排气连接管的制作方法

本实用新型涉及排风设备领域，特别涉及一种排气连接管。

背景技术：

在半导体芯片的工艺中，特别是在湿法清洗时，为及时排走产生的酸、碱、有机气体，或者为保持工艺区良好的流场，通常需要在设备的工艺区或化学区设置排风装置。排风装置在抽走气体时，往往在管道内侧面形成冷凝液，如果管道连接处密封性不好，冷凝液会泄漏，造成安全隐患。有时，排风管道中的冷凝液会回流到工艺区，影响工艺用液的纯净度。

由于设备内部的空间限制和结构需要，需要将排风管道的排气口进行柔性连接，柔性连接部件的排气口对接处经常会出现冷凝液泄漏的问题。目前常用的柔性连接部件是可伸缩波纹管，可伸缩波纹管与法兰配合连接。

一种现有方案将柔性连接部件(例如可伸缩波纹管)与法兰套装，柔性连接部件设于外侧，在柔性连接部件外侧用卡箍进行紧固。为便于安装，柔性连接部件的内径稍大于法兰外径。采用这种连接方式，当排风装置竖直安装(法兰位于下侧)或水平安装(法兰水平放置)时，冷凝液会沿着柔性连接部件的内壁经由柔性连接部件和法兰之间的微小间隙泄漏，造成安全隐患。

另一种现有方案在柔性连接部件的末端设有端法兰，端法兰连接至安装法兰，端法兰的外径小于安装法兰的内径。进行连接时，端法兰插入安装法兰。柔性连接部件安装时形状不确定，会导致端法兰与安装法兰配合不紧密，常会造成某一侧的缝隙大，密封效果不好。且柔性连接部件的端法兰需要较大的安装空间，不利于安装。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种排气连接管，以克服现有连接件容易泄漏的缺陷。

本实用新型采用以下解决方案：

一种排气连接管，所述排气连接管的一端为密封连接端，另一端为液体回收端，所述密封连接端的内壁上设有密封结构，所述液体回收端的内壁上设有液体回收面和环形凸起部，所述环形凸起部设于所述液体回收面的轴向外侧，且向所述排气连接管的径向内侧凸出，所述环形凸起部的内侧边缘朝所述排气连接管的轴向内侧凸出，从而所述液体回收面与所述环形凸起部配合形成液体回收区，所述液体回收端设有与所述液体回收区相连通的排液孔。

优选地，所述密封结构为螺纹。

优选地，所述环形凸起部的内周面形成通气孔的孔壁，所述通气孔的直径小于所述密封连接端的内径。

优选地，所述排液孔设于所述环形凸起部，且贯穿所述环形凸起部的厚度。

优选地，所述排液孔设于所述液体回收面上且与所述环形凸起部邻接。

优选地，所述液体回收面的横截面的面积沿所述排气连接管的轴向向外的方向逐渐增大。

优选地，所述液体回收面包括相连接的圆台面和圆柱面。

优选地，还包括设于所述密封结构内的密封圈。

优选地，所述密封连接端用于连接至波纹管。

优选地，所述排液孔用于连接至排液管。

本实用新型的有益效果在于：

1、密封连接端可实现与排风管道的连接和固定，并防止冷凝液从接口处泄漏；

2、当排风装置不断通过排风管道抽走气体时，冷凝液沿排气连接管的内壁流动，并通过液体回收面流至液体回收区，最终通过排液孔排出，并被快速抽走，可以避免冷凝液流至工艺区影响工艺效果；

3、不采用法兰进行连接，可以降低对安装空间的要求。

附图说明

通过结合附图对本实用新型示例性实施方式进行更详细的描述，本实用新型的上述以及其它目的、特征和优势将变得更加明显。其中，在本实用新型示例性实施方式中，相同的附图标记通常代表相同部件。

图1是根据本实用新型的示例性实施例的排气连接管的安装示意图；

图2是根据本实用新型的示例性实施例的排气连接管的剖视图。

附图标记说明：

1-排风管道，2-排气连接管，3-待连接设备，21-密封结构，22-液体回收端，22a-液体回收面，22b-通气孔，22c-环形凸起部，22d-第一排液孔，22e-第二排液孔。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本实用新型的实施方式。虽然附图中显示了本实用新型的两种示例性实施方式，然而应该理解，可以各种形式实现本实用新型，而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了使本实用新型更加透彻和完整，并且能够将本实用新型的范围完整地传达给本领域的技术人员。

本实用新型的示例性实施例提供一种排气连接管，其一端为密封连接端，另一端为液体回收端，密封连接端的内壁上设有密封结构，液体回收端的内壁上设有液体回收面和环形凸起部，环形凸起部设于液体回收面的轴向外侧，且向排气连接管的径向内侧凸出，环形凸起部的内侧边缘朝排气连接管的轴向内侧凸出，从而液体回收面与环形凸起部配合形成液体回收区，液体回收端设有与液体回收区相连通的排液孔。

