹槽内的第二弹簧将伸缩，插杆也将在套筒内滑移进行导向，因此减震件的减震效果较好，机械设备在运行过程中震动较小、噪音较小。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明的正视图；

图3为本发明减震件的剖视图；

图4为本发明图3中的a区放大结构示意图；

图5为本发明图3中的b区放大结构示意图。

图中：1、底座；5、第一固定盘；6、插柱；7、第一锁紧螺栓；8、第二固定盘；9、第三固定盘；10、导向柱；11、导向孔；12、第一弹簧；13、凹槽；14、第二弹簧；15、插杆；16、套管；17、插块；18、滑移槽；19、防滑垫；20、第一磁性块；21、第二磁性块；22、第一弹性垫；23、旋转耳；24、第二弹性垫；25、防滑凸起；26、第二锁紧螺栓。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例：

本发明提供了如图1-5所示的一种精密减振组件及由其构成的减振平台，包括底座1，所述底座1下方设置有若干组减震件，所述减震件包括第一固定盘5和固定在第一固定盘5圆心处的插柱6，所述第一固定盘5和底座1之间通过若干个第一锁紧螺栓7连接，所述插柱6贯穿第二固定盘8插接在第三固定盘9内部，所述第二固定盘8和第三固定盘9之间通过若干个第二锁紧螺栓26相连，所述第一固定盘5在靠近第二固定盘8的一面沿第一固定盘5的圆心圆周阵列固定有若干个导向柱10，所述第二固定盘8上开设有若干个和导向柱10相配合的导向孔11，所述导向柱10和导向孔11孔底之间连接有第一弹簧12，所述第一弹簧12的一端固定在导向柱10上，所述第一弹簧12的另一端固定在导向孔11孔底，所述第二固定盘8在靠近第一固定盘5的一面沿第二固定盘8的圆心圆周阵列开设有若干个凹槽13，所述第一固定盘5和凹槽13槽底之间连接有第二弹簧14，所述第二弹簧14的一端固定在第一固定盘5上，所述第二弹簧14的另一端固定在凹槽13槽底，所述凹槽13槽底在弹簧内部固定有插杆15，所述第一固定盘5上固定有与插杆15相配合的套管16，所述插杆15在套管16内部滑移，所述插柱6在远离第一固定盘5的一端固定有插块17，所述第三固定盘9内开设有供插块17竖直滑移的滑移槽18，所述滑移槽18的周壁上固定有防滑垫19。。

该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220v市电电连接，并且外接的主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。

较佳地，所述第一固定盘5和底座1之间设置有第一弹性垫22。

通过采用上述技术方案，所述第一固定盘5和底座1之间设置有第一弹性垫22，第一弹性垫22可以防止第一固定盘5对底座1造成磨损。

较佳地，所述第一锁紧螺栓7的端部设置有旋转耳23。

通过采用上述技术方案，所述第一锁紧螺栓7的端部设置有旋转耳23，设置旋转耳23能方操作者旋动第一锁紧螺栓7。

较佳地，所述第一锁紧螺栓7和第一固定盘5之间设置有第二弹性垫24。

通过采用上述技术方案，所述第一锁紧螺栓7和第一固定盘5之间设置有第二弹性垫24，第二弹性垫24能防止第一锁紧螺栓7对第一固定盘5造成磨损。

较佳地，所述插块17在远离插柱6的一端固定有第一磁性块20，所述滑移槽18的槽底固定有第二磁性块21，所述第一磁性块20和第二磁性块21相靠近的一面磁性相反。

通过采用上述技术方案，所述插块17在远离插柱6的一端固定有第一磁性块20，所述滑移槽18的槽底固定有第二磁性块21，所述第一磁性块20和第二磁性块21相靠近的一面磁性相反。

较佳地，所述第二锁紧螺栓26为内六角螺栓。

通过采用上述技术方案，所述第二锁紧螺栓26为内六角螺栓，采用内六角螺栓比较美观，也不占据空间。

较佳地，所述第三固定盘9在远离第二固定盘8的一面设置有若干个防滑凸起25。

通过采用上述技术方案，所述第三固定盘9在远离第二固定盘8的一面设置有若干个防滑凸起25，防滑凸起25可以增大与地面接触的摩擦力。

工作原理：使用时，当机械生产加工用机械设备的减震装置启动时，机械设备会产生一系列的震动，当机械设备震动时能够带动第一固定盘5上的导向杆在导向孔11内滑移，带动导向杆和导向孔11之间的第一弹簧12伸缩，在第一固定盘5上下震动时，将带动插柱6上的插块17在第三固定盘9的滑移槽18内滑动，为了增大阻尼系数，将滑移槽18的周壁贴覆一层防滑垫19，同时使得插块17上的第一磁性块20和滑移槽18槽底的第二磁性块21保持相互吸引的力；在插块17在滑移槽18内滑移时，凹槽13内的第二弹簧14将伸缩，插杆15也将在套筒内滑移进行导向，因此减震件的减震效果较好，机械设备在运行过程中震动较小、噪音较小。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。