使用时，排气连接管的密封连接端与排风管道连接，排风管道的端部可插入密封连接端，通过密封连接端内壁上设置的密封结构实现密封，密封连接端可实现与排风管道的连接和固定，并防止冷凝液从接口处泄漏；液体回收端与待连接设备连接。当排风装置不断通过排风管道抽走气体时，在排风管道的内壁上形成冷凝液，冷凝液沿排气连接管的内壁流动，并通过液体回收面流至液体回收区，最终通过排液孔排出，并被快速抽走。由于环形凸起部设于液体回收面的轴向外侧，且向排气连接管的径向内侧凸出，其内侧边缘朝排气连接管的轴向内侧凸出，因此冷凝液基本都聚集在液体回收面与环形凸起部配合形成的液体回收区内，可以避免冷凝液流至工艺区影响工艺效果。此外，不采用法兰进行连接，可以降低对安装空间的要求。

在一个示例中，排气管道为柔性管，特别地为波纹管；相应地，密封结构为螺纹，可以与柔性管密封连接。螺纹形式可根据柔性管的外形设置，例如螺纹可以是梯形螺纹、锥螺纹等。

在一个示例中，环形凸起部的内周面形成通气孔的孔壁，通气孔的直径小于密封连接端的内径，从而可以最大限度地保证冷凝液流入液体回收部，而不落入其他区域。

在一个示例中，排液孔设于环形凸起部，且贯穿环形凸起部的厚度；或者，排液孔可设于液体回收面上且与环形凸起部邻接。排液孔可与排液管连接，从而快速地将冷凝液排走。

在一个示例中，液体回收面的横截面的面积沿排气连接管的轴向向外的方向逐渐增大，以利于冷凝液沿着液体回收面逐渐流至液体回收区。优选地，液体回收面包括相连接的圆台面和圆柱面，其中圆台面位于圆柱面的轴向内侧，这便于液体回收面的加工。

在一个示例中，可在密封结构内设置密封圈，密封连接端与排气管道连接时，密封圈设于二者之间，可进一步防止漏液。

在一个示例中，排气连接管是一体成型的；或者，也可以分别加工液体回收端和密封连接端，再将二者密封连接。

实施例

图1是根据本实用新型的示例性实施例的排气连接管的安装示意图，图2是根据本实用新型的示例性实施例的排气连接管的剖视图。

如图1和2所示，排气连接管2的一端为密封连接端，另一端为液体回收端22，密封连接端的内壁上设有密封结构21，液体回收端22的内壁上设有液体回收面22a和环形凸起部22c，环形凸起部22c设于液体回收面22a的轴向外侧，且向排气连接管的径向内侧凸出，环形凸起部22c的内侧边缘朝排气连接管的轴向内侧凸出，从而液体回收面22a与环形凸起部22c配合形成液体回收区22f，液体回收端22设有与液体回收区22f相连通的排液孔。

其中，密封结构21为螺纹，可与波纹管密封连接。环形凸起部22c的内周面形成通气孔22b的孔壁，且通气孔22b的直径小于密封连接端的内径。排液孔包括设于环形凸起部22c、且贯穿环形凸起部22c的第一排液孔22d，还包括设于液体回收面22a上且与环形凸起部22c邻接的第二排液孔22e。

其中，液体回收面22a包括相连接的圆台面和圆柱面，以利于冷凝液沿着液体回收面22a逐渐流至液体回收区22f。

使用时，排气连接管的密封连接端与排风管道1连接，通过密封结构实现密封，液体回收端与待连接设备3连接。当排风装置不断通过排风管道1抽走气体时，在排风管道1的内壁上形成冷凝液，冷凝液沿排气连接管的内壁流动，并通过液体回收面流至液体回收区，最终通过排液孔排出，并被快速抽走，从而可以避免冷凝液流至工艺区影响工艺效果。

本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同特征的组成部分。另外，在沿平行于所述排气连接管的轴线的方向上，从所述排气连接管的两端指向其内部中心的方向称为向“内”的方向，从所述排气连接管的内部中心指向其两端的方向称为向“外”的方向。本文中所述的“轴向内侧”和“轴向外侧”的含义即有了明确的界定。需要注意的是，以上表示方位的术语仅仅是示例性的且表示各个部件的相对位置关系，对于本申请公开的各种装置或设备中的零件组合或整个装置或设备可以整体上旋转一定的角度。

以上已经描述了本实用新型的实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的各实施例。在不偏离所说明的实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。本文中所用术语的选择，旨在最好地解释实施例的原理和实际应用，或者使本技术领域的其它普通技术人员能理解本文披露的实施例。